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    • 1. 发明专利
    • 微細構造体の製造方法および微細構造金型
    • 制造方法及微结构的微结构模具
    • JPWO2012164824A1
    • 2015-02-23
    • JP2013517831
    • 2012-04-26
    • パナソニック株式会社
    • 雄士 山本雄士 山本和田 紀彦紀彦 和田良史 鷹巣良史 鷹巣山田 晃久晃久 山田
    • H01L21/027B29C59/02
    • G03F7/0002B29C33/42B29C59/02B82Y10/00B82Y40/00
    • 転写を用いて作成した成形品の表面に、目視レベルで継ぎ目(不連続性)を感じることがない微細構造体を製造する。基材(108)の表面の硬化性樹脂(光硬化性樹脂109)に微細構造金型(105)を押し付けて基本微細構造体を形成する基本微細構造体形成工程と、微細構造金型(105)を基材(108)から離型して移動させる離型移動工程と、を繰り返すことによって微細構造体を製造する微細構造体の製造方法であって、微細構造金型(105)は、その中央部に存在する第一金型凹部パターン(105a)と、その外周部の少なくとも一辺に存在する第二金型凹部パターン(105b)とを少なくとも有し、第二金型凹部パターン(105b)のサイズは、第一金型凹部パターン(105a)のサイズよりも小さいことを特徴とする。
    • 使用转移,以产生微结构没有感觉接缝(不连续)的目视水平的模制品表面上产生。 基本细微结构形成相对于母材(108)的固化树脂的表面的碱性微结构(光固化性树脂109)的微结构模具(105),微结构模具(105 )一种制造微结构通过重复释放移动到基板(108),微结构模具(105的释放运动步骤,以产生一个精细结构的方法),则 (105A),其具有第二模具凹部图案存在于外周部(105B)中的至少一侧的至少存在于所述中心部分的第一模具凹部图案,该第二模具凹部图案(105B) 尺寸的特征在于小于所述第一模具凹部图案(105A)的尺寸。