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    • 2. 发明专利
    • センサーデバイス及びセンサー
    • 传感器和传感器
    • JP2016197133A
    • 2016-11-24
    • JP2016168960
    • 2016-08-31
    • セイコーエプソン株式会社
    • 大槻 哲也
    • G01C19/5628
    • 【課題】厚さを低減することが可能なセンサーデバイス、このセンサーデバイスの製造方法、このセンサーデバイスを用いたモーションセンサー及びこのモーションセンサーの製造方法の提供。 【解決手段】センサーデバイス1は、シリコン基板10と、シリコン基板10の能動面10a側に設けられた第1の電極11と、第1の電極11に電気的に接続されて能動面10a側に設けられた外部接続端子12と、シリコン基板10と外部接続端子12との間に設けられた応力緩和層15と、シリコン基板10の能動面10a側に設けられた接続用端子13と、基部21と基部21から延伸された各振動腕と接続電極としての引き出し電極29とを備えたセンサー素子としての振動ジャイロ素子20と、を有し、振動ジャイロ素子20が、引き出し電極29と外部接続端子12との接続によってシリコン基板10に保持されていることを特徴とする。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供一种能够减小厚度的传感器装置和用于制造传感器装置的方法,使用传感器装置的运动传感器以及用于制造运动传感器的方法。传感器装置1具有: 硅衬底10; 设置在硅基板10的有源面10a侧的第一电极11; 电连接到第一电极11并设置在有源表面10a侧的外部连接端子12; 设置在硅衬底10和外部连接端子12之间的应力松弛层15; 设置在硅基板10的有源面10a侧的连接端子13; 以及装配有基座21的振动陀螺元件20,从基座21延伸的每个振动臂和作为连接电极的引出电极29,振动陀螺元件20通过连接 引出电极29和外部连接端子12.选择的图示:图2
    • 6. 发明专利
    • 配線基板の製造方法、配線基板、電子デバイス、電子機器および移動体
    • 制造接线板,接线板,电子设备,电子设备和移动体的方法
    • JP2015153806A
    • 2015-08-24
    • JP2014024149
    • 2014-02-12
    • セイコーエプソン株式会社
    • 宮尾 哲郎石上 秀樹塩原 幸彦大槻 哲也中村 英文
    • H05K1/18H05K1/11H05K3/40
    • 【課題】貫通孔内の金属材料の充填性の低下を低減し、気密性に優れる配線基板を製造することのできる配線基板の製造方法、並びに、気密性に優れる配線基板、この配線基板を備えた信頼性の高い電子デバイス、電子機器および移動体を提供する。 【解決手段】配線基板の製造方法は、貫通孔213を有するセラミックス焼結体基板211と、金属片251と、Ti−Ag−Cu系合金からなる粒子を含んでいる金属ペーストXと、を用意する工程と、貫通孔213に金属片251を配置し、金属片251と貫通孔213との間に金属ペーストXを配置する工程と、金属ペーストXを焼成し、金属片251をセラミックス焼結体基板211に固定する工程と、を含んでいる。 【選択図】図5
    • 要解决的问题:提供一种能够减少通孔中的金属材料的填充性劣化并制造具有优异气密性的布线板的布线板的制造方法,并且提供具有优异的气密性的布线板, 电子设备,电子设备和具有高可靠性的移动体配备了布线板。解决方案:制造布线板的方法包括:制备具有通孔213的陶瓷烧结基板211的步骤,金属片251 和含有由Ti-Ag-Cu系合金构成的粒子的金属糊料X; 将金属片251布置在通孔213中并将金属膏X布置在金属片251和通孔213之间的步骤; 以及烧结金属膏X并将金属片251保持在陶瓷烧结基板211上的工序。