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1. 发明专利

JP2017103284A ロードポート审中-公开
公开(公告)号：JP2017103284A
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：JP2015233480
申请日：2015-11-30
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：森鼻俊光 , 大沢真弘 , 松本祐貴
IPC分类号： H01L21/677
摘要：【課題】マッピング動作に起因する搬送空間内(搬送室内)でのパーティクルの発生を無くし、且つマッピング動作に起因するロードポートのドアの開閉を不要とすることができるマッピング機能を有するロードポートを提供すること。【解決手段】カセット51(52)に収容されたFFC(被処理物の一例)をマッピングする、ロードポート1が備えるマッピングセンサ30は、センサ部31および当該センサ部31を昇降させる昇降部32を有する。このマッピングセンサ30は、ロードポート1のベース10の搬送空間の側とは反対側に配置されている。【選択図】図2

2. 发明专利

JP2017174899A ロードポートの制御装置、およびマッピングセンサのティーチング方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017174899A
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：JP2016057278
申请日：2016-03-22
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：大沢真弘 , 森鼻俊光
IPC分类号： B65G49/07 , B65G49/00 , H01L21/677
摘要：【課題】マッピングセンサのティーチングを従来よりも容易に行うことができるロードポートの制御装置を提供すること。【解決手段】ロードポートの制御装置は、カセット51の中の最上段スロット61Tに入れられた最上段被処理物(FFC)と、カセット51の中の最下段スロット61Bに入れられた最下段被処理物(FFC)との間のティーチング開始位置に、マッピングセンサのセンサ部31を移動させ、当該ティーチング開始位置からマッピングセンサのティーチング動作を開始するように制御構成される。【選択図】図7

3. 发明专利

JP6447893B2 ロードポート及びウエハマッピング装置有权
公开(公告)号：JP6447893B2
公开(公告)日：2019-01-09
申请号：JP2017223295
申请日：2017-11-21
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：夏目光夫 , 大沢真弘 , 森鼻俊光 , 落合光敏
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68

4. 发明专利

JP2018029210A ロードポート及びウエハマッピング装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018029210A
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：JP2017223295
申请日：2017-11-21
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：夏目光夫 , 大沢真弘 , 森鼻俊光 , 落合光敏
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68
摘要：【課題】異なるサイズのウエハを処理するロードポートでも、ウエハマッピング装置を共用できるようにすることである。【解決手段】異なる寸法の容器に収納された異なるサイズのウエハの収納状態を認識するマッピング機能を備えたロードポートであって、上下方向に移動するマッピングデバイスと、検出波の照射軸が左右水平方向へ向けられ、前記容器の前面開口に挿入され、前記マッピングデバイスに取り付けられることで前記容器内で上下方向に移動する第1及び第2センサと、検出波の照射軸が前記第1センサの上下方向へ向けられる第3センサとを備える。【選択図】図1

5. 发明专利

JP6248788B2 ウエハマッピング装置およびそれを備えたロードポート有权
公开(公告)号：JP6248788B2
公开(公告)日：2017-12-20
申请号：JP2014092924
申请日：2014-04-28
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：夏目光夫 , 大沢真弘 , 森鼻俊光 , 落合光敏
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： G01B11/002 , G01N21/64 , H01L21/67265 , G01B11/14 , G01B11/22 , G01B11/24 , G01N2035/1025 , G01N35/1016

6. 发明专利

JP2015211164A ウエハマッピング装置およびそれを備えたロードポート有权
标题翻译： WAFER MAPPING DEVICE和LOAD PORT WITH THE SAME
公开(公告)号：JP2015211164A
公开(公告)日：2015-11-24
申请号：JP2014092924
申请日：2014-04-28
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：夏目光夫 , 大沢真弘 , 森鼻俊光 , 落合光敏
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： G01B11/002 , G01N21/64 , H01L21/67265 , G01B11/14 , G01B11/22 , G01B11/24 , G01N2035/1025 , G01N35/1016
摘要：【課題】異なるサイズのウエハを処理するロードポートでも、ウエハマッピング装置を共用できるようにすることである。【解決手段】光軸L1を左右の水平方向へ向けたマッピングセンサ5の投光部5aと受光部5b間の左右のスパンを、ロードポートに搬送される異なる寸法の容器のうちの小さい寸法のオープンカセット12の前面開口のスパンよりも狭く形成してマッピングデバイス4に取り付け、光軸L2を左右の水平方向へ向けた第1の飛び出しセンサ6を、マッピングセンサ5の移動方向前方へ離間させてマッピングデバイス4に取り付けるとともに、光軸をマッピングセンサ5の上下の移動方向へ向けた第2の飛び出しセンサ7を設けることにより、異なるサイズのウエハW1、W2を処理するロードポートでも、ウエハマッピング装置1を共用できるようにした。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：使平均负载端口处理不同尺寸的晶片以共享晶片映射装置。解决方案：将光轴L1从一侧向另一侧沿水平方向转动的映射传感器5装配到映射装置 4，同时在映射传感器5的发光部分5a和光接收部分5b之间形成从一侧到另一侧的跨度，其宽度小于具有不同尺寸的容器之间的具有小尺寸的开放盒12的前开口的跨度被传送到负载端口。光轴L2沿着水平方向从一侧到另一侧转动的第一跳出传感器6在映射传感器5的移动方向上向前分离的同时被配合到映射装置4，并且第二跳出传感器6 传感器7被设置成使光轴沿着映像传感器5的移动方向从上到下转动。因此，即使处理不同尺寸的晶片W1和W2的负载端口也可以共享晶片映射装置1。

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