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1. 发明专利

JP6882706B2 パージノズルユニット、ロードポート有权
公开(公告)号：JP6882706B2
公开(公告)日：2021-06-02
申请号：JP2020000621
申请日：2020-01-07
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：夏目光夫 , 鈴木淳志
IPC分类号： H01L21/673

2. 发明专利

JP6455261B2 ノズルの先端構造、パージ装置およびロードポート有权
公开(公告)号：JP6455261B2
公开(公告)日：2019-01-23
申请号：JP2015057368
申请日：2015-03-20
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：森鼻俊光 , 松本祐貴 , 夏目光夫
IPC分类号： H01L21/677

3. 发明专利

JP6447893B2 ロードポート及びウエハマッピング装置有权
公开(公告)号：JP6447893B2
公开(公告)日：2019-01-09
申请号：JP2017223295
申请日：2017-11-21
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：夏目光夫 , 大沢真弘 , 森鼻俊光 , 落合光敏
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68

4. 发明专利

JP6409898B2 パージノズルユニット、ロードポート、ストッカー审中-公开
公开(公告)号：JP6409898B2
公开(公告)日：2018-10-24
申请号：JP2017074145
申请日：2017-04-04
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：夏目光夫 , 鈴木淳志
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677

5. 发明专利

JP2018074174A 基板搬送装置、EFEM及び半導体製造装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018074174A
公开(公告)日：2018-05-10
申请号：JP2017243731
申请日：2017-12-20
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：瀬川幹雄 , 谷山育志 , 川久伸 , 夏目光夫
IPC分类号： B65G49/07 , H01L21/677
摘要：【課題】ウェーハ表面の雰囲気を少量のガスによって置換することができる雰囲気置換装置を提供する。【解決手段】ウェーハ搬送室5にウェーハを搬送するウェーハ搬送装置2であって、ベース21により支持され、ウェーハWを保持して搬送する搬送アーム22と、搬送アーム22と同一のベース21に設けられた支柱41と、支柱41を介して昇降ブロック42と相対する位置に配置され、ウェーハWを覆うことのできるカバー3と、カバー3より周辺雰囲気とは異なる性質を有するガスを供給するガス供給手段とを備えている。搬送アーム22によりウェーハWを搬送させる際に、ガス供給手段よりガスを供給することで、ウェーハW表面の雰囲気をガスによって置換する。【選択図】図2

6. 发明专利

JP2017063215A ロードポート有权
公开(公告)号：JP2017063215A
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：JP2016227004
申请日：2016-11-22
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：夏目光夫 , 落合光敏 , 溝河巧
IPC分类号： H01L21/677
摘要：【課題】所定の気体雰囲気の到達濃度が高いパージ処理を短時間で行うことができ、作業効率を向上させることが可能なロードポートを提供する。【解決手段】半導体製造装置に隣接して設けられ、FOUP9内に格納されているウェーハを、半導体製造装置内とFOUP内との間でFOUP前面に形成した搬出入口91を介して出し入れするロードポート1であり、搬出入口と連通する開口部を有するフレーム2と、フレームのうち、開口部よりも半導体製造装置側に設けられるチャンバ7とを有し、チャンバ内側に設けられるガス供給ノズル62が設けられ、第一チャンバ位置と、第二チャンバ位置との間で昇降可能な起立壁7aと、フレームに対して移動不能な固定壁72と、チャンバの下方をチャンバ外空間に連通させる排気部を有する。起立壁が第二チャンバ位置に位置する際に、起立壁はチャンバ外空間に露出する構成とした。【選択図】図2

7. 发明专利

JP2021119617A ロードポート及びロードポートを備える基板搬送システム审中-公开
公开(公告)号：JP2021119617A
公开(公告)日：2021-08-12
申请号：JP2021074617
申请日：2021-04-27
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：夏目光夫 , 谷山育志 , ▲吉▼川雅順
IPC分类号： B65G1/00 , H01L21/677
摘要：【課題】回転機構を備えるロードポートにおいて、容器の受渡位置を、回転機構を備えないロードポートに合わせた場合でも、容器の回転時に容器のドア部等への衝突を回避するロードポート及び基板搬送システムを提供する。【解決手段】基板搬送システムにおいて、ロードポート4は、開口部を有するベース20と、ベース20に設けられ、開口部を開閉するドア部と、ベースと直交する前後方向において、ベースから前方に突設され、載置トレイ23を支持するフレーム22と、載置トレイを鉛直軸周りに回転させる回転機構24と、FOUP300がOHTによって載置トレイに載置された後、回転機構が載置トレイを回転させる前又は回転させている最中に、ドア部及び載置トレイのうち少なくともいずれか一方を他方から遠ざける移動機構と、を備える。FOUPとドア部等とが相対的に遠ざかるため、FOUPが回転時にドア部等に衝突することを回避できる。【選択図】図8

8. 发明专利

JP6882656B2 ロードポート及びロードポートを備える基板搬送システム有权
公开(公告)号：JP6882656B2
公开(公告)日：2021-06-02
申请号：JP2016136175
申请日：2016-07-08
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：夏目光夫 , 谷山育志 , ▲吉▼川雅順
IPC分类号： B65G49/07 , H01L21/677

9. 发明专利

JP6646236B2 パージノズルユニット、ロードポート、ストッカー有权
公开(公告)号：JP6646236B2
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：JP2018179929
申请日：2018-09-26
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：夏目光夫 , 鈴木淳志
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677

10. 发明专利

JP6519897B2 パージノズルユニット、ロードポート有权
公开(公告)号：JP6519897B2
公开(公告)日：2019-05-29
申请号：JP2018075213
申请日：2018-04-10
申请人：シンフォニアテクノロジー株式会社
发明人：夏目光夫 , 鈴木淳志
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677

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