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    • 7. 发明专利
    • 回路基板の形成方法
    • 形成电路板的方法
    • JP2016042543A
    • 2016-03-31
    • JP2014166328
    • 2014-08-19
    • インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションINTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
    • 乃万 裕一岡本 圭司森 裕幸
    • H01L23/12H01L23/32H05K3/10H05K3/46
    • G03F7/0035G03F7/38H05K3/428H05K2201/09509H05K2201/09563H05K2201/09845H05K2203/0577H05K2203/0588H05K2203/1453H05K3/4679
    • 【課題】有機基板を用いた場合でも広く利用可能な回路基板(配線基板、インターポーザ等を含む)の作成方法を提供する。 【解決手段】本発明の方法は、その方法は、(a)基板10上に導体パターン12を形成するステップと、(b)導体パターンの形成後の基板上に第1ネガレジスト14を形成するステップと、(c)導体パターンの表面上の第1ネガレジストを部分的に露光して第1ビア露光部22を形成するステップと、(d)第1ビア露光部の形成後の基板上に第2ネガレジスト24を形成するステップと、(e)第1ビア露光部上の第2ネガレジストを部分的に露光して第1ビア露光部よりも大きな第2ビア露光部30を形成するステップと、(f)第2ビア露光部の形成後の第1ネガレジスト及び第2ネガレジストを現像して導体パターンに至るビア開口32を形成するステップと、(g)ビア開口に導体38を充填するステップと、を含む。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供即使在使用有机基板的情况下也可以广泛使用的电路板(包括布线板和插入件)的制备方法。解决方案:根据本发明的方法包括步骤 (a)在基板10上形成导体图案12; (b)在形成导体图案之后在基板上形成第一负光刻胶14; (c)部分地暴露导体图案表面上的第一负抗蚀剂以形成第一通孔曝光部分22; (d)在形成第一通孔曝光部之后在基板上形成第二负光刻胶24; (e)在第一通孔曝光部分部分曝光第二负光刻胶以形成大于第一通孔曝光部分的第二通道曝光部分30; (f)显影第一和第二负光刻胶以形成在形成第二通孔曝光部分之后延伸到导体图案的通孔开口32; 和(g)在通孔开口中填充导体38.选择的图示:图2
    • 8. 发明专利
    • チップ実装構造体
    • 芯片安装结构
    • JP2015115512A
    • 2015-06-22
    • JP2013257637
    • 2013-12-13
    • インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションINTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
    • 岡本 圭司鳥山 和重堀部 晃啓松本 圭司
    • H01L23/12
    • 【課題】フリップチップ接続のチップに加わる応力を低減することができる形状に基板を設定し、そのような形状に設定した基板の使用によりチップに加わる応力を低減して低誘電率(Low−k)の層間絶縁層の剥離発生を抑え、高信頼性のチップ実装を実現する。 【解決手段】低誘電率(Low−k)の層間絶縁層を有するチップ205を基板505にバンプでフリップチップ接続したチップ実装構造体500は、基板505が、チップ205と基板505の熱膨張係数の差から生じる熱応力によってチップのコーナー部における層間絶縁層に加わる機械的応力を低減させる形状を成す。特に、基板505の形状が、チップ205のコーナーから基板505の対応する縁までの距離をAとし、チップ205の1辺から基板505の対応する縁までの距離をBとすると、A
      【選択図】 図6
    • 要解决的问题:为了通过将基板设置为能够减小施加到倒装芯片连接的芯片的应力的形状来实现高可靠性的芯片安装,并且通过使用设置在这样的基板上的基板来减小施加到芯片的应力 形成,从而抑制低介电常数(Low-k)的层间绝缘膜剥离的发生。解决方案:在具有低介电常数(Low-k)的层间绝缘层的芯片205翻转的芯片安装结构500中, 芯片通过凸块连接到基板505,基板505具有用于通过由芯片205和芯片205之间的热膨胀系数的差异产生的热应力来减小施加到芯片角落处的层间绝缘层的机械应力的形状 衬底505.特别地,衬底505具有满足关系A