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1. 发明专利

JP2019091766A 基板保持装置および基板保持装置を備える基板処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019091766A
公开(公告)日：2019-06-13
申请号：JP2017218564
申请日：2017-11-13
申请人： EBARA CORP
发明人： NISHIDA HIROAKI
IPC分类号： H01L21/68 , B24B41/06 , H01L21/304 , H01L21/683
摘要：【課題】移動可能なステージが備える移動機構の動力を利用して、簡易な方法で正確に基板をステージに位置決めするための装置および方法を提供する。【解決手段】基板を保持するための基板保持装置が提供され、かかる基板保持装置は、基板を支持するための基板ステージと、前記基板ステージを運動させるためのステージ駆動機構と、基板を前記基板ステージ上に位置決めするための位置決めピンと、前記位置決めピンを付勢する第1付勢部材と、前記付勢部材に対抗する力を前記位置決めピンに付与えることが可能なストッパ部材と、を有し、前記位置決めピンは、前記ステージ駆動機構により前記基板ステージと共に運動可能に構成され、前記位置決めピンが前記基板ステージと共に運動することで前記基板を前記基板ステージ上に位置決めするように構成される。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2019090741A ドローンを用いた計測システムおよび計測方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019090741A
公开(公告)日：2019-06-13
申请号：JP2017220668
申请日：2017-11-16
申请人： EBARA CORP
发明人： NOMI MOTOHIKO , SEKINO YUMIKO
IPC分类号： G01D21/00 , G01P5/02 , G01P5/12 , G01P5/16 , G01P5/24
摘要：【課題】広い領域内での風速などの計測対象の計測値の分布を容易に作成することができる計測システムを提供する。【解決手段】計測システムは、ドローン1と、ドローン1に取り付けられた計測器3と、ドローン1の位置を検出する位置検出装置4と、ドローン1を予め定められた複数の計測点に順次移動させて、各計測点において計測対象を計測器に計測させるドローンコントローラ5と、複数の計測点で得られた複数の計測値を記録する記憶装置11と、複数の計測値と、複数の計測点の位置に基づいて計測値の分布を作成するデータ処理部12と、計測器3と記憶装置11とを接続する通信装置15とを備える。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2019090675A 検査装置、検査システム、プログラムを記憶した記憶媒体审中-公开
公开(公告)号：JP2019090675A
公开(公告)日：2019-06-13
申请号：JP2017219165
申请日：2017-11-14
申请人： EBARA CORP
发明人： YAMADA ESAO , YUYAMA MAKOTO
IPC分类号： G01B21/20 , G01B11/24
摘要：【課題】三次元検査対象物の検査時間を短縮することにある。【解決手段】板状部材を検査する検査装置であって、前記板状部材の複数の面のうち1つの曲面の形状の計測を三次元計測機に実行させる計測実行部と、前記計測された前記1つの曲面の点データを前記計測機から取得するデータ取得部と、前記点データを前記板状部材の設計データと比較し、前記点データの前記設計データからの誤差を算出する比較処理部と、前記算出された誤差に関する情報を検査結果として出力する検査結果出力部と、を備える検査装置。【選択図】図1

4. 发明专利

JP2019027776A 排ガス処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019027776A
公开(公告)日：2019-02-21
申请号：JP2018129806
申请日：2018-07-09
申请人： EBARA CORP
发明人： MIYAZAKI KAZUTOMO , KOMAI TETSUO , KASHIWAGI SEIJI
IPC分类号： F23G7/06
摘要：【課題】燃焼式排ガス処理装置において水素を含む処理ガスを処理する際に、処理ガスと支燃性ガスとを燃焼室の内周面の接線方向に向けて吹き込み、燃焼室内壁から浮いた二種混合の円筒状混合火炎を形成することにより、燃焼室の熱損傷を防止することができる排ガス処理装置を提供する。【解決手段】水素を含む処理ガスを燃焼処理して無害化する排ガス処理装置であって、水素を含む処理ガスを燃焼する燃焼室1は、円筒状の燃焼室1として構成され、燃焼室1は、処理ガスと支燃性ガスとをそれぞれ燃焼室1の内周面の接線方向に向けて吹き込む処理ガス用ノズル3Aと支燃性ガス用ノズル3Bとを備え、処理ガス用ノズル3Aと支燃性ガス用ノズル3Bは、燃焼室1の軸線に直交する同一平面上に位置している。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2017093238A 液封式電動機およびこれに用いられるスリーブ付き電源ケーブルの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017093238A
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：JP2015223782
申请日：2015-11-16
申请人：株式会社荏原製作所 , Ebara Corp
发明人： ONO YOSHIHIKO
IPC分类号： H02K5/22 , H01B13/00 , H02K5/132
摘要：【課題】電源ケーブルの劣化を抑えることが可能な液封式電動機、および、これに用いられるスリーブ付き電源ケーブルの製造方法を提供する。【解決手段】内部に液体が封入されており、貫通孔(2a)が設けられた筐体(1)と、前記筐体(1)の内部に設けられた主軸(8)と、前記筐体(1)の内部に設けられ、前記主軸(8)を回転させるためのコイル(5)と、前記貫通孔(2a)を貫通し、前記コイル(5)に通電するための、樹脂製の被覆(12a)を有する電源ケーブル(12)と、前記貫通孔(2a)の少なくとも一部と対向する位置において前記電源ケーブル(12)の周囲に設けられた樹脂製の固定部材(15)と、前記固定部材(15)の周囲に設けられ、前記固定部材(15)によって固定された金属製のスリーブ(14)と、前記スリーブ(14)の周囲に設けられたパッキン(13)と、を備える液封式電動機(100)。【選択図】図2

6. 发明专利

JP2017089839A カートリッジ式メカニカルシール、ポンプ装置およびカートリッジ式メカニカルシールの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017089839A
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：JP2015223781
申请日：2015-11-16
申请人：株式会社荏原製作所 , Ebara Corp
发明人： YAMANAKA TAKASHI
IPC分类号： F16J15/34 , F04D29/12
摘要：【課題】製造コストを抑えることができるカートリッジ式メカニカルシール、そのようなカートリッジ式メカニカルシールを有するポンプ装置、および、そのようなカートリッジ式メカニカルシールの製造方法を提供する【解決手段】内部に軸(51a)が挿通しており、切り欠き(1b)が外周表面に設けられたスリーブ(1)と、前記切り欠き(1b)に嵌め込まれ、前記スリーブ(1)より径が大きい環状の第1支持部材(3)と、前記第1支持部材(3)によって支持され、前記第1支持部材(3)より径が大きい環状の第2支持部材(4)と、前記第2支持部材(4)に支持されるシール部材(5)と、を備えるカートリッジ式メカニカルシール(100)が提供される。【選択図】図1

7. 发明专利

JP2017089453A 渦防止装置、および渦防止装置を備えるポンプ設備有权
公开(公告)号：JP2017089453A
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：JP2015218460
申请日：2015-11-06
申请人：株式会社荏原製作所 , Ebara Corp
发明人： OWADA NORIHIKO , CHO REIKA
IPC分类号： F04D29/66 , F04D13/16 , F04D29/44
摘要：【課題】吸込水槽内に設置される渦防止装置において、十分な開口率を確保しつつ渦防止性能を向上させる。【解決手段】ポンプの吸込口が配置される吸込水槽内に設置される渦防止装置が提供される。渦防止装置は、吸込口が挿入される開口を有する天井部と、天井部を支持する支持柱と、支持柱の間に板面が互いに平行になるように架け渡され、全体として吸込口を囲む側方整流板と、吸込口の下方に設置される下方整流板とを備える。また、ポンプと、ポンプの吸込口が配置される吸込水槽と、吸込水槽内に設置される渦防止装置とを備えるポンプ設備が提供される。【選択図】図2

8. 发明专利

JP2017087172A ストロンチウム吸着剤及びセシウム吸着剤审中-公开
公开(公告)号：JP2017087172A
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：JP2015223390
申请日：2015-11-13
申请人：日本化学工業株式会社 , Nippon Chem Ind Co Ltd , 株式会社荏原製作所 , Ebara Corp
发明人： MIYABE SHINSUKE , SATO KIYOSHI , SUGIHARA KAORI , IZUMI TAKESHI , KOMATSU MAKOTO , SAKUMA TAKASHI
IPC分类号： B01J20/10 , B01J20/30 , C01B33/32 , C02F1/28 , G21F9/12
摘要：【課題】海水においてCs及びSrの一方の吸着除去特性に優れた吸着剤、及び該吸着剤の製造に好適な吸着剤の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明のストロンチウム吸着剤は、一般式;M14Ti4Si3O16・nH2O(式中、M1はCsと、Na及びKから選ばれる1種又は2種のアルカリ金属を示し、nは0〜8の数を示す。)で表されるセシウム含有結晶性シリコチタネートを含有する。また本発明のセシウム吸着剤は、一般式;M24Ti4Si3O16・nH2O(式中、M2はSrと、Na及びKから選ばれる1種又は2種のアルカリ金属を示し、nは0〜8の数を示す。)で表されるストロンチウム含有結晶性シリコチタネートを含有する。【選択図】図3

9. 发明专利

JP2017078991A 抽出システム、診断システム、抽出方法及びプログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2017078991A
公开(公告)日：2017-04-27
申请号：JP2015207311
申请日：2015-10-21
申请人：株式会社荏原製作所 , Ebara Corp
发明人： YOSHIMOTO MASAHITO , NAKASHIO YUJI , UCHIDA YOSHIHIRO
IPC分类号： G05B23/02
摘要：【課題】新たに監視対象とするポンプユニットの異常または故障を監視当初から検知する。【解決手段】既に監視対象となっているポンプユニットである既監視ポンプユニットの種類を識別する既監視ポンプユニット種類識別情報が記憶されている記憶部11と、新たに監視対象とするポンプユニットである新監視ポンプユニットについてポンプユニットの種類を識別する新監視ポンプユニット種類識別情報の入力を受け付ける入力部13と、入力部が受け付けた新監視ポンプユニット種類識別情報を用いて、記憶部11から、新監視ポンプユニットと同一の種類の既監視ポンプユニットを識別する既監視ポンプユニット種類識別情報を抽出する抽出部15と、を有する。【選択図】図5

10. 发明专利

JP2015179747A 湿式処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP2015179747A
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：JP2014056714
申请日：2014-03-19
申请人： EBARA CORP
发明人： NAKAGAWA YOICHI , MUKOYAMA YOSHITAKA
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/02 , C23C18/31 , C23F1/08
摘要：【課題】均一な基板処理を実現することができる湿式処理装置を提供する。【解決手段】湿式処理装置は、基板Wを処理液中に浸漬させたまま基板ホルダ42を移動させる基板ホルダ送り機構50を備える。基板ホルダ送り機構50は、可動支持台52を上昇させて基板ホルダ42が固定支持台59から離間するまで基板ホルダ42を持ち上げ、可動支持台52を基板ホルダ42とともにホルダ取り出し位置OUTに向かって所定の距離だけ移動させ、基板ホルダ42が固定支持台59に支持されて可動支持台52が基板ホルダ42から離間するまで可動支持台52を下げ、可動支持台52をホルダ投入位置INに向かって所定の距離だけ移動させる。【選択図】図4

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