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    • 6. 发明专利
    • 積層装置および積層方法
    • 层压设备和堆叠方法
    • JP2016215532A
    • 2016-12-22
    • JP2015104446
    • 2015-05-22
    • ニッコー・マテリアルズ株式会社
    • 岩田 和敏本間 善明
    • B32B37/10B29C43/56B29C43/18B29L7/00B29C65/20
    • B29C51/10B29C63/00B29C63/40
    • 【課題】 基材の凹凸として尖った部分を有するものに対しても、樹脂フィルムを基材の凹凸に完全に追従させることができる積層装置および積層方法を提供する。 【解決手段】 凹凸を有する基材のその凹凸面にBステージ状態の熱硬化性樹脂からなる樹脂フィルムを載置した仮積層体3を搬送する搬送手段と、搬送された仮積層体3を収容する密閉空間形成手段と、上記密閉空間形成手段によって形成された密閉空間を負圧にする負圧形成手段と、上記負圧状態の密閉空間において仮積層体3を基材側から加熱し、樹脂フィルムを軟化する加熱手段と、上記負圧状態の密閉空間を常圧または加圧にし、非接触状態で上記軟化した樹脂フィルムを基材の凹凸に沿わせて密着させ上記仮積層体3から本積層体4を形成するようにした。 【選択図】図1
    • 甲甚至对于那些具有一个尖部作为基材的不规则性,是提供一种层压装置和层压方法可以在树脂膜完全遵循于基板的不平坦。 容纳输送装置用于输送通过将树脂膜在由B阶段状态的热固性树脂的基片的凹凸表面所获得的临时层叠体3中,临时层叠体3与甲凹凸输送 一封闭空间形成单元,其中,负压形成装置,用于负压通过所述封闭空间形成装置所形成的密封空间,在从基板侧的负压状态的封闭空间中加热临时层叠体3,所述树脂 加热装置,用于软化膜,所述负压状态在正常压力或加压密封空间,上述从临时层叠体3在一个非接触状态下软化描述紧密接触,并沿所述基板的凹凸的树脂薄膜 并且,以形成层压板4。 点域1