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1. 发明专利

JP2014531034A 変形可能な膜と強い変形に対する保護とを有する微小機械構造有权
标题翻译：具有保护和防止变形膜和强变形微机械结构
公开(公告)号：JP2014531034A
公开(公告)日：2014-11-20
申请号：JP2014537585
申请日：2012-10-24
申请人：オキシトロルエス.アー. , オキシトロルエス.アー.
发明人：ブリダ，セバスチャーノ
IPC分类号： G01L19/06 , G01L9/00 , G01L13/00
CPC分类号： G01L9/0047 , B81B3/0051 , B81B3/0097 , B81B2201/0264 , G01L9/0042 , G01L9/0048 , G01L19/0618
摘要：本発明は、機械的な大きさ又は動的な大きさを測定し或いは検出することを意図する微小機械構造に関し、変形可能な膜(20)と、支持基板(10)とを含み、膜(20)は、第1の部分(20a)と、第1の部分(20a)によって取り囲まれる第2の部分(20b)とを含み、第2の部分(20b)は、第1の部分(20a)の厚さ未満の厚さを有し、膜(20)は、支持基板(10)より上に懸架され、それによって、自由空間(30)を定め、微小機械構造は、追加的に、膜(20)の変形を制限するよう構成される下方当接部(21)を含み、下方当接部(21)は、支持基板(10)より上に配置され、且つ支持基板(10)から膜(20)に向かって自由空間(30)内に延び、下方当接部(21)は、下方当接部(21)の平坦な表面から膜(20)に向かって自由空間(30)内に延びる小島(101−108)を含み、小島(101−108)は、小島と膜の精細な部分(20b)との間の接触の事態において、小島と膜(20)の精細な部分(20b)との間の接触表面が膜(20)の精細な部分(20b)の寸法に対して小さいような方法においてレリーフ構造を形成する。
摘要翻译：本发明包括涉及用于测量或检测机械大小或动态的大小，且可变形膜（20），以及支撑衬底（10），膜（微机械结构 20）包括第一部分（20A），和一第二部分20b通过所述第一部分（20A），第二部分（20B）包括第一部分（20A包围（））的厚度小于膜的厚度（20）悬浮在支撑基板（10）的上方，由此限定自由空间（30），所述微机械结构是附加膜（邻接向下配置为限制20的变形）一（21），下支座（21）被布置成从支撑基板（10支撑基板（10），以及膜的上方）（向20）延伸到自由空间（30），所述下部邻接（21）延伸进入的方向上的自由空间（30）从下部支座（21）的平坦面与膜（20）包括小岛（101-108），小岛（101-108），胰岛的细的部分和膜之间的接触（20B）在的情况下，以形成在一个小的方式的凹凸结构相对于所述接触表面层（20）的微细部分的尺寸（20B）胰岛的细的部分和所述膜（20）之间（20b）的。

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