会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 3. 发明专利
    • トランジスタデバイスのゲート金属層を設ける方法および関連するトランジスタ
    • 用于提供晶体管器件的栅极金属层的方法及相关晶体管
    • JP2014220496A
    • 2014-11-20
    • JP2014086568
    • 2014-04-18
    • アイメックImecImec
    • TOGO MITSUHIRO
    • H01L21/336H01L21/28H01L21/8234H01L21/8238H01L27/088H01L27/092H01L29/41H01L29/78H01L29/786
    • H01L21/28008H01L21/28097H01L29/4975H01L29/66545H01L29/78
    • 【課題】閾値電圧のより優れた制御を可能にする。【解決手段】ゲート誘電体層2とダミーゲート電極層とを備え且つスペーサ組311,321の内側側壁322により横方向に画定されるダミーゲート構造を基板上に設け、ダミーゲート構造を横方向に埋め込み、ダミーゲート電極層を除去し、スペーサ組の内側側壁間でダミーゲート電極層に置き換わる最終ゲート電極層を設ける。最終ゲート電極層を設ける工程では、連結拡散層(少なくともゲート誘電体層上、スペーサ組の内側側壁上、および少なくともダミー構造のための埋め込み層の前面の一部の上に延在しまたは存在する)を設け、拡散層4上に金属を含む金属層5を設け、金属の拡散層内への拡散を付勢するように且つゲート誘電体領域に対応する領域における拡散層部分に拡散層内の金属を拡散させるように調製されたアニールステップを施し、最終ゲート金属充填層を用いてスペーサ組の内側側壁間の領域を充填する。【選択図】図3
    • 要解决的问题:更优选地控制阈值电压。解决方案:在衬底上,提供了一个虚拟栅极结构,其包括栅极电介质层2和虚拟栅极电极层,并且由侧壁322的内侧壁322沿横向限定 间隔耦合器311和321.伪栅极结构被嵌入在横向方向上,去除虚拟栅极电极层并且在隔离物的内侧壁之间耦合,提供最终栅极电极层,其被虚拟栅极电极层 。 在提供最终栅极电极层的步骤中,提供连接的扩散层(其延伸或存在至少在栅极介电层上,在间隔物的内侧壁上并且在嵌入层的正面的一部分上 用于虚拟结构),并且在扩散层4上设置含有金属的金属层5。 然后,施加退火步骤,其被制备为激励金属扩散到扩散层中并将扩散层内的金属扩散到对应于栅极电介质区域的区域中的扩散层部分,并且在使用最终 栅极金属填充层,填充间隔件对的内侧壁之间的区域。
    • 8. 发明专利
    • Method for evaluating shallow junctions for use in semiconductor devices
    • 用于评估在半导体器件中使用的微结点的方法
    • JP2014146790A
    • 2014-08-14
    • JP2013269213
    • 2013-12-26
    • ImecアイメックImec
    • JEAN-LUC EVERAERT
    • H01L21/66
    • H01L22/14G01R31/2648H01L2924/0002H01L2924/00
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide quick and easy metrology evaluation capable of directly measuring the active dose and the average mobility of free carriers in a shallow junction for use in a semiconductor device.SOLUTION: Provided is a method comprising: a) forming a substrate comprising a shallow junction at a first main surface of the substrate, the shallow junction being formed substantially parallel to the first main surface; b) forming a dielectric layer on top of the first main surface; c) iterating at least two times a combination of iteration steps consisting of the step of providing and determining a value of each charge on a predetermined area of the dielectric layer with discharge means and the step of measuring a corresponding photovoltage for the predetermined area; and d) deriving at least one of measurement of an average hole/electron mobility and measurement of a dose of active dopants for the predetermined area of the substrate, from each charge and the corresponding junction photovoltage. Also provided is an associated computer program.
    • 要解决的问题:提供能够直接测量用于半导体器件的浅结中自由载流子的活性剂量和平均迁移率的快速和容易的计量学评估。解决方案:提供一种方法,包括:a)形成基底 包括在所述衬底的第一主表面处的浅结,所述浅结形成大致平行于所述第一主表面; b)在所述第一主表面的顶部上形成介电层; c)迭代至少两次迭代步骤的组合,所述迭代步骤包括以下步骤:提供和确定所述电介质层的预定区域上的每个电荷的值与放电装置的步骤,以及测量所述预定区域的对应的光电压的步骤; 以及d)从每个电荷和相应的结光电压导出平均空穴/电子迁移率的测量和衬底的预定区域中的活性掺杂剂的剂量的测量中的至少一个。 还提供了相关联的计算机程序。