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71. 发明专利

JP6825935B2 研削装置有权
公开(公告)号：JP6825935B2
公开(公告)日：2021-02-03
申请号：JP2017034718
申请日：2017-02-27
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： B24B41/06 , B24B51/00 , B24B7/00 , B24B7/04 , B24B55/06 , H01L21/304 , B24B49/12

72. 发明专利

JP2020196100A 圧電アクチュエータで構成したチャックテーブル傾き調整機構审中-公开
公开(公告)号：JP2020196100A
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：JP2019104372
申请日：2019-06-04
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： B24B41/06 , H01L41/09 , B23Q1/01 , B24B7/04 , B23Q1/34
摘要：【課題】効率的かつ確実にチャックテーブルの傾きを調整する傾き調整機構を提供する。【解決手段】被加工物が保持される保持面20aを有するチャックテーブル2、被加工物の上面に当接する加工面340aを有する研削砥石340を備える加工手段3、並びに、伸縮支持柱51及び伸縮支持柱51に配設されている圧電アクチュエータ510に供給される直流電圧値を制御する電圧制御部60を有する傾き調整機構5が配設されている加工装置において、直流電源6から供給される直流電圧値を、電圧制御部60によって制御して、所定の直流電圧値の直流電力を圧電アクチュエータ510に供給することにより、伸縮支持柱51を所定の長さに調節して、固定支持柱52を支点としてチャックテーブル2の保持面20aの傾きを変更する。これにより、研削砥石340の加工面340aに対する保持面20aの平行度を調整する。【選択図】図2

73. 发明专利

JP2020146781A 監視システム审中-公开
公开(公告)号：JP2020146781A
公开(公告)日：2020-09-17
申请号：JP2019044723
申请日：2019-03-12
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： B24B7/00 , B23Q17/00 , B23Q17/24 , B23Q11/00 , H01L21/304 , H04N7/18 , B24B49/12
摘要：【課題】加工装置への工具の置き忘れを防止することができる監視システムを提供する。【解決手段】監視システム2は、加工装置4を撮像するカメラ6と、カメラ6の画像を記憶する第一の画像記憶部14および第二の画像記憶部16と表示部12とを少なくとも備えた制御手段8と、を備える。第一の画像記憶部14には正常な状態の加工装置4の画像が記憶され第二の画像記憶部16には作業終了時の加工装置4の画像が記憶される。制御手段8は、第一の画像記憶部14に記憶された画像と第二の画像記憶部16に記憶された画像とを比較して一致しない場所を表示部12に表示する。【選択図】図2

74. 发明专利

JP2020138286A 加工装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020138286A
公开(公告)日：2020-09-03
申请号：JP2019036176
申请日：2019-02-28
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡 , 宮本弘樹 , 中野恵助
IPC分类号： B24B41/06 , B24B37/00 , B24B7/04 , H01L21/304 , H01L21/301 , B24B49/04
摘要：【課題】少なくとも2種類のサイズの被加工物に対応して加工を施すことができる加工装置において、被加工物の損傷を防止する加工装置を提供する。【解決手段】少なくとも2種類のサイズの被加工物(W1、W2)を選択的に保持できる吸引領域を有するチャックテーブル70と、加工手段36とを備えた加工装置1であって、被加工物の厚みを計測する厚み計測手段80と、サイズを選定するサイズ選定部110を少なくとも備えた制御手段100とを備え、該制御手段100は、厚み計測手段80によって被加工物のサイズに対応してチャックテーブル70の複数の吸引領域における厚みを計測し、該厚みが計測された吸引領域に対応して被加工物のサイズを検出するサイズ検出部120と、サイズ検出部120が検出したサイズBと、サイズ選定部110で選定されたサイズAとが一致しているか否かを判断する判断部とを備えている加工装置1。【選択図】図1

75. 发明专利

JP2020015118A クリープフィード研削方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020015118A
公开(公告)日：2020-01-30
申请号：JP2018138462
申请日：2018-07-24
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡 , 宮本弘樹
IPC分类号： B24B49/04 , B24B49/12 , H01L21/304 , B24B7/02
摘要：【課題】クリープフィード研削中にワーク厚みを測定し研削厚み差を小さくする。【解決手段】マウント73は、回転軸70より外側で砥石741より内側で上下面を貫通する孔730を備え、貫通孔730を通過した測定光を照射しワーク上面からの反射光を貫通孔730を通過させ受光しワーク上面高さを測定する手段38を備え、Y軸方向において研削ホイール74前方より前方側にテーブル30を位置づけ、さらに砥石741下面をワーク上面より下に位置づける工程と、研削手段7の初期高さ位置記憶工程と、研削手段7に対しテーブル30を前方から後方に移動させ研削されたワーク被研削面を測定手段38が測定した初期値Z1を記憶する工程と、研削手段7に対しテーブル30を移動させワーク被研削面を測定手段38が測定した値から初期値Z1を引き砥石741の消耗により生じる差算出毎に該差だけ研削手段7をテーブル保持面に近づける工程とを備えるクリープフィード研削方法。【選択図】図4

76. 发明专利

JP2019153724A 加工装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019153724A
公开(公告)日：2019-09-12
申请号：JP2018039273
申请日：2018-03-06
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡 , 北村宏
IPC分类号： B24B37/30 , B24B41/06 , B24B49/10 , H01L21/304
摘要：【課題】ウエーハの面に加工を施す加工具と、加工されるウエーハの面との接触圧を均一にすることができる加工装置を提供する。【解決手段】研磨装置は、ウエーハを保持する吸引保持部75を備えたチャックテーブル71と、ウエーハの加工を施す加工手段とを含む。吸引保持部は、基台と、基台に配設された複数の圧電素子110と、各圧電素子に電圧を印加して膨張させる電圧印加手段と、電圧印加手段を制御する制御手段10とから構成される。制御手段は、ウエーハに加工具を接触させて圧電素子から出力される電圧を圧電素子に対応して記憶する出力電圧記憶部10aと、記憶された電圧値の最大値を求め、最大値から圧電素子に対応して記憶された電圧値を差し引いて印加電圧を求める算出部10bと、印加電圧を記憶する印加電圧記憶部10cとを備え、印加電圧記憶部10cに記憶された電圧で電圧印加手段を制御する。【選択図】図2

77. 发明专利

JP2019070332A チューブポンプ审中-公开
公开(公告)号：JP2019070332A
公开(公告)日：2019-05-09
申请号：JP2017195921
申请日：2017-10-06
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： F04C5/00
摘要：【課題】液体の流量を一定にすることができるチューブポンプを提供する。【解決手段】チューブポンプ1は、円弧状の内壁2を有するブロック20と、ブロック20をローラ7a〜7dに接近及び離間する方向に移動自在に係合させるとともにローラ7a〜7dを回動させる軸9が配設された筐体10と、ブロック20をローラ7a〜7dに向かって付勢するバネ13a,13bとを備えたため、バネ13a,13bによって常にブロック20をローラ7a〜7dに向けて付勢して内壁2でチューブ3を押しつぶした状態を維持できる。したがって、本発明によれば、ローラ7a〜7dでチューブ3を確実に押しつぶしてチューブ3の流路31内の液体を一定の流量にして送水することができる。【選択図】図1

78. 发明专利

JP2019042910A 加工装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019042910A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：JP2017171943
申请日：2017-09-07
申请人：株式会社ディスコ
发明人：川越大輔 , 山中聡 , 土井功達 , 荒蒔創介 , 内田昌宏
IPC分类号： H01L21/304 , B24B49/10 , B23Q11/00 , B23Q17/00
摘要：【課題】本発明の解決すべき課題は、加工装置が起動されていないにも関わらず、加工具が惰性で回転していることを作業者が容易に把握することができる加工装置を提供することにある。【解決手段】本発明によれば、被加工物を保持する保持テーブル21と、該保持テーブル21が保持した被加工物を加工する加工具を先端に装着したスピンドル50と、該スピンドル50を回転させるモータ49と、該スピンドル50の回転を検出する検出手段と、該スピンドル50の回転が検出されたことを報知する表示灯65と、を備えた加工装置1であって、該検出手段は、コイル61と永久磁石62とを用いて該コイル61を貫通する該永久磁石62の磁束B線により該コイル61が発電する発電部60を備え、該発電部60において発電された電力により該表示灯65を点灯させる加工装置が提供される。【選択図】図2

79. 发明专利

JP2018111141A 研磨装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018111141A
公开(公告)日：2018-07-19
申请号：JP2017001788
申请日：2017-01-10
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： B65G49/07 , H01L21/304 , B24B41/06
摘要：【課題】研磨加工で利用されたスラリーがウエーハに固着するのを防止すること。【解決手段】搬出手段(6)は、板状でウエーハ(W)を保持する保持面の中央から水を放射状に放水して保持面とウエーハの上面との間に水層を形成してウエーハを保持する搬出パッド(60)を備える。収納手段(17)は、水槽(40)と、水槽内の水中にカセット(C2)を水没させるカセット水没手段(41)と、水没したカセット(C2)に向かって延在し水槽内に水没させたレール(42)と、レールの上に搬出手段でウエーハを水没させレールの延在方向で水没したカセット(C2)に向かってウエーハを水中移動させる水中移動手段(43)と、を備える構成にした。【選択図】図1

80. 发明专利

JP2018083244A スピンドルユニット审中-公开
公开(公告)号：JP2018083244A
公开(公告)日：2018-05-31
申请号：JP2016226893
申请日：2016-11-22
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： B24B41/04 , F16C32/06 , B23B19/02
摘要：【課題】エア源の切り換えによるエアの供給の安定化を図る。【解決手段】エアベアリングを構成するスピンドルユニット(42)は、ケーシング(51)の外壁に配設される第1の供給口(81)及び第2の供給口(82)を備える。第1の配管(84)は第1の供給口とメインエア源(93)とを接続し、第2の配管(85)は第2の供給口とサブエア源(94)とを接続する。分岐部は、第1の配管、第2の配管及び噴出口(53)に通じる第3の配管(86)を接続する。第1の配管には分岐部から第1の供給口に向かう方向へのエアの流れを遮断する第1の逆止弁(87)が配設され、第2の配管には分岐部から第2の供給口に向かう方向へのエアの流れを遮断する第2の逆止弁(88)が配設される。ケーシングではメインエア源とサブエア源とに接続し、メインエア源からのエア供給が途絶えたとしても瞬時にサブエア源からのエアを供給可能にする。【選択図】図3

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