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    • 65. 发明专利
    • 機能膜の製造方法、有機EL機能膜、有機太陽電池機能膜、有機半導体機能膜、有機EL素子、有機太陽電池素子、有機半導体素子、照明装置、及び表示装置、
    • 制造功能膜的方法,有机EL功能膜,有机太阳能电池功能膜,有机半导体功能膜,有机EL元件,有机太阳能电池元件,有机半导体元件,照明装置和显示装置
    • JP2015220179A
    • 2015-12-07
    • JP2014104591
    • 2014-05-20
    • 三菱化学株式会社パイオニア株式会社
    • 大関 陽介
    • H01L51/50H01L51/48B05D1/26H05B33/10
    • Y02E10/549
    • 【課題】1つの塗布領域に対して塗布ヘッドを複数回走査して機能膜を形成する場合において、機能膜の膜厚ムラを抑制し、機能膜の発光ムラの発生を防止することができる機能膜の製造方法を提供する。 【解決手段】インクが充填された塗布ヘッドを基板に対して相対的に走査し、前記塗布ヘッドの複数のノズルから区画された1つの領域の一部に前記インクを吐出して第1塗布領域を形成する第1塗布工程と、前記第1塗布工程における前記塗布ヘッドの走査経路に対して平行、且つ走査範囲の一部が重複するように前記塗布ヘッドを前記基板に対して相対的に走査し、前記区画された1つの領域の残部の少なくとも一部に前記インクを吐出して第2塗布領域を形成する第2塗布工程と、を有し、前記第1塗布工程及び前記第2塗布工程における前記インクの吐出量を調整する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种能够抑制功能膜的膜厚不均匀性的功能膜的制造方法,并且在使涂布头扫描一个涂层的情况下防止功能膜的发光不规则性的发生 区域多次以形成功能膜。解决方案:制造功能膜的方法包括:第一涂覆步骤,使填充有油墨的涂布头相对于基板扫描,并且从涂覆头的多个喷嘴排出墨 到一个截面区域的一部分以形成第一涂覆区域; 以及第二涂布步骤,使得涂布头在第一涂布步骤中与涂布头的扫描路径平行地扫描基板,使得扫描范围的一部分重叠,并将墨排出至少部分 一个分段区域的剩余部分形成第二涂层区域。 调整第一涂布步骤和第二涂布步骤中的墨水的排出量。