基本信息:
- 专利标题： 素子製造方法および素子製造装置
- 专利标题（英）：Device manufacturing method and device manufacturing equipment
- 专利标题（中）：装置的制造方法和器件制造设备
- 申请号：JP2014069961 申请日：2014-03-28
- 公开(公告)号：JP5880611B2 公开(公告)日：2016-03-09
- 发明人： 二連木 隆 佳 , 武 田 利 彦 , 中 島 宏 佳
- 申请人： 大日本印刷株式会社
- 申请人地址： 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号
- 专利权人： 大日本印刷株式会社
- 当前专利权人： 大日本印刷株式会社
- 当前专利权人地址： 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号
- 代理人： 勝沼 宏仁; 永井 浩之; 磯貝 克臣; 堀田 幸裕; 岡村 和郎
- 优先权： JP2013072013 2013-03-29 JP2013237397 2013-11-15
- 主分类号： H01L51/50
- IPC分类号： H01L51/50 ; H05B33/10 ; H05B33/26 ; H01L51/48 ; H01L51/40 ; H01L51/05 ; H05B33/04
公开/授权文献:
- JP2015118903A 素子製造方法および素子製造装置 公开/授权日：2015-06-25