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    • 65. 发明专利
    • ウエーハの生成方法
    • 产生晶片的方法
    • JP2016225536A
    • 2016-12-28
    • JP2015112317
    • 2015-06-02
    • 株式会社ディスコ
    • 平田 和也
    • B23K26/53B23K26/067B28D5/04H01L21/304
    • B23K26/0057B23K26/0604B23K26/53H01L29/04H01L29/1608H01L29/2003B23K2203/56
    • 【課題】 インゴットから効率よくウエーハを生成することのできるウエーハの生成方法を提供することである。 【解決手段】 六方晶単結晶インゴットからウエーハを生成するウエーハの生成方法であって、六方晶単結晶インゴットに対して透過性を有する波長のレーザービームの集光点を表面から生成するウエーハの厚みに相当する深さに位置付けると共に、集光点とインゴットとを相対的に移動してレーザービームを表面に照射し、表面に平行な改質層及び該改質層から伸長するクラックを形成して分離起点を形成する分離起点形成ステップと、分離起点からウエーハの厚みに相当する板状物をインゴットから剥離して六方晶単結晶ウエーハを生成するウエーハ剥離ステップとを含む。分離起点形成ステップにおいて、オフ角が形成される方向にレーザービームの集光点を所定の間隔を持って2個以上位置付けて、直線状の改質層を2本以上同時に形成する。 【選択図】図7
    • 公开的是提供一种生产可以有效地制造从锭晶片的晶片的方法。 本发明涉及晶片的生成方法,以产生由六方Akiratan晶锭的晶片中,晶片的厚度,以产生从一个表面上具有透射波长六边形Akiratan晶锭的激光束的焦点 与在对应于深度位置时,激光束照射到所述表面相对移动并使焦点和锭以形成从平行重整层延伸的裂纹和表面上的重整层 包括形成开始点的分离的分离开始点形成工序中,板状材料,其从分离对应起点到晶片的厚度,并产生一个六边形Akiratan晶体晶片从铸锭剥离的晶片去除步骤。 在分离开始点形成工序中,在方向上的激光束的焦点,其中,偏离角是通过定位两个或更多个以预定间隔以形成线性改性层同时两个或多个形成。 点域7