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61. 发明专利

JP2015042398A 気泡除去装置、気泡除去方法、及び半導体製造装置の薬液供給システム审中-公开
标题翻译：空气泡沫拆除装置，空气泡沫拆除方法和半导体制造装置化学品供应系统
公开(公告)号：JP2015042398A
公开(公告)日：2015-03-05
申请号：JP2013174919
申请日：2013-08-26
申请人：株式会社東芝 , Toshiba Corp
发明人： MOTOOKA TAKASHI , MANABE ATSUYUKI
IPC分类号： B01D19/00 , B01D61/00 , B01D63/02
CPC分类号： B01D19/0031 , B01D19/0084 , B03C3/38 , B03C3/47 , B03C3/49
摘要：【課題】気泡の混在を効果的に抑制可能とする気泡除去装置、気泡除去方法、及び半導体製造装置の薬液供給システムを提供すること。【解決手段】実施形態によれば、気泡除去装置1は、気泡吸着手段及び気泡排出手段を有する。気泡吸着手段は、液体が充填されている容器内において、液体中の気泡を吸着させる。気泡排出手段は、気泡吸着手段に吸着された気泡を取り込む。気泡排出手段は、取り込んだ気泡を容器から排出させる。気泡吸着手段は、メッシュ構造物11を備える。メッシュ構造物11は、線状部材が格子状に組み合わされている。メッシュ構造物11は、正に帯電可能な帯電部材を含む線状部材を用いて構成されている。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种气泡去除装置，气泡去除方法和能够有效地抑制气泡混合的半导体制造装置化学品供给系统。解决方案根据一个实施方案，气泡去除装置1包括：气泡吸附手段; 和气泡排出装置。气泡吸附装置吸收充满液体的容器内的液体中的气泡。气泡排出装置捕获由气泡吸附装置吸附的气泡。气泡排出装置从容器中排出捕获的气泡。气泡吸附装置包括网状结构11.网状结构11使得线性构件组合成格子。网格结构11构造成使用包括可带正电荷的带电构件的线性构件。

62. 发明专利

JP5369210B2 Dust collection equipment and air conditioning equipment 有权
公开(公告)号：JP5369210B2
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：JP2012069339
申请日：2012-03-26
申请人：パナソニックエコシステムズ株式会社
发明人：亮加藤 , 義和田代
IPC分类号： F24F1/00 , B03C3/02 , B03C3/12 , B03C3/155 , B03C3/38 , B03C3/40 , B03C3/41 , B03C3/47 , B03C3/68
CPC分类号： B03C3/38 , B03C3/12 , B03C3/155 , B03C3/41
摘要： A dust is electrostatically charged using an ion-releasing means adapted to release only ionized air with occurrence of a corona discharge, thereby reducing the amount of power consumed and the amount of ozone generated to the utmost. An electric dust collector includes a charging section comprising a discharging electrode and an earthed electrode, a dust-collecting section comprising a voltage-applied electrode and an earthed electrode and an air feed fan. A dust introduced into the dust collector is electrostatically charged by breaking the air insulation by a corona discharge occurring in the charging section to produce ionized air and then removed in the dust-collecting section where an electric field is formed. However, because the corona discharge is generated, there is a problem that the discharged current is large, and the amount of power consumed and the amount of ozone generated are large.

63. 发明专利

JP2012510051A Sensor for sensing airborne particles 有权
公开(公告)号：JP2012510051A
公开(公告)日：2012-04-26
申请号：JP2011536993
申请日：2009-11-20
申请人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ
发明人：ヨハネスマルラ
IPC分类号： G01N15/06
CPC分类号： G01N15/0266 , B03C3/017 , B03C3/08 , B03C3/12 , B03C3/38 , B03C3/41 , B03C3/47 , G01N1/2202 , G01N15/0205
摘要：粒子センサが開示され、前記センサは、前記センサ内の通路を通過する空気流内の約１０ｎｍより大きい浮遊粒子を感知することができる。前記センサは、前記空気流内の前記浮遊粒子を帯電させる浮遊単極性イオンを生成する高圧放電電極を有する。前記生成されたイオンは、更に、前記放電電極と前記センサ内のカウンタ電極との間でイオン風を生じるのに更に使用される。前記イオン風は、前記センサを通る空気流を維持する駆動力であり、センサ動作が可聴雑音無しで生じることを可能にする。前記空気流内の帯電粒子の存在は、粒子感知セクション内の電流メータにより測定され、前記電流メータは、前記粒子感知セクションの上流に配置された別個のスクリーニング電極により全ての浮遊イオンが空気から除去された後に凝集電極の表面において単位時間毎に凝集する粒子に束縛された電荷を測定する。

64. 发明专利

JP2011185939A Electrical ionizer for aerosol charge conditioning and measurement 有权
标题翻译：用于航空器充电调节和测量的电离离子
公开(公告)号：JP2011185939A
公开(公告)日：2011-09-22
申请号：JP2011052188
申请日：2011-03-09
申请人： Msp Corp , エムエスピーコーポレーション
发明人： DICK WILLIAM , ROMAY FRANCISCO J , LIU BENJAMIN Y H
IPC分类号： G01N15/02
CPC分类号： B03C3/38
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrical ionizer that generates a charge distribution similar to Boltzmann distribution generated by a radioactive ionizer for an accurate measurement of aerosol by DMS.
SOLUTION: The electrical ionizer exposes particles in a gas to an ion in order to cause the charge on the particles to change, and comprises a chamber with an inlet for the gas to enter and an outlet for the gas to exit. The electrical ionizer includes: the chamber surrounded by an enclosure with a conductive wall, wherein the wall is held at a ground potential; and an electrode with an exposed tip coming into contact with the gas in the chamber, wherein the electrode is held at a different potential from the conductive wall, while the exposed tip is disposed adjacent to one region of the conductive wall. The inlet and outlet define a gas flow path from the inlet to the outlet. The electrode is connected to a source of voltage sufficient to cause a corona discharge to occur forming ions in the chamber.
COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种电离器，其产生类似于由放射性电离器产生的玻尔兹曼分布的电荷分布，以便通过DMS精确测量气溶胶。解决方案：电离器将气体中的颗粒暴露于离子，以使颗粒上的电荷改变，并且包括具有用于气体进入的入口和用于气体排出的出口的室。电离器包括：由具有导电壁的外壳围绕的腔室，其中该壁保持在地电位; 以及具有暴露尖端的电极与腔室中的气体接触，其中电极被保持在与导电壁不同的电位，而暴露尖端邻近导电壁的一个区域设置。入口和出口限定从入口到出口的气体流动路径。电极连接到足以引起在腔室中形成离子的电晕放电的电压源。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

65. 发明专利

JP2010535951A Method of performing textile cleaning and sterilization using a plasma, and plasma Rock 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP2010535951A
公开(公告)日：2010-11-25
申请号：JP2010520545
申请日：2008-08-08
申请人：ライプニッツ−インスティトゥートフュールプラズマフォルシュングウントテヒノロギーエー.ファウ.
发明人：アンクラム、キルシュテン , ヴェルトマン、クラウス−ディーター , クリューガー、ティラ , コブルガー、トルシュテン , ツァーン、ロルフ−ユルゲン , ノイデック、ディアナ , ハルフェンシュタイン、イヴォンヌ , ミューラー、ジークフリート , ムレクツコ、ノルマン , ライヒ、ヴォルフガンク
IPC分类号： D06M10/02 , D06M10/00 , D06M11/34 , D06M23/14
CPC分类号： A61L2/202 , A61L2/10 , A61L2/14 , A61L9/015 , A61L9/20 , A61L9/22 , A61L2202/25 , A61L2202/26 , B03C3/017 , B03C3/38 , D06L1/00 , D06L4/00 , D06L4/50 , D06M10/001 , D06M10/025 , D06M10/06 , D06M16/00
摘要：【課題】水並びに種々の洗剤及び殺菌剤の使用が必要とされない、ないしは著しく低減されることが可能な、テキスタイル（繊維製品）をクリーニング（清浄）及び殺菌するための方法。
【解決手段】オゾン生成及びオゾン活性化；殺菌；ガス状成分の酸化及び分解；及び微生物及びエアロゾルの分離及び分解の工程を有する、プラズマを用いてテキスタイルクリーニング及び殺菌を行うための方法において、
プラズマ発生が実行され、その際、イオンが導出されることを特徴とする。
【選択図】なし
摘要翻译：用于从病毒，细菌和孢子清洁和消毒纺织品和空气的方法和设备，以及用于从其中使用水和各种其它清洁剂和消毒剂的粉尘，花粉，气味等中提取的方法和设备也不是所需要的包括一个可以留下生命的锁或门廊，还可以对零件和纺织品等进行处理。其中，分别附着在衣服或身体上以及产品上的气溶胶（液滴，颗粒，灰尘）以及气溶胶和微生物分别被处理。基本原则也适用于房间（例如候车室）或马厩以及洁净室条件。本发明的各个方面包括等离子体生成，从等离子体产生离子电流，产生臭氧并进行活化，灭菌，气体组分的氧化和分解，以及微生物和气溶胶的分离及其分解。

66. 发明专利

JP4220238B2 Electrostatic ion air emission device 有权
公开(公告)号：JP4220238B2
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：JP2002551097
申请日：2001-12-17
申请人：エアーインスペースビー.ヴィ.
发明人：エレナウラジミロヴナヴォロディナ , アレクサンドレウラジミロビッチナゴルキン , フレデリックバッセ , ジャン−マリービヨット
IPC分类号： B03C3/41 , B08B6/00 , B01J19/08 , B03C3/38 , B03C3/51 , B05B5/08
CPC分类号： B03C3/09 , B01J19/088 , B01J2219/0809 , B01J2219/0849 , B03C3/38 , B03C3/41 , B03C3/47 , B03C3/51 , B03C3/60 , B03C2201/06 , B03C2201/10 , Y02A50/2357
摘要： Electrostatic source for distributing ions uniformly onto surfaces of flowing aerosol particles, where numerous channels (C1, C2,...,Cn) passing fluid, pass through a receptor electrode (ER), is new. Their openings (O1, O2,...,On) are distributed quasi-uniformly over the active face (SA) in two geometric directions (yy', zz'). Electrostatic source for distributing ions uniformly onto surfaces of flowing aerosol particles, where numerous channels (C1, C2,...,Cn) passing fluid, pass through a receptor electrode (ER), is new. Their openings (O1, O2,...,On) are distributed quasi-uniformly over the active face (SA) in two geometric directions (yy', zz'). In addition, sharp points emerge from the otherwise planar active face (SA) of the receptor electrode, forming prickly zones (Ai). Locally, they present a tiny radius of curvature (ra). Their distribution is uniform over the area. The points surround the openings. A superficial ion (iq) flux (Is(r)) is established from a corona electrode (EC) towards the face (SA) of the receptor electrode (ER). Superficial ionic intensity (J(Q(r)) at points Q(r) near the active face (SA) has a spatial ionic intensity distribution Is (r) of increased uniformity, in relation to variation of spatial distance (r) between the corresponding projection point (P(r)) of the active face (SA) of the receptor electrode and the principal zone of ionic action (A) surrounding the geometric center (O) of the area of the straight projection of the discharge zone (D) of the corona electrode (EC) onto the active planar area (SA). A wide active zone (S) surrounds the geometric center (O), in which a uniform quantity of ions (iq) is deposited on the area (sp) of aerosol particles (p1, p2,..., pn) having the same order of diameter (dp), which is carried by the fluid (F) through the openings (O1, O2,..., On).

67. 发明专利

JP2008544294A Ultra-fine particle sensor 审中-公开
公开(公告)号：JP2008544294A
公开(公告)日：2008-12-04
申请号：JP2008519049
申请日：2006-06-26
申请人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ
发明人：マーラ，ヨハン
IPC分类号： G01N15/06
CPC分类号： B60H3/0085 , B03C3/017 , B03C3/08 , B03C3/12 , B03C3/38 , B03C3/41 , B03C3/47 , B60H1/008 , G01N15/0266 , G01N15/0656
摘要：本発明は、約５〜５００ｎｍの範囲にある直径を有する浮遊粒子を検知する超微細粒子センサに関する。センサは、超微細粒子の流入のための空気吸い込み口と、少なくとも１つの時間間隔の間に少なくとも第１の濃度レベルと第２の濃度レベルとの間で超微細粒子の濃度を変化させることが可能な濃度変化部とを有する。粒子検知部は、少なくとも第１の濃度レベルに対応する第１の電流レベルと第２の濃度レベルに対応する第２の電流レベルとの間で変化する電流である測定信号を発生させることが可能なよう設けられる。評価ユニットは、変化する測定信号から超微細粒子に関するデータを得ることが可能なよう設けられる。濃度レベルにおける適用される変化の結果として、データは、浮遊超微細粒子の粒子長さ濃度及び粒子個数濃度に関する測定信号の結果として得られる変化から得られる。

68. 发明专利

JP2008542721A Nano-particle contact measuring device 审中-公开
公开(公告)号：JP2008542721A
公开(公告)日：2008-11-27
申请号：JP2008513666
申请日：2006-05-23
申请人：ティエスアイインコーポレイテッドTsi Incorporated
发明人：エル．カウフマン、スタンレー , トランペ、アンドレアス , ワイ．エイチ．プイ、ディビッド , フィッサン、ハインツ
IPC分类号： G01N15/06
CPC分类号： G01N27/622 , B03C3/017 , B03C3/09 , B03C3/12 , B03C3/38 , B03C3/41 , B03C3/47 , G01N15/0266 , G01N23/00 , G01N2015/0038
摘要：ナノ粒子接触を非侵襲的に測定する機器は、エアロゾルの単極拡散荷電を実行するためイオンを生成するコロナ放電素子と、余分なイオンと閾値を超える電気移動度の荷電粒子の一部とを除去するためのイオントラップとを含む。下流では、導電性ＨＥＰＡフィルタまたはその他の回収素子が荷電粒子を堆積させ、結果として生じる電流を電位計増幅器に提供する。該機器は、粒子挙動、たとえば、呼吸器系の選択された領域におけるナノ粒子沈着を示す選択された関数とより緊密に一致するように電位計増幅器の出力を変更するよう調整可能である。調整は、イオントラップ、コロナ放電素子、および回収素子のうち１つまたは複数に印加される電圧の調節を含む。もしくは、調節は、直接、あるいは、エアロゾルと混合するようにイオンを導くガスの流速と比較して、エアロゾルの流速を調節することを含む。

69. 发明专利

JP4111229B2 Discharge device and the air purification system 有权
公开(公告)号：JP4111229B2
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：JP2006166237
申请日：2006-06-15
申请人：ダイキン工業株式会社
发明人：維大大堂 , 利夫田中 , 竜司秋山 , 完治茂木
IPC分类号： H01T19/00 , A61L9/22 , B01D53/86
CPC分类号： B05B5/087 , A61L9/22 , B01D53/32 , B01D53/77 , B01D53/8678 , B01D2255/2073 , B01D2259/818 , B03C3/09 , B03C3/12 , B03C3/16 , B03C3/38 , B03C2201/06 , B03C2201/10 , H05H1/48 , H05H2001/483 , H05H2245/121
摘要： There is provided a granular particulate ejector configured to eject granular particulates (a liquid droplet ejector (24) configured to spray liquid droplets (22) ). Granular particulates (liquid droplets (22) ) ejected towards a discharge electrode (21) from the granular particulate ejector (the liquid droplet ejector (24) ) serve as a counter electrode (22).

70. 发明专利

JP2005161302A Portable air filtration system 审中-公开
标题翻译：便携式空气过滤系统
公开(公告)号：JP2005161302A
公开(公告)日：2005-06-23
申请号：JP2004244592
申请日：2004-08-25
申请人： Delphi Technologies Inc , デルファイ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド
发明人： PARISI MARK JOSEPH , ENZINNA DONALD JOHN , VASKO SUSAN CLAIRE , REYZIN ILYA , VETTER STEPHAN MICHAEL
IPC分类号： B03C3/02 , B01D46/00 , B01D46/52 , B03C3/155 , B03C3/32 , B03C3/38 , B03C3/40 , B03C3/41 , B03C3/47 , B03C3/82
CPC分类号： B03C3/32 , B03C3/155 , B03C3/38
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a portable air filtration system.
SOLUTION: The portable air filtration system 10 is provided with a filter housing 14 having an air inlet 24 and an air outlet 26. The filter housing 14 forms a filter chamber 28 between the air inlet 24 and the air outlet 26. An ionizing mechanism 18 ionizes particles in air into a negative charge. A filter medium 20 is arranged between the ionizing mechanism 18 for entrapping particles and the air outlet 26. An electrode 22 is arranged between the ionizing mechanism 18 and the filter mechanism 20 in order to establish an electric field. The electric field is established between the ionizing mechanism 18 and the electrode 22 adjacent to the filter medium 20. The electrode 22 is electrically connected with the ground 54 and also with the filter medium 20 for dissipating the negative charge of the particles entrapped within the filter medium 20.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：提供便携式空气过滤系统。解决方案：便携式空气过滤系统10设置有具有空气入口24和空气出口26的过滤器壳体14.过滤器壳体14在空气入口24和空气出口26之间形成过滤室28。电离机构18将空气中的颗粒电离成负电荷。过滤介质20被布置在用于捕获颗粒的电离机构18和空气出口26之间。为了建立电场，电极22被布置在电离机构18和过滤器机构20之间。在离子化机构18和与过滤介质20相邻的电极22之间建立电场。电极22与地面54电连接，并且与过滤介质20电连接，以消散捕获在过滤器内的颗粒的负电荷中等20.版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

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