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51. 发明专利

JP2010524695A Method for detecting and classifying a surface defect of a continuously cast slab 有权
公开(公告)号：JP2010524695A
公开(公告)日：2010-07-22
申请号：JP2010504437
申请日：2008-04-02
申请人：エスエムエス・ジーマーク・アクチエンゲゼルシャフトSMS Siemag AG
发明人：ヴァイナート，アンドレアス , シューマッヒャー，ヴィルフリート , シュスター，インゴ , シュルツェ，シュテファン , ズーダウ，ペーター , ファッカート，ライナー , ローゼンタール，ディーター
IPC分类号： B22D11/16
CPC分类号： B21B38/00 , B21B37/00 , G01B21/30 , G01N21/8914 , G01N21/95
摘要：【課題】本発明は、連続鋳造された製品の表面の外観に関するトポグラフィー情報を利用して、連続鋳造された製品の表面欠陥を検出かつ分類するための方法であって、欠陥および／または傷の正確な位置を定め、当該欠陥および／または傷を、位置および広がりの点で評価し、当該評価に対応して製品の継続加工前に除去し、またはプロセス最適化によって回避可能とする方法に関する。課題は、確実かつ実際に不可欠な欠陥評価だけを実施することにある。
【解決手段】一方で連続鋳造された一次製品のスラブ表面の欠陥および／または傷を、検出し、正確な位置で記憶し、他方で最終製品の欠陥および／または傷を、検出し、正確な位置で記憶し、次に一次製品の情報を最終製品の表面検査からの情報と比較し、最終製品に欠陥をもたらした情報、または欠陥もたらすことのある情報のみを、一次製品の欠陥および／または傷を除去するための情報として用いることによって、この課題解決は達成される。
【選択図】図１

52. 发明专利

JP2009069173A Heat-resistant resin belt and manufacturing method thereof 审中-公开
标题翻译：耐热树脂皮带及其制造方法
公开(公告)号：JP2009069173A
公开(公告)日：2009-04-02
申请号：JP2007234142
申请日：2007-09-10
申请人： Ricoh Co Ltd , 株式会社リコー
发明人： TAKAI ATSUSHI , KAMOI SUMIO , ISHIDA KAZUO , HIRAKAWA TOSHIKAZU , ISHIBE ATSUSHI , KATANAMI AKIHIRO
IPC分类号： G03G15/20 , G03G15/00
CPC分类号： B29C65/4835 , B29C65/18 , B29C65/48 , B29C65/484 , B29C65/4875 , B29C65/4885 , B29C65/526 , B29C66/1122 , B29C66/43 , B29C66/4324 , B29C66/71 , B29C66/73921 , B29C66/73941 , B29C66/81261 , B29C66/82421 , B29C66/9141 , B29C66/91411 , B29C66/91445 , B29C66/919 , B29C66/929 , B29C66/949 , B29C2793/0081 , B29K2071/00 , B29K2079/08 , B29K2081/04 , B29K2081/06 , B29K2083/00 , B29K2101/10 , B29K2995/0016 , B29K2995/0017 , B29L2009/00 , B29L2031/7092 , B29L2031/767 , G01B21/30 , G03G15/2053 , G03G2215/2032 , Y10T156/1066 , B29C65/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance both the quality of a printed image and the durability of a heat-resistant endless belt which is manufactured by joining both ends thereof by regulating flatness of the belt. SOLUTION: In the heat-resistant resin belt, external shape displacement f(x) measured by a laser displacement gauge 20, which scans the belt in the direction of a shaft 11 on which the belt is tensioned and laid, satisfies relation shown by an expression (1). X(mm) is a length of the belt in a width direction thereof, L(mm) is a perimeter of the belt, and g(x) represents a displacement of an ideal external shape of the heat-resistant resin belt. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了提高打印图像的质量和耐热环形带的耐久性，其通过调节带的平坦度来连接其两端而制造。解决方案：在耐热树脂带中，通过激光位移计20测量的沿着带被张紧和放置的轴11的方向扫描带的外部形状位移f（x）满足关系由表达式（1）表示。 X（mm）是带的宽度方向的长度，L（mm）是带的周长，g（x）表示耐热性树脂带的理想的外形的位移。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

53. 发明专利

JP2006308476A Apparatus for measuring surface roughness/shape 审中-公开
标题翻译：用于测量表面粗糙度/形状的装置
公开(公告)号：JP2006308476A
公开(公告)日：2006-11-09
申请号：JP2005132778
申请日：2005-04-28
申请人： Tokyo Seimitsu Co Ltd , 株式会社東京精密
发明人： AOKI YUYA
IPC分类号： G01B21/30
CPC分类号： G01B21/30
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface roughness/shape measuring apparatus, capable of automatically moving a gauge head.
SOLUTION: The surface roughness/shape measuring apparatus comprises the gauge head 6 for detecting height of the surface position of a measured object, and a gauge head moving mechanism for relatively moving the gauge head to the measured object. Variations in the height of the surface position of the measured object, when the gauge head is relatively moved to the surface of the measured object, are detected, thereby measuring the surface roughness or shape of the measured object. The surface roughness/shape measuring apparatus further comprises a movement information producing section 16 for producing movement information required for moving the gauge head from the present position to a measurement commanding position for detecting height of a commanded surface position of the measured surface, and a movement controller 20 for moving the gauge head relative to the measured object, based on the movement information produced by the movement information producing section.
COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供能够自动移动量规头的表面粗糙度/形状测量装置。表面粗糙度/形状测量装置包括用于检测测量对象的表面位置的高度的测量头6和用于将测量头相对移动到测量对象的量测头移动机构。当测量头相对移动到测量对象的表面时，测量对象的表面位置的高度的变化被检测，从而测量测量对象的表面粗糙度或形状。表面粗糙度/形状测量装置还包括：运动信息产生部分16，用于产生将测量头从当前位置移动到用于检测测量表面的指令表面位置的高度的测量命令位置所需的运动信息;以及运动控制器20，用于基于由移动信息产生部分产生的移动信息，相对于被测量物体移动测量头。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

54. 发明专利

JP2004200600A Wafer-flatness evaluation method and device for implementing the evaluation method; wafer production method using the evaluation method, wafer-quality ensuring method using the evaluation method, semiconductor device production method using the evaluation method, and semiconductor device production method using the wafer evaluated by the evaluation method 有权
公开(公告)号：JP2004200600A
公开(公告)日：2004-07-15
申请号：JP2002370502
申请日：2002-12-20
申请人： Nikon Corp , Shin Etsu Handotai Co Ltd , Toshiba Corp , 信越半導体株式会社 , 株式会社ニコン , 株式会社東芝
发明人： FUJISAWA TADAHITO , INOUE SOICHI , KOBAYASHI MAKOTO , ICHIKAWA MASASHI , HAGIWARA TSUNEYUKI , KODAMA KENICHI
IPC分类号： H01L21/66 , G01B11/30 , H01L21/027 , H01L21/302 , H01L21/461
CPC分类号： G01B21/30 , G01B11/306 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wafer-flatness evaluation method whereby the flatnesses present in the surface of a wafer can be evaluated in the state closer to a flatnesses which an exposure device can sense. SOLUTION: The wafer-flatness evaluation method has a process (300) for measuring the front and rear surface shapes of a wafer, a process (301) for partitioning the front and rear surfaces of the wafer into their sites, processes (302, 303, 304, 305) for selecting wafer-flatness calculating ways in response to the positions of the valuing sites, and a process (306) for acquiring the flatnesses present in the surface of the wafer. COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

55. 发明专利

JP2003508728A measuring equipment 审中-公开
公开(公告)号：JP2003508728A
公开(公告)日：2003-03-04
申请号：JP2000618686
申请日：2000-05-12
申请人：テイラー・ホブソン・リミテッド
发明人：アンドルードナルドソンジェームズ
IPC分类号： G01B21/20 , G01B21/30 , G08C23/04
CPC分类号： G01B21/30 , G01B21/20
摘要： (57)【要約】測定ユニットおよびこの測定ユニットから分離したユーザインターフェースユニットを備える、ワークピースの表面の特性を測定するための測定機器が説明される。測定ユニットは、表面を横断する測定経路に追従するセンサおよびセンサが表面を追従する際に表面の特性を示す信号を取り出す手段を備える。ユーザインターフェースユニットは、センサによって測定された表面特性の示度をユーザに提供する手段を有する。測定ユニットおよびユーザインターフェースユニットは、それらの間で測定に関連する情報の遠隔通信を可能にする通信手段を有する。好ましくは、測定ユニットとユーザインターフェースユニットとは、不使用時に、測定ユニットのセンサが保護されるように共に接続され得る。

56. 发明专利

JP2003500677A Method for measuring surface texture 审中-公开
公开(公告)号：JP2003500677A
公开(公告)日：2003-01-07
申请号：JP2001500187
申请日：2000-05-11
申请人：テレフオンアクチーボラゲットエルエムエリクソン(パブル)
发明人：マッティシィヴォラ， , フレデリックパルムクイスト， , ベニト−イェランロゼン，
IPC分类号： G01B5/28 , G01B20060101 , G01B7/34 , G01B21/30 , G01N21/57
CPC分类号： G01B21/30
摘要： (57)【要約】断面パラメータの最大高さ（Ｒｚ）と断面平均波長パラメータ（ＲＳｍ）の特定定量化による表面テクスチャの測定方法。

58. 发明专利

JPS6123905A Measuring instrument for curvature of shaft 失效
标题翻译：测量轴测量仪
公开(公告)号：JPS6123905A
公开(公告)日：1986-02-01
申请号：JP14518284
申请日：1984-07-12
申请人： Nissan Motor Co Ltd
发明人： MURATA YOICHI , SATO SATOSHI , OOTA YOSHIMASA , AKUTSU MITSUTATSU
IPC分类号： G01B21/20 , G01B21/30
CPC分类号： G01B21/30
摘要： PURPOSE:To reduce an error in measurement by providing an arithmetic which calculates the quantity of curvature and maximum curving position of the shaft from sampled rotational position-radial position data by a method of the least squares through approximation to a sine curve. CONSTITUTION:The measuring instrument for the curvature of the shaft does not detect the radial position displacement of the entire periphery of the shaft 1 directly and calculates the quantity of curvature and maximum curving position of the shaft from sampling data on part (e.g. half periphery) of the periphery by the method of the least squares through approximation to the sine curve. Consequently, even when the curvature of a shaft having a noncircular part like a rack shaft is measured, no crab nipper is required, so an error due to clearance is prevented. Further, when the curvature of a shaft with a burr like a variable rack shaft is measured, the need for a crab nipper is eliminated, so an error due to clearance is prevented.
摘要翻译：目的：通过提供一种算术来减少测量误差，该算术通过近似到正弦曲线的最小二乘法，从采样的旋转位置 - 径向位置数据中计算轴的曲率和最大弯曲位置。构成：轴的曲率测量仪器不直接检测轴1整个周边的径向位移，并根据部件（例如半周）上的采样数据计算轴的曲率和最大弯曲位置，通过近似于正弦曲线的最小二乘法。因此，即使测量了具有类似齿条轴的非圆形部分的轴的曲率，也不需要螃蟹钳，所以防止了由间隙引起的误差。此外，当测量具有类似可变齿条轴的毛刺的轴的曲率时，消除了对螃蟹钳的需要，因此防止了由间隙引起的误差。

59. 发明专利

JPS60213810A Position sensor 失效
标题翻译：位置传感器
公开(公告)号：JPS60213810A
公开(公告)日：1985-10-26
申请号：JP5563585
申请日：1985-03-19
申请人： Westinghouse Electric Corp
发明人： JIYOOJI SUCHIYUAATO JIEUERU
IPC分类号： G01B21/00 , G01B7/34 , G01B21/20 , G01B21/30
CPC分类号： G01B21/30 , G01B7/345

60. 发明专利

KR20210032203A KR20210032203A - Combined type sensor with contact sensing and contactless sensing 审中-公开
公开(公告)号：KR20210032203A
公开(公告)日：2021-03-24
申请号：KR1020190113681A
申请日：2019-09-16
申请人： 김샛별
发明人： 김샛별
IPC分类号： G01B7/28 , G01B21/30 , G01R27/26
CPC分类号： G01B7/28 , G01B21/30 , G01R27/2605
摘要： 본 발명은 접촉식 및 비접촉식 겸용 센서에 관한 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 근접하는 물체의 접촉 압력에 기초한 접촉식 감지 기능과 근접하는 물체에 의한 정전용량값의 변화에 기초하는 비접촉식 감지 기능이 하나의 센서에 함께 구비된 접촉식 및 비접촉식 겸용 센서가 개시된다.

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