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热词
    • 53. 发明专利
    • 真空ポンプ
    • 真空泵
    • JPWO2014119191A1
    • 2017-01-26
    • JP2014559528
    • 2013-12-25
    • エドワーズ株式会社
    • 永偉 時永偉 時野中 学学 野中好伸 大立好伸 大立靖 前島靖 前島勉 高阿田勉 高阿田
    • F04D19/04
    • F04D19/002F04D19/044F04D25/06F04D27/0292F04D29/053F04D29/325F04D29/40F04D29/522F04D29/584F05D2260/607
    • 【課題】真空ポンプ全体としての生成物の付着量を低減する、併せて、磁束漏れによる真空ポンプ電気系統のトラブルを効果的に防止する。【解決手段】真空ポンプP1は、ポンプケース1Aに内包されたロータ6と、ロータに固定された回転軸5と、回転軸を回転可能に支持する支持手段と、回転軸を回転させる駆動手段と、ロータの外周側又は内周側との間にネジ溝排気通路R1、R2を形成するネジ溝排気部ステータ18A、18Bと、を備え、そのネジ溝排気部ステータの下部に、加熱部20を設け、加熱部20は、ヨーク25と、コイル26と、加熱板23と、を備え、当該コイル26に交流電流を流すことによる電磁誘導加熱でヨーク25及び加熱板23を加熱するように構成した。【選択図】図2
    • 该产品作为一个整体的真空泵,一起的粘附性降低,有效地防止了真空泵电气系统的烦恼根据磁通量泄漏。 真空泵P1包括转子6,其被包含在泵壳体1A,固定到转子的旋转轴5,以及用于可旋转地支撑旋转轴的支撑装置,以及一个驱动装置,用于旋转轴的旋转 ,螺纹槽泵部定子18A上形成螺纹槽排气通路R1,R2的外侧或在转子的内周侧之间包括一个18B和螺纹槽的泵送部定子,所述加热部20的底部 提供时,加热单元20包括磁轭25,一个线圈26,和加热板23,通过使交流电流提供给线圈26提供有与被配置为加热通过电磁感应加热的轭25和加热板23 。 .The
    • 55. 发明专利
    • ターボ分子ポンプ
    • 涡轮分子泵
    • JPWO2014045438A1
    • 2016-08-18
    • JP2014536533
    • 2012-09-24
    • 株式会社島津製作所
    • 筒井 慎吾慎吾 筒井
    • F04D19/04
    • F04D27/006F04D19/042F04D19/044F04D29/582F04D29/584F04D29/5853F05D2260/607
    • ターボ分子ポンプは、複数段の回転翼と円筒部とが形成されたロータと、複数段の回転翼に対して交互に配置される複数段の固定翼と、円筒部に対して隙間を介して配置されるステータと、ステータが固定されるベース上に積層され、複数段の固定翼を位置決めする複数のスペーサと、ベースに設けられたヒータと、ステータの温度を検出する温度センサと、温度センサの検出温度に基づいてヒータをオンオフ制御し、ステータの温度が反応生成物堆積防止温度となるように調整する温度調整部と、を備え、複数のスペーサの内のベース側に配置されるスペーサの少なくとも一つは、冷却媒体によって冷却され、ベースと該ベース上に配置されたスペーサとの間に設けられる断熱部材をさらに備える。
    • 涡轮分子泵包括转子和旋转刀片和所述多个级中的筒状部上形成的,固定其中交替排列相对于所述多个级中的转子叶片的叶片的多个级,以相对于所述筒状部的间隙 布置,被层压在定子的基部上的定子是固定的,以及用于在多个阶段的定位固定刀片的多个间隔物,和设置在所述基础上,一个温度传感器,用于检测定子的温度,所述温度传感器上的加热器 基于检测到的温度来控制加热器的开 - 关控制,用于定子的温度的温度调节单元被调整为将反应产物沉积防止温度,包括设置在多个间隔物的基端侧的间隔件 的至少一个被冷却介质冷却,其进一步包括设置在所述基部和所述基座上的间隔物之间​​设置绝热部件。