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    • 35. 发明专利
    • Method for sealing electronic component
    • 密封电子元件的方法
    • JP2011109104A
    • 2011-06-02
    • JP2010258171
    • 2010-11-18
    • Stmicroelectronics (Tours) Sasエス テ マイクロエレクトロニクス(トゥールス) エス アー エス
    • FERON MARCJARRY VINCENTBARREAU LAURENT
    • H01L25/065H01L25/07H01L25/18
    • H01L25/0657H01L21/561H01L23/3114H01L25/50H01L2224/16145H01L2225/06513H01L2225/06541H01L2924/01087
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for sealing electronic components without the need for use of a handle wafer by avoiding a warpage phenomenon.
      SOLUTION: The method for sealing electronic components includes the steps of: forming, in a first surface of a semiconductor wafer (10), electronic components; forming, on the first surface, an conductive interconnection stack (18) covered with an insulating material; forming first and second bonding pads (24A, 24B) on the interconnection stack (18); thinning down the wafer (10), except at least on the contour of the semiconductor wafer (10); filling the thinned-down region of the semiconductor wafer (10) with a first resin layer (38); arranging a first electronic chip (42) on the first bonding pads (24B) and forming a first solder bumps (44) on the second bonding pads (24A); depositing a second resin layer (46) covering the first electronic chips (42) and partially covering the solder bumps (44); bonding an adhesive strip (48) on the first resin layer (38); and scribing the structure into individual chips.
      COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
    • 要解决的问题:提供一种密封电子部件的方法,而不需要通过避免翘曲现象来使用手柄晶片。 解决方案:密封电子部件的方法包括以下步骤:在半导体晶片(10)的第一表面中形成电子部件; 在第一表面上形成用绝缘材料覆盖的导电互连叠层(18); 在所述互连堆叠(18)上形成第一和第二接合焊盘(24A,24B); 至少在半导体晶片(10)的轮廓上除外,使晶片(10)变薄; 用第一树脂层(38)填充半导体晶片(10)的减薄区域; 在所述第一接合焊盘(24B)上布置第一电子芯片(42)并且在所述第二接合焊盘(24A)上形成第一焊料凸块(44); 沉积覆盖第一电子芯片(42)并部分覆盖焊料凸块(44)的第二树脂层(46); 在第一树脂层(38)上粘合粘合剂条(48); 并将结构划分成单个芯片。 版权所有(C)2011,JPO&INPIT