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21. 发明专利

JP2018072075A 偏光イメージ取得装置、パターン検査装置、偏光イメージ取得方法、及びパターン検査方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018072075A
公开(公告)日：2018-05-10
申请号：JP2016209664
申请日：2016-10-26
申请人：株式会社ニューフレアテクノロジー
发明人：小川力
IPC分类号： G01N21/88 , G03F1/84 , G01N21/956
CPC分类号： G06T7/001 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G01N2021/8848 , G01N2021/8896 , G01N2021/95676 , G01N2201/0683 , G02B5/3025 , G02B5/3083 , G02B15/15 , G02B21/0092 , G02B27/0938 , G02B27/10 , G02B27/283 , G03F1/84 , G03F7/70491 , G06T5/50 , G06T2207/10148 , G06T2207/30148 , H04N5/2254 , H04N5/2258
摘要：【目的】露光装置で転写される場合の露光イメージ画像を作成するために利用可能な偏光イメージを取得する装置及び方法を提供する。【構成】本発明の一態様の偏光イメージ取得装置は、マスク基板を透過した透過光を入射する対物レンズ171と、対物レンズに対してマスク基板とは反対側の位置であって対物レンズの瞳位置付近に配置され、対物レンズを通過後の透過光のP偏光波とS偏光波とを互いに直交する方向に揃える分割型1/2波長板190と、P偏光波の軌道とS偏光波の軌道とを分離するロションプリズム192と、ロションプリズムを通過したP偏光波とS偏光波とをそれぞれ異なる結像位置に結像する結像レンズ172と、P偏光波とS偏光波との一方の結像位置とは異なる他方の結像位置で他方を反射するミラー174と、P偏光波とS偏光波とのうちの一方の像を撮像するフォトダイオードアレイ105と、P偏光波とS偏光波とのうちの他方の像を撮像するフォトダイオードアレイ205と、を備えたことを特徴する。【選択図】図1

22. 发明专利

JP6302403B2 ビーム整形装置有权
公开(公告)号：JP6302403B2
公开(公告)日：2018-03-28
申请号：JP2014511246
申请日：2013-04-18
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：松本直也 , 井上卓 , 瀧口優
IPC分类号： G02F1/13 , G02B26/06 , B23K26/064 , G02F1/01
CPC分类号： G02B27/0927 , G02B21/16 , G02B26/06 , G02B27/0938 , G02F1/19 , G02F2203/50

23. 发明专利

JP6162688B2 ビームエクスパンダ有权
公开(公告)号：JP6162688B2
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：JP2014511247
申请日：2013-04-18
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：松本直也 , 井上卓 , 瀧口優
IPC分类号： G02B21/00 , G02B13/00
CPC分类号： G02F1/29 , G02B26/06 , G02B26/0825 , G02B26/0875 , G02B27/0927 , G02B27/0938 , G02B21/16 , G02B27/56 , G02F2001/294

24. 发明专利

JPWO2013157606A1 ビームエクスパンダ有权
标题翻译：扩束
公开(公告)号：JPWO2013157606A1
公开(公告)日：2015-12-21
申请号：JP2014511247
申请日：2013-04-18
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：直也松本 , 直也松本 , 卓井上 , 卓井上 , 優瀧口 , 優瀧口
IPC分类号： G02B13/00 , G02B5/00 , G02B21/06
CPC分类号： G02F1/29 , G02B21/16 , G02B26/06 , G02B26/0825 , G02B26/0875 , G02B27/0927 , G02B27/0938 , G02B27/56 , G02F2001/294
摘要：ビームエクスパンダ10Aは、SLMまたはVFLのうち何れか一方により構成される第一レンズ部12と、第一レンズ部12と光学的に結合され、SLMまたはVFLのうち何れか一方により構成される第二レンズ部14と、第一、第二レンズ部12、14の焦点距離を制御する制御部16とを備える。第一、第二レンズ部12、14の距離は不変である。制御部16は、第一レンズ部12に入力される光の光径D1と、第二レンズ部14から出力される光の光径D2とが互いに異なるように、第一、第二レンズ部12、14の焦点距離を制御する。これにより、簡易に構成可能であり、光径を変更する際の所要時間を短縮することが可能なビームエクスパンダが実現される。
摘要翻译：光束扩展器10A包括由任一SLM或VFL的构成的第一透镜单元12，光学地耦合到第一透镜单元12，由任一SLM或VFL的形成包括第二透镜单元14中，首先，控制单元16，其控制所述第二透镜单元12，14的焦距。第一，第二透镜单元12的距离，14是不变的。控制单元16包括光输入到第一透镜单元12的光学直径D1，以使得从第二透镜单元14输出的光的光直径D2彼此，第一，第二透镜单元12不同时，它控制的14的焦距。因此，能够简单地构造，扩束器，其可以缩短用于改变光学尺寸，可实现所需要的时间。

25. 发明专利

JP5603880B2 New optical devices based on conical refraction 有权
$New optical devices based on conical refraction$
公开(公告)号：JP5603880B2
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：JP2011545796
申请日：2010-01-21
申请人：ザユニバーシティオブダンディーThe University Of Dundee
发明人：ラファイロフ，エディック , アブドルバンド，アミン , カルカンドジエブ，トドル
IPC分类号： G02B27/09 , G02B27/00 , H01S3/16
CPC分类号： H01S3/09415 , G02B27/0927 , G02B27/0938 , H01S3/0014 , H01S3/08 , H01S3/094053 , H01S3/1611 , H01S3/1675 , H01S2301/203

26. 发明专利

JP4393833B2 Photomask manufacturing method, an exposure method using a photomask, and it by that 有权
公开(公告)号：JP4393833B2
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：JP2003347887
申请日：2003-10-07
申请人：三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd.
发明人：起成呂 , 成雲崔 , 成勲張 , 鍾洛朴
IPC分类号： G02B5/18 , G02B27/09 , G02B27/46 , G03F1/26 , G03F1/60 , G03F1/68 , H01L21/027
CPC分类号： G02B27/0927 , G02B5/1871 , G02B27/09 , G02B27/0938 , G02B27/46 , G03F1/50 , G03F7/70191

27. 发明专利

JP2009105396A Optical unit, optical illumination device, exposure device, and method of manufacturing device 有权
标题翻译：光学单元，光学照明装置，曝光装置和制造装置的方法
公开(公告)号：JP2009105396A
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：JP2008263405
申请日：2008-10-10
申请人： Nikon Corp , 株式会社ニコン
发明人： TANITSU OSAMU
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： G02B27/0927 , F21V9/14 , F21V13/02 , F21V14/003 , G02B27/0938 , G02B27/1086 , G02B27/126 , G02B27/286 , G03F7/70058 , G03F7/70116 , G03F7/70566
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical illumination device capable of achieving illumination conditions having diversity for the shape of illumination pupil luminance distribution, size, and polarization states. SOLUTION: The optical illumination device includes an optical unit 3. The optical unit has: a light splitter 35 for splitting an incident luminous flux into two; a first spatial light modulator 33 that can be disposed in the optical path of first light flux; a second spatial light modulator 34 that can be disposed in the optical path of second light flux; and an optical synthesizer 36 for compositing luminous flux via the first spatial light modulator and that via the second one. The first and second spatial light modulators having a plurality of optical elements 33a, 34a arranged two-dimensionally and controlled individually. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：解决的问题：提供一种能够实现对于照明光瞳的亮度分布，大小和偏振状态的形状具有分集性的照明条件的光学照明装置。解决方案：光学照明装置包括光学单元3.光学单元具有：用于将入射光束分成两个的分光器35; 可以设置在第一光束的光路中的第一空间光调制器33; 可以设置在第二光束的光路中的第二空间光调制器34; 以及用于经由第一空间光调制器和经由第二空间光调制器的光通量合成光通量的光合成器36。第一和第二空间光调制器具有多个光学元件33a，34a，其被二维地布置并分别控制。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

28. 发明专利

JP2007514305A Arbitrary waveform source of high energy 审中-公开
公开(公告)号：JP2007514305A
公开(公告)日：2007-05-31
申请号：JP2006542895
申请日：2004-11-23
申请人：ノースロップグルムマンコーポレイション
发明人：マイケルジー．ウィックハム， , ヒロシコーマイン， , エリックチョン，
IPC分类号： H01S3/10 , G02B27/09 , G02F1/01 , G02F1/03 , G02F1/39 , H01S3/00 , H01S3/067 , H01S3/23
CPC分类号： G02B27/0938 , G02B27/0905 , G02F2203/26 , G02F2203/54 , H01S3/0057 , H01S3/0078 , H01S3/06754 , H01S3/10038 , H01S3/10053 , H01S3/2383
摘要：所望されるアウトプット波形を提供する高エネルギー光ビーム生成器である。その生成器は、インプットビームを生成するための、モードロックレーザ（４０）のようなマスター発振器（１０）、周波数成分にインプットビームを分解するための第１の分散要素（１４）、周波数成分を個別に変調するための位相振幅変調器のセット（１６）、周波数成分を個別に増幅するためのパワー増幅器のセット（１８）、および単一のアウトプットビーム（２２）に、増幅され、変調された周波数成分を再結合するための第２の分散要素（２０）を含む。位相コントロールエレクトロニクス（６０）は、意図されるアプリケーション、および、インプットビームとアウトプットビームの感知された特性に基き、アウトプットビーム（２２）の所望される波形を提供するために変調器（１６）をコントロールする。

29. 实用新型

JP3107388U High-strength non-coherent light provides for and apparatus for speckle reduction 失效
公开(公告)号：JP3107388U
公开(公告)日：2005-02-03
申请号：JP2004005090
申请日：2004-08-25
申请人：カデント・リミテツド
发明人：ツビ・フイリツプ , ノアム・ババヨフ , ヨセフ・アテイヤ
IPC分类号： F21V1/00 , F21V13/00 , G02B3/00 , G02B5/02 , G02B21/00 , G02B27/00 , G02B27/09 , G02B27/10 , G02B27/48 , A61C19/04
CPC分类号： G02B27/14 , G02B3/0006 , G02B5/02 , G02B21/0032 , G02B21/004 , G02B27/0933 , G02B27/0938 , G02B27/1086 , G02B27/123 , G02B27/48
摘要：【課題】スペックルノイズを低減する。
【解決手段】非平面試料の共焦点画像化に適した装置であって、光ビームを作るための光源、試料の表面上の少なくも１個のスポットに光ビームの焦点を合わせるようにされた画像化用光学系、及び前記試料の表面から反射された光を受け検出するようにされた検出器を備える。光源は、コヒーレント光のビームを複数のビームに変換するための光学系そ備え、これらビームの各は、検出器の集積時間に相関した運動の範囲内で動いているディフューザーにより変更される。
【選択図】図３

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