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21. 发明专利

JP5953280B2 有機材料の蒸着装置有权
标题翻译：有机材料的蒸镀装置
公开(公告)号：JP5953280B2
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：JP2013212187
申请日：2013-10-09
申请人：富士フイルム株式会社
发明人：今田有紀
IPC分类号： C23C14/12 , H05B33/10 , H01L51/50 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/246 , H05B33/02 , H01L51/001

22. 发明专利

JP5931091B2 成膜装置有权
公开(公告)号：JP5931091B2
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：JP2013554292
申请日：2013-01-15
申请人：株式会社アルバック
发明人：楊一新 , 三橋善之 , 飯島正行 , 若松貞次 , 斎藤和彦 , 藤井智晴 , 吉元剛 , 細矢東豪 , 廣野貴啓 , 林信博 , 角谷宣昭 , 砂川直紀 , 多田勲 , 平野裕之
IPC分类号： C23C14/00 , C23C16/44
CPC分类号： C23C16/52 , B05D1/62 , C23C14/12 , C23C14/562 , C23C16/4405 , B05D1/34

23. 发明专利

JPWO2014002842A1 有機薄膜形成装置有权
标题翻译：所述的有机薄膜形成装置
公开(公告)号：JPWO2014002842A1
公开(公告)日：2016-05-30
申请号：JP2014522563
申请日：2013-06-19
申请人：株式会社アルバック
发明人：齋藤　和彦 , 和彦齋藤 , 正行飯島 , 正行飯島 , 貴啓廣野 , 貴啓廣野 , 建治中森 , 建治中森
IPC分类号： C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/12 , B05D1/60 , B05D3/06 , B05D2252/02 , C23C14/228 , C23C14/562 , C23C14/58 , H01J37/32761 , H01J37/3277
摘要：本発明は、加熱により生成した有機化合物の蒸気によって高成膜レートで有機薄膜を形成する。成膜室43をバッファー室42の内部に配置し、中央ローラ17の一部側面を成膜室開口54から成膜室43内に挿入し、その部分の側面に密着させながら、基材フィルム23を走行させる。成膜室43に接続された蒸気生成装置26から蒸気をキャリアガスによって運搬し、冷却装置30によって中央ローラ17を冷却し、基材フィルム23を蒸気の凝集温度以下の温度に冷却し、成膜室43内に放出された蒸気によって基材フィルム23の表面に有機原料層35を形成し、中央ローラ17を回転させて硬化室44に於いてエネルギー線を照射し、硬化させる。バッファー室42は低圧力に真空排気して、成膜室開口54から流出したキャリアガスと蒸気が硬化室44やロール室41に流入しないようにされている。
摘要翻译：本发明是一种高沉积速率，通过加热形成的有机化合物的蒸气，以形成有机薄膜。形成设置在缓冲腔室42内室43的膜，所述中心辊17的局部侧从成膜室开口54进入沉积室43插入，而在与该部分的侧表面，在基膜23紧密接触运行。从连接到沉积室43中的蒸汽发生器26由载气输送的蒸气，中央辊子17由冷却装置30冷却至基材膜23冷却至低于蒸汽，沉积的温度团聚温度释放到室43通过汽相在基膜23的表面上形成有机材料层35，它是由中央辊17被固化旋转照射在固化室44的能量射线。缓冲室42被抽空至低压，流出的载气，并且从流入所述固化室44，并从膜形成室开口54卷室41防止蒸汽。

24. 发明专利

JP2016014187A CVD装置またはPVD装置用固体または液体出発物質からの蒸気発生装置审中-公开
标题翻译：用于从CVD或PVD装置的固体或液体起始材料产生蒸气的装置
公开(公告)号：JP2016014187A
公开(公告)日：2016-01-28
申请号：JP2015129856
申请日：2015-06-29
申请人：アイクストロン、エスイー
发明人：ミハエル・ロング , ブリジット・イルムガルト・ベッカード , アンドレアス・ポクエ
IPC分类号： C23C14/00 , H01L21/31 , C23C16/448
CPC分类号： H05B3/0014 , C23C14/12 , C23C14/246 , C23C14/26 , C23C16/4483 , C23C16/45565 , H05B3/026 , H05B3/06
摘要：【課題】CVD装置又はPVD装置における蒸発器をプロセス技術的に改良する方法の提供。【解決手段】キャリヤガスの流動方向に相前後して配置され、伝熱面を有し、各々加熱可能な少なくとも2つの熱伝達本体と、エーロゾル粒子を該伝熱面と接触させてエーロゾルを蒸発させる様に熱伝達本体の1つにエーロゾルを供給する為の供給配管4と、を備えた蒸気発生装置であって、熱伝達本体の少なくとも1つが、供給配管4がその中に差し込まれる開口を有し、供給配管4がエーロゾルを供給する為の第1の流動チャネル23及びキャリヤガスを供給する為の第2の流動チャネル24を有し、キャリヤガスが第2の流動チャネル24から第1の流動チャネル内23にそれを介して流動可能なガス貫通開口29、30が設けられ、及びこの場合、特に、第2の流動チャネル24が供給配管の流出口4'の領域内において閉鎖されている様に設計される蒸発器。【選択図】図10
摘要翻译：要解决的问题：提供一种改进CVD装置或PVD装置的蒸发器的方法，其工艺技术。提供了一种用于产生蒸气的装置，包括：两个热传递体，其连续排列载气的流动方向，并具有热传递表面，每个都可以加热; 以及用于通过使气溶胶颗粒与热转印表面接触来将气溶胶供给到热传递体中的一个用于蒸发气溶胶的进料管4。蒸发器的设计方式为：至少一个热传递体具有插入进料管4的开口; 进料管4具有用于供给气溶胶的第一流动通道23和用于供给载气的第二流动通道24; 提供气体通道开口29,30，载气可以从第二流动通道24流入第一流动通道23; 在这种情况下，特别地，第二流路24被密封在供给管的出口4'的区域中。

25. 发明专利

JP5783811B2 成膜装置有权
公开(公告)号：JP5783811B2
公开(公告)日：2015-09-24
申请号：JP2011126928
申请日：2011-06-07
申请人：キヤノン株式会社 , 株式会社ジャパンディスプレイ
发明人：浮ケ谷信貴 , 曽田岳彦 , 榮田正孝 , 宮田一史 , 川口昌宏 , 野田彰一
IPC分类号： H01L51/50 , C23C14/24 , H05B33/10
CPC分类号： C23C14/12 , C03C17/002 , C23C14/042 , C23C14/54 , H01J2237/0216

26. 发明专利

JP5779804B2 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法有权
公开(公告)号：JP5779804B2
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：JP2011224518
申请日：2011-10-12
申请人：日東電工株式会社
发明人：垣内良平 , 肥田加奈子 , 森田成紀
IPC分类号： H01L51/50 , H05B33/10
CPC分类号： H01L51/0008 , C23C14/12 , C23C14/24 , H01L51/001 , H01L51/5008 , H01L51/5012 , H01L51/0081

27. 发明专利

JP5743848B2 非平面フタロシアニンの弱エピタキシー成長用の固溶体誘起層有权
标题翻译：对于非平面酞菁的弱外延生长固溶体诱导层
公开(公告)号：JP5743848B2
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：JP2011235585
申请日：2011-10-27
申请人：チャンチュンフレキシブルディスプレイテクノロジーカンパニーリミテッド
发明人：閻東航 , 耿延候 , 田洪坤 , 黄麗珍 , 申剣鋒 , 郭曉東
IPC分类号： H01L51/05 , H01L21/336 , H01L29/786 , H01L51/40 , H01L51/30
CPC分类号： C30B29/54 , C23C14/12 , C23C14/24 , C30B23/002 , H01L51/0068 , H01L51/0074 , H01L51/0078 , H01L51/0545 , Y10T428/261 , Y10T428/265

28. 发明专利

JP5732531B2 側面放出型線状蒸発源、その製造方法及び線状蒸発器有权
标题翻译：侧发射型线性蒸发源，它们的制备和线性蒸发器
公开(公告)号：JP5732531B2
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：JP2013514091
申请日：2010-07-30
申请人：コリア・インスティテュート・オブ・サイエンス・アンド・テクノロジー
发明人：ウドクハ , キムソンホ , イソク , ジョンヨンミン , パクミンチョル , ジョンヨンウ , キムシングン , キムジェフン , ビョンヨンテ
IPC分类号： H01L51/50 , H05B33/10 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/12 , C23C14/14 , C23C14/26

29. 发明专利

JP5705734B2 有機材料用の蒸発器有权
标题翻译：蒸发器用于有机材料
公开(公告)号：JP5705734B2
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：JP2011528447
申请日：2009-09-29
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人：ハイン, シュテファン , ホフマン, ゲルト , スクーク, ペーター
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： B01B1/005 , B05D1/60 , C23C14/12 , C23C14/243 , B05D2252/02

30. 发明专利

JP5703224B2 有機材料のための蒸発器、及び、蒸発器を用いて基板を有機材料で被覆するための方法有权
标题翻译：蒸发器用于有机材料，以及用于与蒸发器涂布有机材料的基板的方法
公开(公告)号：JP5703224B2
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：JP2011528448
申请日：2009-09-29
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人：ハイン, シュテファン , ホフマン, ゲルト
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： B01B1/005 , B05D1/60 , C23C14/12 , C23C14/243 , B05D2252/02

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