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    • 22. 发明专利
    • ワイヤ放電加工装置、これを用いた薄板の製造方法及び半導体ウエハの製造方法
    • 线电极放电加工装置,制造方法的制造方法及使用该薄板的半导体晶片
    • JPWO2014188754A1
    • 2017-02-23
    • JP2015518121
    • 2014-02-28
    • 三菱電機株式会社
    • 英孝 三宅篤 糸数隆 橋本
    • B23H7/10B23H7/02B23H9/00
    • B23H7/105B23H1/028B23H7/02
    • 加工電源からの給電が安定して行われることで高精度の切断加工をすべく、本発明では、ワイヤ(3)をメインガイドローラ(1a)〜(1d)間に複数回巻き掛けて、同時に複数の切断加工を行うワイヤ放電加工装置において、複数本のワイヤ(3)の給電子へのワイヤ架け作業を短縮し、切断ワイヤ部(CL)に対して均一な給電を行い、安定した加工を企図し、複数の給電子を整列位置にしたがってユニットごとに、給電対象とする各切断ワイヤ部のワイヤ並列間隔に対応して整列し、かつ、切断ワイヤ部に対して少なくとも1本おきに給電するように配置される構成とした。
    • 为了在加工电源的馈送高精度切割它稳定地进行,在本发明中,卷绕在多个主引导辊(1A)〜(1D)和,之间的时间在相同的时间线(3) 在金属丝放电加工装置,用于执行多个切割的,以降低丝挂工作把电子供多根导线(3),均匀供给到切割线(CL),一个稳定的加工 根据对准位置的多个片的电子,在与所述切割线到供电对象之间的线平行间距对应性比预期的,对于每个单元,并且将电力提供给每一个其它切割线的至少一个 和构造成设置为这样。
    • 27. 发明专利
    • Wire support point measuring method and wire support point measuring member for wire cut electric discharge machine
    • 电线支撑点测量方法和线支撑点测量线束切断电机
    • JP2008290172A
    • 2008-12-04
    • JP2007136779
    • 2007-05-23
    • Fanuc Ltdファナック株式会社
    • ARAKAWA YASUOYAMAGUCHI MEGURI
    • B23H7/06B23H7/02
    • B23H7/06B23H7/105B23H2500/20
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To measure support points of a wire electrode in a diagonally strained state, by upper and lower guides, without straining the wire electrode but by using measuring members. SOLUTION: When the measuring member 30 (40) having a tapered pin-shaped portion formed into a conical surface (or a polygonal pyramid surface) 31 (41) with a 60-degree vertex angle (40-degree vertex angle) is inserted into an internal peripheral surface (wire guide surface 21) of a bowl-shaped guide hole formed by rotating a convexly curved surface about a center axis, via a bell-shaped opening, the conical surface (or the polygonal pyramid surface) 31 (41) makes contact with the internal peripheral surface 21 via a contact point 22 (23) and then it is stopped. At this time, based on a height 30D at a predetermined location of the measuring member 30 (40) and a Z-directional distance from the predetermined location at which the height 30D is measured to a vertex 32 (42), a Z location of the wire support point Q30 (Q20) measured from a reference wire electrode support point can be obtained. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
    • 要解决的问题:为了测量对角线应变状态的线电极的支撑点,通过上下引导件,不会使线电极变窄,而是通过使用测量构件。 解决方案:当具有锥形部分的测量构件30(40)形成为具有60度顶角(40度顶角)的锥形表面(或多边形棱锥表面)31(41) 插入到通过钟形开口,圆锥形表面(或多边形棱锥表面)31旋转围绕中心轴线的凸形曲面形成的碗状引导孔的内周面(线引导表面21) (41)经由接触点22(23)与内周面21接触,然后停止。 此时,基于测量构件30(40)的预定位置处的高度30D和从测量高度30D的预定位置到顶点32(42)的Z方向距离,Z位置 可以获得从参考线电极支撑点测量的线支撑点Q30(Q20)。 版权所有(C)2009,JPO&INPIT
    • 28. 发明专利
    • Wire electric discharge machine
    • 电线放电机
    • JP2004090132A
    • 2004-03-25
    • JP2002252895
    • 2002-08-30
    • Fanuc Ltdファナック株式会社
    • ARAKAWA YASUO
    • B23H7/02B23H7/06B23H7/10
    • B23H7/06B23H7/02B23H7/10B23H7/105
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wire electric discharge machine for bending a wire to machine one side of a groove or the like, reduced in occurrence of wire breakage and automatically performing connection.
      SOLUTION: A wire turning guide fitting member 8 is fitted to a downstream wire guide part 2. The fitting member 8 is composed of a first and second wire turing guides 9, 10. The first wire turning guide 9 bends a wire from a downstream wire guide 2a toward the second wire turning guide 10. The second wire turning guide 10 bends the same toward an upstream wire guide 1a. The upstream and downstream wire guides 1a, 2a are positioned in opposite positions and bound by an automatic wire connection device. After that, the upstream wire guide part 1 is moved to bend the wire and lay the same. The number of times of bending the wire is decreased to reduce the tension load of the wire, so that breakage of the wire is reduced. The wire is little liable to bend at the machining part, so that the wire is machined with high accuracy. Automatically, the wires are connected and laid.
      COPYRIGHT: (C)2004,JPO
    • 要解决的问题:提供一种用于弯曲导线以加工凹槽等的一侧的线材放电机,减少了断线的发生并自动进行连接。 解决方案:将线转向导引配件8安装到下游导线部分2上。装配件8由第一和第二导线固化引导件9,10组成。第一导线导向件9将导线从 下游线引导件2a朝向第二线转向引导件10.第二线转向引导件10向上游线引导件1a弯曲。 上游线路和下游线路引导件1a,2a定位在相对的位置并且由自动线连接装置限定。 之后,使上游线引导部1移动以使线弯曲并铺设。 线的弯曲次数减少以减少线的张力负荷,从而减少线的断裂。 电线在加工部分几乎不易弯曲,使得电线以高精度加工。 电线自动连接并铺设。 版权所有(C)2004,JPO