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1. 发明专利

JP2015217438A ワイヤ放電加工装置および半導体ウエハ製造方法有权
标题翻译：电气放电加工设备和半导体制造方法
公开(公告)号：JP2015217438A
公开(公告)日：2015-12-07
申请号：JP2014099953
申请日：2014-05-13
申请人：三菱電機株式会社
发明人：三宅英孝 , 糸数篤 , 橋本隆
IPC分类号： B23H7/10 , B23H9/00 , B23H7/02
摘要：【課題】ワイヤ走行速度が変化する状況であっても、ワイヤの断線を抑止すること。【解決手段】ワイヤ放電加工装置16は、回転可能な2つのボビン1,4と、ボビン1,4の回転を制御するボビン駆動制御装置11と、ボビン1,4間で、切断ワイヤ部2aを形成して往復走行する一本のワイヤ電極2と、ワイヤ電極2に給電する給電子7A,7Bと、ワイヤ電極2と被加工物8との間で発生する放電加工電圧を制御する放電波形発振制御装置62と、被加工物8をワイヤ電極2に対して相対的に変化させる切断送り用ステージ13と、切断送り用ステージ13を制御する切断ステージ駆動制御装置14と、ボビン駆動制御装置11、放電波形発振制御装置62および切断ステージ駆動制御装置14を統括し、ボビン駆動制御装置11から入力されるワイヤ電極2の走行速度情報に基づき、放電加工電圧およびワイヤ電極2と被加工物8の間隔を制御する加工制御装置12とを備える。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：即使当线速度改变时也抑制线的断开。解决方案：线放电加工装置16包括：两个可旋转的筒管1,4; 线轴驱动控制装置11，其控制线轴1,4的旋转; 一条线电极2，其形成切割线部分2a并且在线轴1,4之间进行往复运动; 向线电极2供电的供电电源7A，7B; 放电波形振荡控制装置62，其控制在线电极2和被加工物体8之间产生的放电加工电压; 用于进给相对于线电极2相对地改变被加工物体8的切割的台13; 切割台驱动控制装置14，其控制用于进给切割的台13; 以及加工控制装置12，其对筒管驱动控制装置11，放电波形振荡控制装置62和切割台驱动控制装置14进行监控，并且控制电加工电压和线电极2与对象8之间的间隔根据从线轴驱动控制装置11输入的线电极2的运行速度信息进行加工。

2. 发明专利

JP6791462B1 マルチワイヤ放電加工機、マルチワイヤ放電加工システム有权
公开(公告)号：JP6791462B1
公开(公告)日：2020-11-25
申请号：JP2020543389
申请日：2020-03-18
申请人：三菱電機株式会社
发明人：糸数篤
IPC分类号： B23H1/00 , B23H7/02
摘要：マルチワイヤ放電加工機(1)は、被加工物(2)と切断ワイヤ部(6a)との間に加工パルス電圧を印加する加工電源(7)と、ワイヤ電極(6)の断線を検出するワイヤ断線検出部(20)と、を備える。ワイヤ断線検出部(20)は、ワイヤ電極(6)の繰り出し側の一箇所からワイヤ電極(6)の排出側の一箇所までの区間に張架されたワイヤ電極部分と並列に電気的に接続され、少なくとも被加工物(2)を切断加工中は常時、ワイヤ電極部分に直流電流を供給するワイヤ断線検出用電源(204)、及び電流制限抵抗(205)を、それぞれ直列に結線した電気回路であるワイヤ断線検出回路(206)と、電流制限抵抗(205)に流れる電流に基づいてワイヤ電極の断線を判定するワイヤ断線判定部(207)と、を備える。

3. 发明专利

JP2019188572A マルチワイヤ放電加工装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019188572A
公开(公告)日：2019-10-31
申请号：JP2018087002
申请日：2018-04-27
申请人：三菱電機株式会社
发明人：三宅英孝 , 湯澤隆 , 糸数篤
IPC分类号： B23H7/04 , B23H7/02
摘要：【課題】放電加工によって生じる加工屑の排出を促進可能とするマルチワイヤ放電加工装置を得ること。【解決手段】マルチワイヤ放電加工装置100は、ワイヤ電極2が間隔をとりながら複数回巻き掛けられて、ワイヤ電極2の走行をガイドする第1のガイドローラおよび第2のガイドローラであるガイドローラ5,6と、ワイヤ電極2のうち第1のガイドローラと第2のガイドローラとの間にて互いに並行して走行する部分である複数の線条部2aに個別に接触して、複数の線条部2aの各々と被加工物10との間に電圧を印加する複数の給電子12A,12Bと、被加工物10に対するワイヤ電極2の相対的な動作であって、電圧の印加による複数の線条部2aの各々での放電加工によって被加工物10に形成される加工溝11からの加工屑の排出を促す排出動作を制御する排出動作制御部と、を備える。【選択図】図1

4. 发明专利

JP6072718B2 ワイヤ放電加工装置、薄板の製造方法および半導体ウエハの製造方法有权
标题翻译：线电极放电加工装置，该制造方法的制造方法和该半导体晶片薄板
公开(公告)号：JP6072718B2
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：JP2014044675
申请日：2014-03-07
申请人：三菱電機株式会社
发明人：三宅英孝 , 福島一彦 , 糸数篤 , 橋本隆 , 瀬口正記
IPC分类号： B23H7/10 , B23H7/02

5. 发明专利

JP2015168030A ワイヤ放電加工装置、薄板の製造方法および半導体ウエハの製造方法有权
标题翻译：电线放电加工设备，薄板制造方法和半导体制造方法
公开(公告)号：JP2015168030A
公开(公告)日：2015-09-28
申请号：JP2014044675
申请日：2014-03-07
申请人：三菱電機株式会社
发明人：三宅英孝 , 福島一彦 , 糸数篤 , 橋本隆 , 瀬口正記
IPC分类号： B23H7/10 , B23H7/02
摘要：【課題】被加工物の加工精度および加工速度の低下を抑制するとともに、被加工物1個あたりからの加工物の収量を増大させることができるワイヤ放電加工装置、薄板の製造方法および半導体ウエハの製造方法を提供する。【解決手段】ワイヤ電極12は、互いに離間して並列に設けられ、被加工物30にそれぞれ対向する複数の切断ワイヤ部12aを形成する。給電子ユニット17,18の各給電子17a,18aは、切断ワイヤ部12aと被加工物30との間に、加工用電源16で発生されたパルス状の加工用電圧を印加する。ノズル19は、切断ワイヤ部12aに沿って、切断ワイヤ部12aと被加工物30との極間に加工液が向かうように、加工液を噴出口から噴出させる。ワイヤ押さえ21は、切断ワイヤ部12aを整列させて、支持する。ノズル19とワイヤ押さえ21とは、切断ワイヤ部12aを挟んで対向して配置される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够抑制工件的加工精度和加工速度的降低并且提高加工物品的每个工件的产量的电线放电加工装置，薄板制造方法和半导体晶片制造方法。解决方案：线电极12形成平行设置的多个切割线部分12a，彼此间隔开并与工件30相对。馈送单元17和18的馈线17a和18a施加在加工中产生的脉冲加工电压切割线部分12a和工件30之间的电源16.每个喷嘴19从注入口喷射加工液体，使得加工液沿着切割线部分12a被引导到切割线部分12a和工件30之间的间隙。每个线按压器21支撑切割线部分12a以对齐。喷嘴19和电线按压器21设置成跨越切割线部分12a彼此相对。

6. 发明专利

JP6945489B2 マルチワイヤ放電加工装置有权
公开(公告)号：JP6945489B2
公开(公告)日：2021-10-06
申请号：JP2018087002
申请日：2018-04-27
申请人：三菱電機株式会社
发明人：三宅英孝 , 湯澤隆 , 糸数篤
IPC分类号： B23H7/04 , B23H7/02

7. 发明专利

JP6266192B1 ワイヤ放電加工機およびワイヤ放電加工方法有权
公开(公告)号：JP6266192B1
公开(公告)日：2018-01-24
申请号：JP2017554924
申请日：2017-04-11
申请人：三菱電機株式会社
发明人：糸数篤 , 原正行
IPC分类号： B23H7/18 , B23H7/02 , B23H7/32
CPC分类号： B23H7/02 , B23H7/18 , B23H7/32
摘要：被加工物とワイヤ電極との間に放電を発生させて被加工物を加工するワイヤ放電加工機であって、ワイヤ電極と被加工物との相対距離を制御する駆動制御装置(20)と、ワイヤ電極と被加工物との間の極間平均加工電圧を検出する極間平均加工電圧検出部(40)と、極間平均加工電圧と予め定めた目標電圧とに基づいて駆動制御装置を制御する加工速度制御部(43)と、加工中の加工情報と加工方向とに基づいて、加工方向によらずにワイヤ電極と被加工物との間の側面ギャップが一定になるように極間平均加工電圧または目標電圧のいずれかを補正する電圧補正部と、を備える。

8. 发明专利

JP6033190B2 マルチワイヤ加工装置及びマルチワイヤ加工方法有权
标题翻译：多线处理装置和多线处理方法
公开(公告)号：JP6033190B2
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：JP2013183145
申请日：2013-09-04
申请人：三菱電機株式会社
发明人：糸数篤 , 橋本隆 , 三宅英孝
IPC分类号： B23H7/28 , B23H7/02

9. 发明专利

JP5930883B2 マルチワイヤ放電加工装置有权
标题翻译：多线电极放电加工装置
公开(公告)号：JP5930883B2
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：JP2012148681
申请日：2012-07-02
申请人：三菱電機株式会社
发明人：糸数篤 , 橋本隆 , 三宅英孝
IPC分类号： B23H7/02

10. 发明专利

JP2015217457A マルチワイヤ放電加工装置有权
标题翻译：多线放电加工设备
公开(公告)号：JP2015217457A
公开(公告)日：2015-12-07
申请号：JP2014101737
申请日：2014-05-15
申请人：三菱電機株式会社
发明人：糸数篤 , 橋本隆 , 三宅英孝
IPC分类号： B23H7/04 , B23H7/02
摘要：【課題】被加工物と複数の切断ワイヤ部との各極間で生ずる放電集中や突発的な短絡を極間毎に回避してワイヤ断線を防止できるマルチワイヤ放電加工装置を得ること。【解決手段】複数の加工電源ユニット8と複数の加工状態検出ユニット16は複数の切断ワイヤ部6aと1対1の関係で設けられている。各加工状態検出ユニット16は各極間の状態に応じて各加工電源ユニット8から出力される加工パルス電流に基づき極間毎に加工パルス電圧印加時における極間状態を、短絡と放電と回り込みと開放の4状態に分類し、それぞれを個別に計数し、各計数値の総パルス数に対する割合から被加工物2に対する複数の切断ワイヤ部6aによる加工状態を求める。求めた加工状態は回り込みを考慮したものであるから相当に精度が高い。よって、極間毎に加工条件の変更を適切に行えるので、各極間で生ずる放電集中や突発的な短絡を極間毎に回避してワイヤ断線を防止できる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种多线放电加工装置，其能够通过避免在每个被加工物体与多个切割线部件之间的每个极间部分上产生的放电浓度或突然短路而防止断线极间部分。解决方案：多个加工电源单元8和多个加工状态检测单元16以一对一的关系相对于多个切割线部分6a设置。每个加工状态检测单元16根据从每个加工电源单元8输出的加工脉冲电流，将加工脉冲电压施加的每个极间部分的短路，放电，环绕和打开的状态分类为每个极间部分的状态分别分别对四个状态进行计数，并且通过多个切割线部分6a相对于从每个计数值的比例到总脉冲数相对于待加工对象物2确定加工状态。确定的加工状态考虑了环绕，因此具有相当高的精度。结果，可以在每个极间部分适当地改变加工条件，因此在每个极间部分避免了在极间产生的放电浓度或突发短路，并且可以防止线断开。

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