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    • 106. 发明专利
    • 半導体装置
    • 半导体器件
    • JP2016174030A
    • 2016-09-29
    • JP2015052275
    • 2015-03-16
    • 株式会社東芝
    • 河野 洋志
    • H01L29/12H01L29/06H01L29/78
    • H01L29/1608H01L29/0619H01L29/0696H01L29/086H01L29/0878H01L29/1095H01L29/167H01L29/42364H01L29/42368H01L29/42376H01L29/7395H01L29/7802H01L29/45
    • 【課題】アバランシェ耐量の向上を可能とする半導体装置を提供する。 【解決手段】SiCによるセル領域、ゲートパッド領域、セル端領域を備える。セル領域は、n+型ドレイン領域20と、nドリフト領域16と、pベース領域14と、nソース領域12と、pベース領域14内に設けられ、pベース領域14よりも濃度の高いpコンタクト領域18と、ゲート絶縁膜22と、セルゲート電極24と、ソース電極26と、ドレイン電極28と、を有する。ゲートパッド領域は、フィールド絶縁膜32と、p型不純物のピーク濃度が1×10 18 cm −3 以上であるフィールド領域36と、を有する。セル端領域は、フィールド領域36に接続されるp型領域40と、p型領域40よりも濃度の高いp+型領域42と、p+型領域42に第2のコンタクト部Bで接するソース電極26と、を有する。第2のコントタクト部Bでソース電極26が接する面の全面がp型のSiC領域である。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供能够提高雪崩能力的半导体器件。解决方案:半导体器件包括由SiC构成的单元区域,栅极焊盘区域和单元边缘区域。 单元区域具有形成在p基区14中的n +型漏极区20,n漂移区16,基极区14,n源极区12,ap接触区18,其浓度高于 p基极区域14,栅极绝缘膜22,单元栅极电极24,源极电极26和漏极电极28.栅极区域具有场绝缘膜32和场区域36,其中ap型杂质的峰值浓度 等于或高于1×10cm。 电池边缘区域具有连接在场区域36上的p型区域40,具有高于p型区域40的浓度的p +型区域42和在第二接触部分处接触p +型区域42的源电极26 B.源电极26接触的第二接触部分B中的面的整个面积是ap型SiC区域。图1
    • 107. 发明专利
    • 半導体装置
    • 半导体器件
    • JP2016171279A
    • 2016-09-23
    • JP2015051709
    • 2015-03-16
    • 株式会社東芝
    • 山下 浩明小野 昇太郎浦 秀幸志村 昌洋
    • H01L29/06H01L21/336H01L29/41H01L29/78
    • H01L29/0634H01L29/0619H01L29/0696H01L29/086H01L29/402H01L29/404H01L29/7813H01L29/1095H01L29/7397
    • 【課題】終端領域における電界の集中を抑制できる半導体装置を提供する。 【解決手段】実施形態に係る半導体装置は、第1導電形の第1半導体層と、第2導電形の複数の第2半導体領域と、第2導電形の第3半導体領域と、第1導電形の第4半導体領域と、ゲート電極と、絶縁層と、第1電極と、を有する。第1半導体層は、複数の第1半導体領域を有する。第2半導体領域は、第1半導体領域同士の間に設けられている。絶縁層は、第3半導体領域とゲート電極との間に設けられている。第1電極は、第1部分と、第2部分と、を有する。第1部分は、第1半導体領域に接続されている。第2部分は、第1部分に対して第4半導体領域側に設けられている。第1電極は、第1半導体領域の上および第2半導体領域の上に設けられている。第1電極は、第4半導体領域の周りに設けられている。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供一种可以抑制端接区域中的电场浓度的半导体器件。解决方案:根据实施例的半导体器件包括:第一导电类型的第一半导体层; 多个第二导电类型的第二半导体区域; 第二导电类型的第三半导体区域; 第一导电类型的第四半导体区域; 栅电极; 绝缘层; 和第一电极。 第一半导体层具有多个第一半导体区域。 第二半导体区域设置在第一半导体区域中。 绝缘层设置在第三半导体区域和栅电极之间。 第一电极具有第一部分和第二部分。 第一部分连接到第一半导体区域。 第二部分设置成比第一部分更靠近第四半导体区域侧。 第一电极设置在第一半导体区域和第二半导体区域上。 第一电极设置在第四半导体区域周围。选择图:图2