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    • 3. 发明公开
    • METHOD OF MANUFACTURING A MULTILAYER SOLAR CELL
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MEHRSCHICHT-SOLARZELLE
    • EP0795202A4
    • 1998-06-24
    • EP95939178
    • 1995-12-01
    • PACIFIC SOLAR PTY LTD
    • GREEN MARTIN ANDREWWENHAM STUART ROSSSHI ZHENGRONG
    • H01L31/04H01L29/06H01L31/036H01L31/076H01L31/077H01L31/18H01L31/20
    • H01L31/076H01L31/077H01L31/1872Y02E10/548Y02P70/521
    • A semiconductor structure and method of forming the structure, where a supporting substrate or superstrate (12) provides the mechanical strength to support overlying thin active regions. The thin dielectric layer (11) deposited over the substrate or superstrate (12) serves to isolate the deposited layers from the substrate from optical, metallurgical and/or chemical perspectives. A seeding layer (13) is then deposited, the seeding layer being of n-type silicon with appropriate treatments to give the desired large grain size. This layer may be crystallized as it is deposited, or may be deposited in amorphous form and then crystallized with further processing. A stack of alternating polarity layers (14, 15, 16, 17) of amorphous silicon or silicon alloy incorporating n-type or p-type dopants in the alternating layers is then deposited over the seeding layer. Solid phase crystallization is then performed to give the desired grain size of 3 νm or larger which can be achieved by extended heating of the layers at low temperature.
    • PCT No.PCT / AU95 / 00812 Sec。 371日期1997年5月29日 102(e)日期1997年5月29日PCT 1995年12月1日PCT PCT。 公开号WO96 / 17388 日期1996年6月6日一种形成结构的半导体结构和方法,其中支撑衬底或覆层提供机械强度以支撑覆盖的薄活性区域。 沉积在衬底或覆层上的薄介电层用于将沉积的层与衬底与光学,冶金和/或化学透视隔离。 然后沉积接种层,通过适当的处理使接种层为n型硅,以得到所需的大晶粒尺寸。 该层可以在其沉积时结晶,或者可以非晶形式沉积,然后进一步加工结晶。 然后在接合层上沉积在交替层中并入n型或p型掺杂剂的非晶硅或硅合金交替极性层的叠层。 然后进行固相结晶,得到3μm或更大的所需晶粒尺寸,这可以通过在低温下延长加热层来实现。