会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 6. 发明公开
    • HIGH-SPEED LATERAL BIPOLAR DEVICE IN SOI PROCESS
    • 横向双极型器件高速SOI程序
    • EP1218943A1
    • 2002-07-03
    • EP00953778.8
    • 2000-08-01
    • ADVANCED MICRO DEVICES INC.
    • HOLST, John, C.
    • H01L29/73H01L21/331
    • H01L29/66265H01L29/7317
    • A lateral bipolar transistor (100) includes a semiconductor layer overlying an electrically insulating material (82) and an insulating layer (109) overlying a central portion of the semiconductor layer. A contact hole resides in the insulating layer (109) and a conductive material overlies the insulating layer (109) and makes electrical contact with the semiconductor layer through the contact hole, thereby forming a base contact. The semiconductor layer has a first conductivity type in a central region (106) which substantially underlies the conductive material, and has a second conductivity type in regions (104, 108) adjacent the central region. The first region forms a base region (106) and the adjacent regions form a collector region (104) and an emitter region (108), respectively. A method includes forming a semiconductor layer over an insulating material (82) and forming an insulating layer (109) over the semiconductor material. A base contact hole is then formed in the insulating layer (109) and a conductive base contact region is formed over a portion of the insulating layer. The base contact region overlies the base contact hole and makes an electrical connection to a middle portion of the semiconductor layer, which corresponds to a base region (106). Lastly, a collector region (104) and an emitter region (108) are formed on opposite sides of the base region (106) such that the collector region (104) and the emitter region (108) are adjacent the base region (106), respectively.
    • 9. 发明公开
    • Herstellungsverfahren für lateralen Bipolartransistor
    • 横向双极晶体管的制造方法
    • EP0632490A3
    • 1996-09-11
    • EP94109101.9
    • 1994-06-14
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
    • Bertagnolli, Emmerich, Dr.
    • H01L21/331H01L29/735
    • H01L29/66265H01L29/7317Y10S148/01
    • Herstellungsverfahren für laterale Bipolartransistoren, bei dem in der mit einer Grunddotierung versehenen Siliziumschicht eines SOI-Substrates unter Verwendung einer Maske eine hoch dotierte Kollektorzone (8) hergestellt wird, dann eine mindestens diese Kollektorzone (8) bedeckende strukturierte Dielektrikumschicht (10) aufgebracht wird, die den für Emitter und Basis vorgesehenen Bereich frei läßt, dieser frei gelassene Bereich umdotiert wird, dann ganzflächig mit gleichmäßiger Dicke (d1) eine Hilfsschicht (11) aufgebracht wird, unter Verwendung dieser Hilfsschicht (11) als Abschirmung für die herzustellende Basiszone (9) eine Dotierung für eine Emitterzone (7) eingebracht wird und anschließend Emitter, Basis und Kollektor mit Kontakten versehen werden.
    • 用于横向双极型晶体管,其中,在使用掩模,高度掺杂的集电极区域(8)设置有SOI衬底的基本掺杂硅层制备的制造方法,则至少覆盖该集电极区域(8)构成的电介质层(10)被施加,所述 可以预期用于发射器和自由基部,该左自由区域被反掺杂,通过使用这个辅助层(11)作为用于制造基区的屏蔽,然后以均匀的厚度(d1)的辅助层(11)的整个区域被施加(9) 引入发射极区域(7)的掺杂,然后为发射极,基极和集电极提供触点。
    • 10. 发明公开
    • Herstellungsverfahren für lateralen Bipolartransistor
    • 横向双极晶体管的制造方法
    • EP0632489A3
    • 1996-09-11
    • EP94109100.1
    • 1994-06-14
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
    • Bertagnolli, Emmerich, Dr.Klose, Helmut, Dr.
    • H01L21/331H01L29/735
    • H01L29/66265H01L29/7317Y10S148/01
    • Verfahren zur Herstellung lateraler Bipolartransistoren auf SOI-Substrat, bei dem in der Siliziumschicht dieses SOI-Substrates eine Grunddotierung für den Leitfähigkeitstyp von Emitter und Kollektor hergestellt wird, außerhalb des für den Transistor vorgesehenen Bereiches Isolationsbereiche (5) hergestellt werden, Kontaktschichten (71, 81) und Dielektrikumschichten (72, 82) über einer durch Maskentechnik hergestellten hoch dotierten Emitterzone (7) und einer hoch dotierten Kollektorzone (8) aufgebracht und strukturiert werden, so daß sich über einer herzustellenden Basiszone (9) in der Mitte zwischen Emitterzone (7) und Kollektorzone (8) ein Graben befindet, dann eine Hilfsschicht (11) ganzflächig konform mit konstanter Dicke (d) abgeschieden wird, wodurch der Graben der Breite (d) zu einem Spalt der Breite (x) der herzustellenden Basiszone (9) vermindert wird, durch diesen Spalt eine Implantation von Dotierstoff für das Vorzeichen der Leitfähigkeit der Basis vorgenommen wird, wobei die lateral zu dieser Basiszone (9) befindlichen Bereiche durch die die Flanken des Grabens bedeckenden vertikalen Anteile der Hilfsschicht (11) abgeschirmt werden, dann Kontaktlöcher in die Hilfsschicht (11) und die Dielektrikumschicht (72, 82) geätzt werden und Metallkontakte für den elektrischen Anschluß von Emitter, Kollektor und Basis hergestellt werden.
    • 一种用于SOI衬底上制造的横向双极型晶体管的过程中,发射极的导电类型和集电极的基本掺杂是在制备用于晶体管区的隔离区(5)外侧的设想来制备该SOI衬底,接触层(71,81的硅层 )和介电层(72,82)被施加有由重掺杂发射极区域的掩模技术制造的膜(7)和一个高度掺杂的集电极区域(8)和构造成使得(在制造基区(9)在发射极区域之间的中部7) 和集电极区域(8)是一沟槽,然后在具有恒定的厚度(d)相一致的辅助层(11)在整个表面上沉积,从而使沟槽宽度(d),以一间隙宽度(x)由产生的基区被还原(9) ,通过该间隙实现用于基极导电性符号的掺杂剂的注入 其中横向于该基区(9),其位于区域由沟槽的覆盖辅助层(11)的垂直部分的侧面被屏蔽,然后在辅助层(11)和所述电介质层的接触孔(72,82)被蚀刻和金属接触件用于 发射极,集电极和基极的电连接。