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1. 发明公开

EP2090877A3 Microlevier comprenant un capteur de contrainte par magneto-impedance 审中-公开
标题翻译：与集成磁阻抗传感器张力微杆
公开(公告)号：EP2090877A3
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：EP09152640.0
申请日：2009-02-12
申请人： CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement
发明人： Cardot, Francis , Polesel-Maris, Jérôme
IPC分类号： G01Q20/04 , G01Q70/14 , G01R33/09
CPC分类号： G01Q20/04 , G01Q70/14 , G01R33/063 , G01R33/18
摘要： La présente invention concerne notamment un microlevier comprenant un capteur de contrainte.
Ce microlevier comprend une poutre présentant une extrémité destinée à être fixée à un support et une autre extrémité libre, un capteur de contrainte par magnéto-impédance associé à ladite poutre, la déflection de l'extrémité libre de la poutre modifiant la magnéto-impédance du capteur, et des moyens de connexion dudit capteur de contrainte à une source de courant à haute fréquence et à des moyens de détection de la variation de la magnéto-impédance du capteur agencés pour en déduire la déflection de la poutre.

2. 发明公开

EP1757919A1 PROBE HEAD MANUFACTURING METHOD 审中-公开
标题翻译： VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VONSONDENKÖPFEN
公开(公告)号：EP1757919A1
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：EP05745859.8
申请日：2005-06-01
申请人： Pioneer Corporation , ESASHI, Masayoshi
发明人： TAKAHASHI, Hirokazu; , ONO, Takahito;
IPC分类号： G01N13/10 , G01N13/12 , G01N13/16 , G12B21/02
CPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/14 , G01Q80/00
摘要： A beam (32) of a probe head (30) having a uniform thickness is formed by using a silicon layer (64) of a SOI substrate. The beam of the probe head is formed by growing a boron-doped diamond and non-doped diamond on a processing substrate, respectively.
摘要翻译：通过使用SOI衬底的硅层（64）形成具有均匀厚度的探头（30）的光束（32）。探针头的光束分别通过在处理衬底上生长硼掺杂的金刚石和非掺杂金刚石来形成。

3. 发明授权

EP0785410B1 Probe, method of manufacturing the probe, probe unit, and information recording/reproducing apparatus using the probe unit 失效
标题翻译：探针，它们的制备和探针单元和信息记录方法 - / - 再现设备，使得
公开(公告)号：EP0785410B1
公开(公告)日：2003-04-23
申请号：EP97100739.8
申请日：1997-01-17
申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人： Ikeda, Tsutomu, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Yagi, Takayuki, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Shimada, Yasuhiro, c/o Canon Kabushiki Kaisha
IPC分类号： G01B7/34 , G01N27/00
CPC分类号： G11B9/1409 , G01Q60/04 , G01Q70/14 , G11B9/1418 , Y10S977/873

4. 发明公开

EP1080340A1 FORCE SENSING PROBE FOR SCANNING PROBE MICROSCOPY 有权
标题翻译：功率探头网格样观察
公开(公告)号：EP1080340A1
公开(公告)日：2001-03-07
申请号：EP99924287.8
申请日：1999-05-17
申请人： Molecular Imaging Corporation , ARIZONA BOARD OF REGENTS
发明人： LINDSAY, Stuart, M. , JING, Tianwei
IPC分类号： G01B7/34 , G01N27/00
CPC分类号： G01Q60/40 , G01Q70/14 , Y10S977/865 , Y10S977/873
摘要： Force sensing probes for use in scanning probe microscopes and a method for coating such probes (11) with a film comprising a magnetostrictive material (10) are provided. The probes (11) may be magnetized by placing them in a magnetic field which can be oriented in any direction with respect to the probes. The magnetostrictive effect leads to a compression or expansion of the magnetic film, altering its length by the strength of the applied field. This in turn causes the probe, which in a preferred embodiment is in the form of a cantilever (11), and the applied magnetic film, to deflect or bend. The consequent motion of the probe is much greater than that obtained by direct application of a magnetic force and the effect is not sensitive to the direction of the applied field.

5. 发明授权

EP0712533B1 PROBE MICROSCOPY 失效
标题翻译：特别观察
公开(公告)号：EP0712533B1
公开(公告)日：1999-03-24
申请号：EP94924544.3
申请日：1994-08-05
申请人： LEWIS, Aaron
发明人： LEWIS, Aaron , LIEBERMAN, Klony
IPC分类号： H01J37/00 , G01B7/34 , G02B21/00
CPC分类号： G01Q60/38 , G01Q60/06 , G01Q60/22 , G01Q70/10 , G01Q70/14 , G11B9/1409
摘要： A general purpose force sensor for measuring nanometer scale surface topography and other characteristics includes a hollow micropipette (1.1) having an inner diameter of about 7.5 nanometers at its tip. The probe includes a cantilevered structure obtained by heating it near the tip to bend it. A reflective coating (1.4) is then applied to the outer surface of the micropipette.

6. 发明授权

EP0492915B1 Cantilever probe and apparatus using the same 失效
标题翻译：悬臂式探针和装置使用相同的
公开(公告)号：EP0492915B1
公开(公告)日：1996-09-04
申请号：EP91311620.8
申请日：1991-12-13
申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人： Yagi, Takayuki, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Hirai, Yutaka, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Takamatsu, Osamu, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Nakayama, Masaru, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Kasanuki, Yuji, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Yamamoto, Keisuke, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Shimada, Yasuhiro, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Suzuki, Yoshio, c/o Canon Kabushiki Kaisha
IPC分类号： G01N27/00 , G01B7/34 , G11B9/00
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q20/04 , G01Q60/16 , G01Q70/14 , G11B9/1436 , H01L41/094 , Y10S977/872 , Y10S977/873
摘要： A cantilever probe comprising a cantilever displacement element containing a piezoelectric material provided between driving electrodes for causing displacement of the piezoelectric material, a probe for information input and output provided on the free end of the element, a drawing electrode for the probe and, a non-electroconductive thin film provided on at least a portion of an end of the element.

7. 发明公开

EP0527370A1 Verfahren zur Durchführung ortsselektiver katalytischer Reaktionen mit oder auf Festkörperoberflächen im Nanometer- und Subnanometer-Bereich 失效
标题翻译：一种用于与或在纳米和亚纳米范围的固体表面进行位点选择性的催化反应方法。
公开(公告)号：EP0527370A1
公开(公告)日：1993-02-17
申请号：EP92112672.8
申请日：1992-07-24
申请人： BASF Aktiengesellschaft
发明人： Fuchs, Harald, Dr. , Schimmel, Thomas, Dr.
IPC分类号： H01J37/317 , G11B9/00
CPC分类号： B82B3/00 , G01Q70/14 , G01Q80/00 , G11B9/14 , G11B9/1409 , H01J37/317 , Y10S977/859
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Durchführung ortsselektiver katalytischer Reaktionen mit oder auf Festkörperoberflächen im Nanometer- und Subnanometerbereich, wobei die betreffende Oberfläche mittels einer das katalytische Material aufweisenden oberflächensensitiven Rastersonde chemisch modifiziert wird sowie die Verwendung dieses Verfahrens zur Informationsspeicherung.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于执行与或在纳米或亚纳米范围的固体，在那里所讨论的表面在化学上是由表面敏感的扫描探针含有催化材料的方法修饰的表面上的位置选择性催化反应，并在使用过程中的信息存储。

8. 发明公开

EP0501750A1 Single crystal microtip, preparation and applications thereof 失效
标题翻译： Einkristalline Mikrospitze，ihre Herstellung und ihre Anwendungen。
公开(公告)号：EP0501750A1
公开(公告)日：1992-09-02
申请号：EP92301571.3
申请日：1992-02-25
申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人： Kawase, Toshimitsu, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Takamatsu, Osamu, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Hatanaka, Katsunori, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Shinjo, Katsuhiko, c/o Canon Kabushiki Kaisha
IPC分类号： G01N27/00 , G01B7/34 , C30B33/00
CPC分类号： G01Q70/10 , G01Q60/16 , G01Q70/14 , Y10S977/861 , Y10S977/863 , Y10S977/875 , Y10S977/878 , Y10S977/879 , Y10S977/888
摘要： A microtip has a tip portion forced by gathering of three crystal faces of a single crystal, at least one of the crystal faces being an etched face at and around the tip portion. The microtip is produced by breaking and splitting a single crystal by giving a stress, and subjecting the face formed by breaking of the single crystal to anisotropic etching by utilizing facial orientation, thus forming a tip portion as a gathering point of three crystal faces of the single crystal. A surface-observing apparatus for observing a surface of a specimen and an information-treating apparatus comprise a tip in proximity to the specimen to be observed or a recording medium, and conduct the surface observation or the writing or reading by using the tip, respectively.
摘要翻译：微尖端具有通过聚集单晶的三个晶面而被强制的尖端部分，至少一个晶面是尖端部分处和周围的蚀刻面。通过施加应力来破碎和分裂单晶来产生微尖端，并且通过利用面部取向对单晶破坏形成的面进行各向异性蚀刻，从而形成尖端部分作为三个晶面的聚集点单晶。用于观察试样表面和信息处理装置的表面观察装置包括靠近待观察试样的尖端或记录介质，并分别通过使用尖端进行表面观察或书写或读取。

9. 发明公开

EP0500980A1 Cantilevered microtip 失效
标题翻译： Mikrospitze auf freitragendem Arm。
公开(公告)号：EP0500980A1
公开(公告)日：1992-09-02
申请号：EP91102880.1
申请日：1991-02-27
申请人： TENCOR INSTRUMENTS
发明人： Neukermans, Armand P. , Berger, Josef
IPC分类号： G01B7/34 , G01N27/00
CPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/10 , G01Q70/14 , H01L21/30604 , H01L21/30608 , Y10S438/924
摘要： A method for fabricating a microtip, cantilevered from a base and having a controllably high aspect ratio, for use in microprobe microscopy to probe variations in materials at the atomic level. A two-layer semiconductor material structure is provided (13), one layer being n type (15) and the other layer being p type (17). A thin pencil of ions (22) of n type is implanted through the n type layer into the p type layer (17), through a small aperture in a mask layer (19) that overlies the n type layer. The p type material is then etched away, leaving the n type ion profile (23) and the n type layer as a cantilevered microtip. The n type semiconductor layer may be replaced by a layer of any material that resists etching by the selected etchant.
摘要翻译：用于制造从底部悬臂并具有可控高的纵横比的微尖端的方法，用于微探针显微镜以探测原子水平的材料变化。提供两层半导体材料结构（13），一层为n型（15），另一层为p型（17）。将n型离子（22）的薄铅通过n型层通过覆盖在n型层上的掩模层（19）中的小孔注入p型层（17）。然后将p型材料蚀刻掉，留下n型离子轮廓（23）和n型层作为悬臂微尖。 n型半导体层可以由抗蚀刻所选择的蚀刻剂的任何材料的层代替。

10. 发明公开

EP0492915A1 Cantilever probe and apparatus using the same 失效
标题翻译： Freitragende Sonde und Apparat zur Anwendung derselben。
公开(公告)号：EP0492915A1
公开(公告)日：1992-07-01
申请号：EP91311620.8
申请日：1991-12-13
申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人： Yagi, Takyuki, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Hirai, Yutaka, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Takamatsu, Osamu, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Nakayama, Masaru, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Kasanuke, Yuji, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Yamamoto, Keisuke, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Shimada, Yasuhiro, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Suzuki, Yoshio, c/o Canon Kabushiki Kaisha
IPC分类号： G01N27/00 , G01B7/34 , G11B9/00
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q20/04 , G01Q60/16 , G01Q70/14 , G11B9/1436 , H01L41/094 , Y10S977/872 , Y10S977/873
摘要： A cantilever probe comprising a cantilever displacement element containing a piezoelectric material provided between driving electrodes for causing displacement of the piezoelectric material, a probe for information input and output provided on the free end of the element, a drawing electrode for the probe and, a non-electroconductive thin film provided on at least a portion of an end of the element.
摘要翻译：一种悬臂探头，包括悬臂位移元件，该悬臂位移元件包含设置在驱动电极之间的用于引起压电材料位移的压电材料，在该元件的自由端上提供的用于信息输入和输出的探针，用于该探针的引出电极， - 设置在元件的端部的至少一部分上的导电薄膜。

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