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1. 发明授权

EP2108919B1 Interferometer for determining characteristics of an object surface 无效
标题翻译：干涉仪用于物体表面的特性来确定
公开(公告)号：EP2108919B1
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：EP09164936.8
申请日：2006-01-19
申请人： Zygo Corporation
发明人： De Groot, Peter J. , Colonna de Lega, Xavier
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/06 , G01N21/21 , G01B9/023
CPC分类号： G01B9/023 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02043 , G01B9/02044 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01B9/02074 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01N21/21 , G01N21/211

2. 发明公开

EP1018631A2 Messeinrichtung zur Erfassung von Dimensionen von Prüflingen sowie Verfahren unter Verwendung der Messeinrichtung 有权
标题翻译：用于使用所述测量装置检测的标本尺寸，以及方法测定装置
公开(公告)号：EP1018631A2
公开(公告)日：2000-07-12
申请号：EP99124365.0
申请日：1999-12-07
申请人： Joh. & Ernst Link GmbH & Co. KG
发明人： Link, Hans-Jörg
IPC分类号： G01B11/12 , G01B11/22 , G01B11/24
CPC分类号： B23Q17/20 , B23Q17/2495 , G01B9/023 , G01B11/24
摘要： Um die Meßeinrichtung (4) und das Verfahren so auszubilden, daß die Dimensionen der Prüflinge (2) einfach, genau und schnell erfaßt werden können, ist die Meßeinrichtung (4) in ein Werkzeug (1) integrierbar oder anstelle eines Werkzeuges in einer Werkzeugaufnahme befestigbar. Die Meßeinrichtung (4) weist eine Lichtquelle (10) auf, deren Lichtstrahlen durch einen Strahlenteiler in einen Referenzstrahl und einen Meßstrahl aufgeteilt werden. Der einen Meßarm bildende Meßstrahl ist einer Meßstelle (8) des Prüflinges (2) und der einen Referenzarm bildende Referenzstrahl einem Referenzspiegel zuführbar. Die an der Meßstelle (8) und am Referenzspiegel reflektierten, zeitlich inkohärenten Strahlen am Strahlenteiler werden wieder zusammengeführt und einem Empfänger (13) zugeführt. Bei dem Verfahren wird an die Meßstelle (8) des Prüflings (2) ein Meßstrahl gelenkt, der an der Meßstelle (8) zurückreflektiert und mit einem Referenzstrahl zusammengefaßt wird. Der entstehende Interferenzkontrast wird zur Erfassung der Dimension des Prüflings (2) ausgewertet.
摘要翻译：该布置适合于集成到一个工具（1）或用于代替工具的工具保持器的安装，并具有至少一个光源（10），其光被分成参考光束和测量。测量光束被传递到一个测量点（8）和所述参考光束到参考反射镜。在测量点和反射镜反射的时间非相干光束被混合并供应到接收器（13）。因此独立claimsoft包括用于检测测试对象的尺寸的方法。

3. 发明公开

EP2108919A2 Interferometer for determining characteristics of an object surface 无效
标题翻译：干涉仪zur Bestimmung von Eigenschaften einerObjektoberfläche
公开(公告)号：EP2108919A2
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：EP09164936.8
申请日：2006-01-19
申请人： Zygo Corporation
发明人： De Groot, Peter J. , De Lega, Xavier Colonna
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/06
CPC分类号： G01B9/023 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02043 , G01B9/02044 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01B9/02074 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01N21/21 , G01N21/211
摘要： Disclosed is a system including: (i) an interferometer configured to direct test electromagnetic radiation to a test surface and reference electromagnetic radiation to a reference surface and subsequently combine the electromagnetic radiation to form an interference pattern, the electromagnetic radiation being derived from a common source; (ii) a multi-element detector; and (iii) one or more optics configured to image the interference pattern onto the detector so that different elements of the detector correspond to different illumination angles of the test surface by the test electromagnetic radiation. The measurements made by the detector elements provide ellipsometry/reflectometry data for the test surface. The disclosed system can further be reconfigured to operate in a different mode (e.g., a profiling mode) in which the different elements of the detector correspond to different locations of the test surface.
摘要翻译：公开了一种系统，包括：（i）干涉仪，被配置为将测试电磁辐射引导到测试表面，并将电磁辐射引用到参考表面，并随后组合电磁辐射以形成干涉图案，电磁辐射源自公共源 ; （ii）多元素检测器; 以及（iii）一个或多个光学器件，被配置为将干涉图案成像到检测器上，使得检测器的不同元件对应于测试电磁辐射的测试表面的不同照明角度。由检测器元件进行的测量为测试表面提供椭偏仪/反射测量数据。所公开的系统还可以被重新配置为以不同的模式（例如，轮廓模式）操作，其中检测器的不同元件对应于测试表面的不同位置。

4. 发明授权

EP1018631B1 Messeinrichtung zur Erfassung von Dimensionen von Prüflingen sowie Verfahren unter Verwendung der Messeinrichtung 有权
标题翻译：用于使用所述测量装置检测的标本尺寸，以及方法测定装置
公开(公告)号：EP1018631B1
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：EP99124365.0
申请日：1999-12-07
申请人： JEL Precision Tools GmbH & Co. KG
发明人： Franz, Stefan , Windecker, Robert Dr.
IPC分类号： G01B11/12 , G01B11/22 , G01B11/24
CPC分类号： B23Q17/20 , B23Q17/2495 , G01B9/023 , G01B11/24

5. 发明公开

EP0815411A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG DREIDIMENSIONALER STRUKTUREN IM SUBMIKROMETERBEREICH 失效
标题翻译：方法和设备，用来确定三维亚微米
公开(公告)号：EP0815411A1
公开(公告)日：1998-01-07
申请号：EP96903862.0
申请日：1996-03-06
申请人： Weber, Heinz Paul, Prof. Dr.
发明人： WEBER, Heinz, Paul , HODEL, Walter , ROMANO, Valerio
IPC分类号： G01B9 , G01B11 , G01N21 , G02B21
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/023
摘要： The invention concerns a process for determining three-dimensional structures in the submicron range, which process operates with a coherent beam (3), in particular a laser beam, divided into two partial beams (5a, 11a, 14a; 5b, 11b, 21). The first partial beam (5a, 11b, 21) is focused on an object (1) to be dimensioned structurally with a focusing diameter (24) having approximately the wavelength of the beam. The radiation (25) reflected back from the focus point (24) by the focusing lens (23) is superimposed with the radiation of the second partial beam (5a, 11a, 14a) on a detector field (19) comprising a plurality of mutually independent detectors, and the location-dependent radiation intensity values on the detectors are converted by the latter into analogue electrical signals and stored. Complex amplitude values are determined in each case from these stored values with first phase values of the local wave field at the location (19) of the detectors. Second phase values are formed from the given first phase values by multiplication with a predetermined value. With these second phase values, the intensity values of the original complex amplitude values stored in first memories (30), and the location co-ordinates of the respective detectors, an enlarged object structure is calculated and can be displayed graphically as an enlarged or hologram-like image with structures in the submicron range.

6. 发明授权

EP2378244B1 Interferometric system with spatial carrier frequency capable of imaging in polychromatic radiation 有权
标题翻译：一个干涉仪系统与能够图像记录的空间载波频率与多色辐射
公开(公告)号：EP2378244B1
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：EP11160863.4
申请日：2011-04-01
申请人： Vysoke Uceni Technicke V Brne
发明人： Chmelik, Radim , Kolman, Pavel , Slaby, Tomas , Antos, Martin , Dostal, Zbynek
IPC分类号： G01B9/02 , G01B9/023 , G02B21/00 , G03H1/00 , G01B11/24 , G03H1/04
CPC分类号： G01B9/023 , G01B9/02032 , G01B9/02047 , G01B9/0209 , G01B11/2441 , G03H1/04 , G03H1/0443 , G03H1/06 , G03H2001/0083 , G03H2001/0456 , G03H2001/0467 , G03H2222/24 , G03H2223/23

7. 发明授权

EP1853874B1 INTERFEROMETER FOR DETERMINING CHARACTERISTICS OF AN OBJECT SURFACE 有权
标题翻译：干涉仪用于确定物体表面的特性
公开(公告)号：EP1853874B1
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：EP06718763.3
申请日：2006-01-19
申请人： ZYGO CORPORATION
发明人： DE LEGA, Xavier, Colonna , DE GROOT, Peter
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/06
CPC分类号： G01B9/023 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02043 , G01B9/02044 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01B9/02074 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01N21/21 , G01N21/211

8. 发明公开

EP1775548A3 Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung der Verformung von Objekten 有权转让
标题翻译：用于检测对象的变形的方法和装置
公开(公告)号：EP1775548A3
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：EP06021500.1
申请日：2006-10-13
申请人： Steinbichler Optotechnik GmbH
发明人： Steinbichler, Marcus, Dr. , Wilhelm, Robert , Sun, Junli , Huber, Rainer , Rasenberger, Volker
IPC分类号： G01B11/16 , G01B9/023 , G01B9/02 , G01B11/25
CPC分类号： G01B11/162 , G01B9/02083 , G01B9/02087 , G01B9/02095 , G01B9/023 , G01B11/254
摘要： Bei einem Verfahren zur Erfassung der Verformung von Objekten (1) wird während der Verformung des Objekts (1) eine Folge von Bildern des Objekts (1) mit einem Meßverfahren aufgenommen. Aus den Bildern werden Phasenbilder ermittelt. Um ein derartiges Verfahren zu verbessern wird die Differenz zwischen dem aktuellen Phasenbild oder dem jeweiligen aktuellen Phasenbild und dem Phasenbild eines Anfangszustands gebildet. Diese Differenz oder diese Differenzen werden ausgewertet und/oder auf einem Bildanzeigegerät dargestellt und/oder gespeichert (Fig. 1).

9. 发明授权

EP0815411B1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG DREIDIMENSIONALER STRUKTUREN IM SUBMIKROMETERBEREICH 失效
标题翻译：方法和设备，用来确定三维亚微米
公开(公告)号：EP0815411B1
公开(公告)日：1999-12-08
申请号：EP96903862.9
申请日：1996-03-06
申请人： Weber, Heinz Paul, Prof. Dr.
发明人： WEBER, Heinz, Paul , HODEL, Walter , ROMANO, Valerio
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/023 , G01B9/04
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B9/023

10. 发明公开

EP2930461A4 THREE-DIMENSIONAL SHAPE MEASURING DEVICE, METHOD FOR ACQUIRING HOLOGRAM IMAGE, AND METHOD FOR MEASURING THREE-DIMENSIONAL SHAPE 审中-公开
标题翻译：三维形状测量装置，方法全息图片用于测量三维形状检测及方法
公开(公告)号：EP2930461A4
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：EP13860092
申请日：2013-12-06
申请人： 3DRAGONS LLC
发明人： HORIMAI HIDEYOSHI , UMEZAKI TAIZO
IPC分类号： G01B9/021 , G01B9/02 , G01B11/24 , G03H1/00 , G03H1/04
CPC分类号： G01B9/023 , G01B9/02011 , G01B9/02047 , G01B9/02076 , G01B11/2441 , G01B2290/70 , G03H1/0443 , G03H2001/0033 , G03H2001/0458 , G03H2222/31
摘要： [Problem] To provide a low-cost, high-precision three-dimensional shape measuring device using vibration-resistant phase shift digital holography. [Solution] A three-dimensional shape measuring device, wherein an object-light optical system allows object light to be incident on a polarization element for detecting relative phase differences in a first circularly polarized light state, a reference-light optical system allows a reference light to be incident on a polarization element for detecting relative phase differences in a second circularly polarized light state in the direction opposite from the first circularly polarized light, and the polarization element for detecting relative phase differences transmits a component of the object light, which is the first circularly polarized light, in the polarization direction of the polarization element for detecting relative phase differences, and a component of the reference light, which is the second circularly polarized light, in the polarization direction of the polarization element for detecting relative phase differences. The polarization direction of the polarization element for detecting relative phase differences is rotated to thereby vary the relative phase difference between the object light and the reference light transmitted through the polarization element for detecting relative phase differences and to acquire a plurality of hologram images having different relative phase differences.

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