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1. 发明公开

EP2577221A4 INTERFEROMETRIC MEASUREMENT WITH CROSSTALK SUPPRESSION 有权转让
标题翻译： INTERFEROMETRISCHE MESSUNG MITÜBERSPRECHUNGS-UNTERDRÜCKUNG
公开(公告)号：EP2577221A4
公开(公告)日：2017-07-05
申请号：EP11790200
申请日：2011-05-23
申请人： INTUITIVE SURGICAL OPERATIONS
发明人： FROGGATT MARK E , KLEIN JUSTIN W
IPC分类号： G01B9/02 , G01D5/353 , G01N21/45
CPC分类号： G01B9/02027 , G01B9/02004 , G01B9/02056 , G01B11/161 , G01B11/18 , G01B2290/45 , G01D5/35309 , G01D5/3538
摘要： An interferometric measurement system suppresses cross talk between optical waveguides used to measure one or more parameters. A first interferometric measurement channel coupled to a first waveguide, and a second interferometric measurement channel coupled to a second waveguide. At least one of the channels includes a reference light path in addition to the first and second waveguides. A reference path optical delay is associated with the reference light path, a first optical delay is associated with the input portion of at least one of the first and second interferometric measurement channels, and a second optical delay is associated with an output portion of the one interferometric measurement channel. A value of the first optical delay and a value the second optical delay are chosen to suppress crosstalk associated with the other of the first and second interferometric measurement channels in the one interferometric measurement channel over a predetermined length of the first waveguide. Signals corresponding to the reference light path and the first and second interferometric measurement channels are processed to measure one or more parameters.
摘要翻译：干涉测量系统抑制用于测量一个或多个参数的光波导之间的串扰。耦合到第一波导的第一干涉测量信道以及耦合到第二波导的第二干涉测量信道。除了第一和第二波导之外，至少一个通道还包括参考光路。参考路径光学延迟与参考光路相关联，第一光学延迟与第一和第二干涉测量信道中的至少一个的输入部分相关联，并且第二光学延迟与一个光学延迟的输出部分相关联干涉测量通道。选择第一光学延迟的值和第二光学延迟的值以在第一波导的预定长度上抑制与一个干涉测量信道中的第一和第二干涉测量信道中的另一个干涉测量信道相关联的串扰。处理对应于参考光路和第一和第二干涉测量通道的信号以测量一个或多个参数。

2. 发明授权

EP1751491B1 POLARISING INTERFEROMETER WITH REMOVAL OR SEPARATION OF ERROR BEAM CAUSED BY LEAKAGE OF POLARISED LIGHT 有权
标题翻译：偏光用干涉或分居处置LICK偏振光造成的误差光束
公开(公告)号：EP1751491B1
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：EP05746255.8
申请日：2005-05-11
申请人： Renishaw plc
发明人： LEE, William, Ernest
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02019 , G01B9/02056 , G01B2290/70 , G01J2009/0261

3. 发明授权

EP2244055B1 Tracking type laser interferometer 有权
标题翻译：激光干涉仪跟踪
公开(公告)号：EP2244055B1
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：EP10159846.4
申请日：2010-04-14
申请人： Mitutoyo Corporation
发明人： Tanimura, Yoshihisa , Nara, Masayuki
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/00 , G01B11/14 , G01S17/66
CPC分类号： G01B11/14 , G01B9/02056 , G01B11/002 , G01B2290/15 , G01B2290/70 , G01S7/481 , G01S17/66

4. 发明公开

EP1860396A1 HOMODYNE LASER INTERFEROMETER PROBE AND DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM USING THE SAME 有权
标题翻译：自由式激光干扰测量仪（VERSCHIEBUNGSMESSSYSTEM DAMIT）
公开(公告)号：EP1860396A1
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：EP06715045.8
申请日：2006-03-02
申请人： Japan Science and Technology Agency
发明人： KAWAKATSU, Hideki
IPC分类号： G01B11/00 , G01B21/30
CPC分类号： G01B9/0205 , G01B9/02056 , G01B2290/15 , G01Q20/02
摘要： A low-cost homodyne laser interferometer probe of simple structure is provided which allows predetermined performance to be easily obtained by a simple adjustment, and a displacement measurement system using the same is also disclosed. The homodyne laser interferometer probe includes an optical fiber (1) for guiding light, a collimator lens (2) that receives the light from the optical fiber (1), a 1/4 wavelength plate (3) that receives light from the collimator lens (2) and that converts the light from linearly polarized light into circularly polarized light, a beam splitter (4) for dividing light from the 1/4 wavelength plate (3) into reference light and measurement light, a first focal lens (5) that receives the reference light from the beam splitter (4), a reflection mirror (6) for reflecting the reference light from the first focal lens (5), and a second focal lens (7) that receives the measurement light from the beam splitter (4). Here, the reference light from the reflection mirror (6) is returned to measurement means along the same route. The measurement light from the second focal lens (7) is applied to a measurement object (8), and the measurement light (signal light) from the measurement object (8) is returned to the measurement means along the same route.
摘要翻译：提供了一种简单结构的低成本零差激光干涉仪探头，其通过简单的调节容易地获得预定的性能，并且还公开了使用该测量系统的位移测量系统。零差激光干涉仪探头包括用于引导光的光纤（1），接收来自光纤（1）的光的准直透镜（2），接收来自准直透镜的光的1/4波片（3）（2），将来自线偏振光的光转换成圆偏振光;将来自1/4波长板（3）的光分成参考光和测量光的分束器（4），第一焦点透镜（5）其接收来自分束器（4）的参考光，用于反射来自第一焦点透镜（5）的参考光的反射镜（6）和接收来自分束器的测量光的第二焦距透镜（4）。这里，来自反射镜（6）的参考光沿相同的路线返回到测量装置。来自第二焦点透镜（7）的测量光被施加到测量对象（8），并且来自测量对象（8）的测量光（信号光）沿着相同的路线返回到测量装置。

5. 发明公开

EP1180699A2 Jamin-type interferometers and components therefor 审中-公开
标题翻译：干燥仪和Jamin-Typs undzugehörigeKomponenten
公开(公告)号：EP1180699A2
公开(公告)日：2002-02-20
申请号：EP01306075.1
申请日：2001-07-13
申请人： Downs, Michael John , Downs, Angela Christine
发明人： Downs, Michael John
IPC分类号： G02B5/136 , G01B9/02
CPC分类号： G02B27/145 , G01B9/02056 , G01B9/02081 , G01B2290/45 , G02B5/122 , G02B27/1073 , G02B27/144
摘要： A retroreflector (32) has three mutually-orthogonal reflective surfaces arranged around an optical axis (12). The reflective surfaces stop short of the optical axis to provide a central region of the retroreflector which transmits incident light (M,N) and a peripheral region of the retroreflector which retroreflects incident light (C,D). When the reflector is used in a Jamin-type interferometer (10) with another reflector (34), this enables the interferometer to be used for measuring displacement between the reflectors.
In the interferometer, a projected beam (M) is disposed between a pair of return beams (D,N) and/or one of the return beams (N) is disposed between a pair of the projected beams (C,M). This enables a first contiguous area of a face of a beam splitter (22) to be provided with a phase-shifting coating (28) to produce a phase quadrature relationship between a pair of interferogram beams (G,I). This simplifies the masking required when applying the coating (28).
In manufacture of the beam splitting member (22), a thin-film, beam-splitting, metal coating is applied to the member, and the member and coating are baked so as to modify the phase shift produced by the coating to enable the phase quadrature relationship. During baking a beam of light is projected at the coating with an angle of incidence of substantially π/4 radians so that the beam is split into a transmitted component and a reflected component. The intensities or phases of the transmitted and reflected components are monitored during baking, and the baking is terminated when the monitored intensities or phases have a predetermined relationship. This improves the reliability and/or accuracy of the resulting phase shift.
摘要翻译：后向反射器（32）具有围绕光轴（12）布置的三个相互正交的反射表面。反射表面停止在光轴之外，以提供后向反射器的中心区域，其传送入射光（M，N）和回射反射器的外围区域，其回射入射光（C，D）。当反射器在具有另一个反射器（34）的Jamin型干涉仪（10）中使用时，这使得干涉仪能够用于测量反射器之间的位移。在干涉仪中，投影光束（M）设置在一对返回光束（D，N）之间，和/或其中一个返回光束（N）设置在一对投影光束（C，M）之间。这使得分束器（22）的面的第一连续区域能够设置有相移涂层（28），以在一对干涉图形波束（G，I）之间产生相位正交关系。这简化了施加涂层（28）时所需的掩模。在分束构件（22）的制造中，将薄膜，分束金属涂层施加到构件上，并且对构件和涂层进行烘烤，以便改变由涂层产生的相移，以使相位正交关系。在烘烤期间，光束以基本上π/ 4弧度的入射角投射在涂层处，使得光束被分裂成透射分量和反射分量。在烘烤期间监测透射和反射部件的强度或相位，并且当所监视的强度或相位具有预定关系时，终止烘烤。这提高了所产生的相移的可靠性和/或精度。

6. 发明公开

EP0750174A2 Referenzinterferometer mit variabler Wellenlänge 失效
标题翻译：参考干燥仪mit变幅器Wellenlänge
公开(公告)号：EP0750174A2
公开(公告)日：1996-12-27
申请号：EP96109740.9
申请日：1996-06-18
申请人： CARL ZEISS JENA GmbH
发明人： Bechstein, Karl-Heinz , Möller, Beate , Salewski, Klaus-Dieter, Dr.
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02004 , G01B9/02056
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf ein Referenzinterferometer mit variabler Wellenlänge, mit einem Interferometerteiler (3), mit einem Referenzstrahlengang (R) und mit einem zwischen zwei Planspiegeln (8; 9) verlaufenden gefalteten Meßstrahlengang (M). Ein distanzhaltendes Element (10) ist zur Realisierung einer festen gegenseitigen Lage der Planspiegel (8; 9) vorgesehen.
Die beiden Planspiegel (8; 9) sind so zueinander geneigt angeordnet, daß ein vom Interferometerteiler (3) kommender, an einem Eintrittsort (O) in den Raum zwischen den Planspiegeln (8; 9) eingekoppelter Lichtstrahl mehrfach an den Planspiegeln (8 und 9) reflektiert wird, wobei die Reflexionsorte (13) auf den reflektierenden Flächen der Planspiegel (8; 9) auf einer Parabel liegen. Dem zweiten Planspiegel (9) ist ein Retroreflektor (5) derart nachgeordnet, daß der auf diesen treffende Lichtstrahl zum Eintrittsort (O) oder zumindest in dessen Nähe zurückgeführt wird.
摘要翻译：干涉仪具有干涉仪分离器和参考光束路径。折叠的测量光束路径（Z）在两个平面镜（8,9）之间延伸。提供至少一个距离保持元件（10）以将平面镜保持固定的距离。光束路径上的光束耦合到平面镜之间的空间中。这反映在镜子之间多次，最终再次被送出这个空间。两个平面反射镜相对于彼此布置，使得光束到两个反射镜的反射表面的反射点（13）位于抛物线曲线上。入射孔（11）设置在两个反射镜的第一（8）中，用于将光束耦合到空间中。出口孔（12）设置在另一个反射镜中，用于将光束耦合到空间中。后反射器布置在第二平面镜（9）之后，使得入射到其上的光束被反馈到相同或几乎相同路径上的入口孔口或靠近入口孔口。

7. 发明公开

EP0469718A3 Laser interferometry length measuring apparatus 失效
标题翻译：激光干涉仪长度测量装置
公开(公告)号：EP0469718A3
公开(公告)日：1993-10-13
申请号：EP91305917.6
申请日：1991-06-28
申请人： KONICA CORPORATION
发明人： Hosoe, Shigeru, Konica Corporation
IPC分类号： G01B9/02 , G02B27/28
CPC分类号： G01B9/02056 , G01B9/02018 , G01B9/02081 , G01B2290/45 , G01B2290/70
摘要： A laser interferometry length measurer for determining a moving distance of an object. The measurer includes a 45° rotatory polarization plate (2) for dividing a source light beam to a measuring beam (P) and a reference beam (S); a reflector (3), which is placed to the object, for reflecting the measuring beam; a prism for composing the reference beam and the reflected measuring beam into a composed source beam; a beam splitter prism for distributing the composed source beam into a plural light beams which have different phases; and a determination unit to determine the moving distance of the object according to those beams.

8. 发明授权

EP3636139B1 OPHTHALMIC APPARATUS 有权
公开(公告)号：EP3636139B1
公开(公告)日：2024-10-30
申请号：EP19196191.1
申请日：2019-09-09
IPC分类号： A61B3/10 , G01B9/02
CPC分类号： A61B3/102 , G01B9/02056

9. 发明公开

EP2565578A1 Vorrichtung zur interferometrischen Abstandsbestimmung zwischen zwei parallelen Platten 有权
公开(公告)号：EP2565578A1
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：EP12177860.9
申请日：2012-07-25
申请人： Dr. Johannes Heidenhain GmbH
发明人： HOLZAPFEL,, Wolfgang, Dr.
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/14
CPC分类号： G01B9/02056 , G01B9/02018 , G01B9/02022 , G01B9/02061 , G01B11/14
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur interferometrischen Abstandsbestimmung zwischen zwei weitgehend parallel angeordneten Platten mit einer Lichtquelle, mindestens einem Strahlteilerelement, mindestens einem Reflektorelement, mehreren Ablenkelementen, mehreren Retroreflektoren und einer Detektionseinheit. Ein von der Lichtquelle emittiertes Strahlenbündel trifft geneigt auf ein Strahlteilerelement auf der ersten Platte und erfährt dort eine Aufteilung in ein reflektiertes Referenzstrahlenbündel und ein transmittiertes Messstrahlenbündel. Das Messstrahlenbündel trifft auf ein Reflektorelement auf der zweiten Platte und erfährt dort eine erste Rückreflexion. Das Referenzstrahlenbündel durchläuft ein erstes Ablenkelement, das Messstrahlenbündel ein zweites Ablenkelement; anschließend durchlaufen beide Strahlenbündel jeweils einen zugeordneten Retroreflektor, dann durchläuft das Messstrahlenbündel ein drittes Ablenkelement, das Referenzstrahlenbündel ein viertes Ablenkelement. Das erste und zweite Ablenkelement als auch das dritte und vierte Ablenkelement üben jeweils unterschiedliche Ablenkwirkungen auf die durchlaufenden Strahlenbündel aus. Das Referenzstrahlenbündel erfährt dann eine Reflexion an der ersten Platte, das Messstrahlenbündel eine zweite Rückreflexion an einem Reflektorelement der zweiten Platte, so dass beide Strahlenbündel dann kollinear, interferierend in Richtung der Detektionseinheit propagieren, wo mehrere phasenverschobene Abstandssignale erzeugbar sind ( Fig. 1a ).
摘要翻译：该装置具有分束器元件（1.2），反射器元件（2.2）和多个挡板，其中从光源（3.1）发射的辐射束与板（1）上的分束器元件倾斜。辐射束被分为反射参考光束（R）和透射测量光束（M）。将测量光束施加在另一个板（2）上的反射器元件上，其中反射在前板的方向上受到影响。包括具有光学位置测量装置的系统的独立权利要求。

10. 发明公开

EP1751491A1 POLARISING INTERFEROMETER WITH REMOVAL OR SEPARATION OF ERROR BEAM CAUSED BY LEAKAGE OF POLIRISED LIGHT 有权
标题翻译：偏光用干涉或分居处置LICK偏振光造成的误差光束
公开(公告)号：EP1751491A1
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：EP05746255.8
申请日：2005-05-11
申请人： Renishaw plc
发明人： LEE, William, Ernest
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02019 , G01B9/02056 , G01B2290/70 , G01J2009/0261
摘要： A polarising double-passed interferometer comprises a polarising beamsplitter (16), a reference mirror (20) in the path of a reference beam (14) and a movable measurement mirror (26) in the path of a measurement beam (12). The reference and measurement beams have different polarisations. An angular beam deflection device such a glass wedge or prism (32) acts to remove or separate out an error beam (30) caused by leakage of light of one polarisation into the path of light of the other polarisation.

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