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    • 4. 发明公开
    • Verfahren zum Betrieb von Vakuumanlagen mit Drückänderungen
    • Dr。DrückänderungenVerfahren zum Betrieb von Vakuumanlagen mitDrückänderungen
    • EP1580446A1
    • 2005-09-28
    • EP04007325.6
    • 2004-03-26
    • Applied Films GmbH & Co. KG
    • Hein, StefanKlemm, Günter
    • F16C13/00C23C14/56
    • B65H27/00B65H2404/17F16C13/003
    • Verfahren zum Betrieb von Vakuumanlagen mit Druckänderungen zwischen dem Betriebsdruck und dem Umgebungsdruck, die in einer Vakuumkammer (V) Einbauteile (13, 13a) aus der Gruppe Elektronikbauteile, Transformatoren, Motoren, Wälzlager und Führungswalzen besitzen, die mit belüftbaren Umhüllungen versehen sind, wobei die Führungswalzen (12) mit Wälzlagern (24) versehen sind, die innerhalb der Umhüllungen auf Stützkörpern (7, 8) gehalten sind. Um diese Einbauteile (13, 13a) einschliesslich der Führungswalzen (12) und ihrer Wälzlager beim Fluten der Vakuukammer (V) gegen das Eindringen von Staub und anderen Partikeln zu schützen, wird vorgeschlagen, dass vor dem Fluten der Vakuumkammer (V) in die Umhüllungen ein Gas eingeleitet wird, durch das Festkörper aus der Gruppe Staub und Partikel aus den Umhüllungen herausgeblasen werden und das Eindringen von Festkörpern in die Umhüllungen verhindert wird. Vorzugsweise wird dabei so vorgegangen, dass das Gas während des gesamten Flutvorganges der Vakuumkammer (V) geregelt durch die Umhüllungen hindurch geführt wird.
    • 用于操作真空装置的方法包括在溢流真空室(V)之前将气体引入壳体中,使得粉尘和颗粒被吹出,并防止灰尘和颗粒渗透到壳体中。 优选特征:外壳由包含滚子轴承和内圈的中空辊或辊段(12)组成。 气体被吹过内圈和外圈之间的环形间隙。 气量调节。