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1. 发明授权

EP2355132B1 Klappen-Transferventil mit schwenkbarem Ventilverschlussbalken 有权
标题翻译：带旋转阀闭合梁皮瓣转移阀
公开(公告)号：EP2355132B1
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：EP10152682.0
申请日：2010-02-04
申请人： VAT Holding AG
发明人： Geiser, Friedrich
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , F16K1/20 , F16K51/02 , E05F15/04
CPC分类号： H01L21/67126 , F16K1/2007 , F16K1/2028 , F16K1/205 , F16K51/02 , H01L21/67751 , H01L21/67772

2. 发明公开

EP2551565A1 Vakuumventil und Verschlussglied zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung 审中-公开
标题翻译：通过线性运动的装置的真空阀和闭合构件，用于流路的气密式封闭
公开(公告)号：EP2551565A1
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：EP11175737.3
申请日：2011-07-28
申请人： VAT Holding AG
发明人： Geiser, Friedrich , Neumeir, Anton , Duelli, Bernhard , Blecha, Thomas , Summer, Karlheinz
IPC分类号： F16K3/314 , F16K51/02
CPC分类号： F16K3/30 , F16K3/18 , F16K3/314 , F16K51/02
摘要： Die Erfindung betrifft ein Vakuumventil (1) zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs (F) mittels einer Linearbewegung, mit einem Verschlussglied (5), das linear verschiebbar ist, einer die Öffnung (3) umschliessenden ersten Dichtfläche (10) des Ventilgehäuses (2) und einer mit der ersten Dichtfläche (10) korrespondierenden zweiten Dichtfläche (11) des Verschlussglieds (5). Die zweite Dichtfläche (11) steht in der geschlossenen Position (C) in einem auf die erste Dichtfläche (10) in Schliessrichtung (8) drückenden, dichtenden Kontakt mit der ersten Dichtfläche (10) und das Verschlussglied (5) verschliesst die Öffnung (3) gasdicht. Das Ventilgehäuse (2) weist im Bereich zwischen der Öffnung (3) und der ersten Dichtfläche (10) eine die Öffnung (3) umschliessende erste Schrägfläche (22) und das Verschlussglied (5) eine parallel zu der ersten Schrägfläche (22) verlaufende, mit der ersten Schrägfläche (22) korrespondierende zweite Schrägfläche (23) auf. Die Schrägflächen (22, 23), die einen Schrägstellungswinkel (24) zwischen 3 und 15 Grad zur geometrischen Verstellachse (6) haben, liegen derart zueinander, dass die zweite Schrägfläche (23) in der geschlossenen Position (C) des Verschlussglieds (5) in paralleler Gegenüberlage zu der ersten Schrägfläche (22) mit einem Abstand (v) zueinander zwischen 0 und 0,6 mm angeordnet ist.
摘要翻译：真空阀（1）具有一个阀壳（2），其设置有在平面（22）倾斜。倾斜面被封闭在开口（3）和所述开口的密封表面（10）之间的区域。锁定连杆（5）具有的形状为平行倾斜表面和另一个倾斜面（23）对应于前者倾斜表面上。前者倾斜面和倾斜面后者骗海誓山盟，检查做后期倾斜面在平行相对的前倾斜表面锁定连杆的闭合位置（C）以一定距离（V）地布置。一个独立的claimsoft包括用于通过一个直线运动的锁定连杆用于流路的气密封闭。

3. 发明授权

EP2315236B1 Klappen-Transferventil 失效
标题翻译：皮瓣转移阀
公开(公告)号：EP2315236B1
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：EP09173836.9
申请日：2009-10-22
申请人： VAT Holding AG
发明人： Geiser, Friedrich
IPC分类号： F16K51/02 , F16K1/20 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67126 , F16K1/2007 , F16K1/2028 , F16K1/205 , F16K51/02

4. 发明公开

EP2315236A1 Klappen-Transferventil 失效
公开(公告)号：EP2315236A1
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：EP09173836.9
申请日：2009-10-22
申请人： VAT Holding AG
发明人： Geiser, Friedrich
IPC分类号： H01L21/00 , F16K51/02
CPC分类号： H01L21/67126 , F16K1/2007 , F16K1/2028 , F16K1/205 , F16K51/02
摘要： Die Erfindung betrifft ein Klappen-Transferventil für den Transfer von Halbleiterelementen oder Substraten in eine gasdicht isolierbare Halbleiter- oder Substratbearbeitungs-Prozesskammer. Eine langgestreckte erste Öffnung (1) ist mittels eines langgestreckten Ventilverschlussbalkens (4) verschliessbar, der über eine Schwenklagerung um eine Schwenkachse (10) zwischen einer Geschlossenstellung (C) und einer Offenstellung (O) schwenkbar ist. Eine Welle (11) ist mittels eines Antriebs (13) um eine Wellenachse (12) drehbar und steht in derartiger Wirkverbindung zu dem Ventilverschlussbalken (4), dass ein Drehen der Welle (11) ein Schwenken des Ventilverschlussbalkens (4) bewirkt. Gemäss einem ersten Aspekt der Erfindung sind der Ventilverschlussbalken (4), die Schwenklagerung und die Welle (11) auf einem Ventildeckel (20) in einem gasdichten Ventilgehäuse (14) angeordnet, wobei durch Entkoppeln und Entfernen des Ventildeckels (20) die Welle (11), die Schwenklagerung und der Ventilverschlussbalken (4) vom Ventilgehäuse (14) entkoppelbar sind. Ein zweiter Aspekt der Erfindung sieht vor, dass die Schwenklagerung von mindestens drei Lagerelementen (27) gebildet wird, die entlang der Wellenachse (12) im Ventilgehäuse (14) voneinander beabstandet verteilt sind und an denen der Ventilverschlussbalken (4) und die Welle (11) gelagert sind. Die Wellenachse (12) ist von der Schwenkachse (10) beabstandet. Auf der Welle (11) sind erste Arme (29) angeordnet, mittels welcher eine Kraft auf die Rückseite (7) des Ventilverschlussbalkens (4) zum Schwenken des Ventilverschlussbalkens (4) aufbringbar ist.
摘要翻译：阀具有阀闭合梁（4），枢转轴承和布置在阀壳体（14）中的轴（11）。壳体具有阀盖（20），其以气密方式联接到壳体的其余部分并且在平行于开口侧的横向方向上在细长的侧壁上移除。轴被可旋转地支撑在阀盖上，并且轴承，轴和梁被布置在阀盖上，使得轴，轴承和梁通过在侧向上脱离和移除阀盖而与壳体脱离方向。

5. 发明公开

EP2420709A1 Vakuumventil und Verschlussglied zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung 审中-公开
标题翻译：通过线性运动的装置的真空阀和闭合构件，用于流路的气密式封闭
公开(公告)号：EP2420709A1
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：EP10172891.3
申请日：2010-08-16
申请人： VAT Holding AG
发明人： Geiser, Friedrich , Neumeir, Anton
IPC分类号： F16K3/314 , F16K51/02
CPC分类号： F16K51/02 , F16K3/314
摘要： Die Erfindung betrifft ein Vakuumventil (1) zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs (F) mittels einer Linearbewegung, mit einem Verschlussglied (5), das linear entlang einer zu der Öffnungsachse (4) quer verlaufenden Verstellachse (6) verschiebbar ist, einer die Öffnung (3) umschliessenden, senkrecht oder schräg in eine Öffnungsrichtung (9) weisenden ersten Dichtfläche (10) des Ventilgehäuses (2) und einer mit der ersten Dichtfläche (10) korrespondierenden zweiten Dichtfläche (11) des Verschlussglieds (5). Ein erster und zweiter Hauptabschnitt (12a, 12b) weisen zueinander einen geometrischen Versatz quer zu der Verstellachse (6) auf. Seitliche U-förmige Seitenabschnitte (14a, 14b), die jeweils einen ersten Schenkel (15a), einen zweiten Schenkel (15b) und eine Basis (15c) aufweisen, verbinden die Hauptabschnitte (12a, 12b) miteinander, wobei die beiden ersten Schenkel (15a) jeweils im Wesentlichen entlang zu der Verstellachse (6) parallelen ersten Schenkelebenen (16a) verlaufen. Die jeweilige Basis (15c) verbindet den ersten Schenkel (15a) und den zweiten Schenkel (15b) und überbrückt den geometrischen Versatz quer zu der Verstellachse (6). Zwischen dem ersten Hauptabschnitt (12a) und den beiden ersten Schenkeln (15a) ist jeweils ein erster Krümmungsabschnitt (17a) angeordnet, wobei die beiden ersten Schenkelebenen (16a) jeweils um mindestens 30 Grad gegenüber der ersten Hauptebene (13a) abgewinkelt sind. Ausserdem betrifft die Erfindung ein korrespondierendes Verschlussglied (5).
摘要翻译：该阀具有包括不同形成的主部（12A，12B），一个侧部（14a）的曲率部的密封表面（10）（17A，17B），和支架（15a）上沿托架的平面平行延伸，以在调整轴，支架平面约30度角相对的主平面。一曲率部的在主部和支架的一个之间设置。密封表面从主平面通过几何曲率前弯曲部被引导围绕30度和传递到托架计划。

6. 发明公开

EP2355132A1 Klappen-Transferventil mit schwenkbarem Ventilverschlussbalken 有权
公开(公告)号：EP2355132A1
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：EP10152682.0
申请日：2010-02-04
申请人： VAT Holding AG
发明人： Geiser, Friedrich
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/677 , F16K1/20 , F16K51/02 , E05F15/04
CPC分类号： H01L21/67126 , F16K1/2007 , F16K1/2028 , F16K1/205 , F16K51/02 , H01L21/67751 , H01L21/67772
摘要： Die Erfindung betrifft ein Klappen-Transferventil für den Transfer von Halbleiterelementen oder Substraten in eine gasdicht isolierbare Halbleiter- oder Substratbearbeitungs-Prozesskammer, mit einer langgestreckten ersten Öffnung (1), die von einer in einer ersten Dichtebene (41) liegenden ersten Dichtfläche (3) rahmenförmig umschlossen ist, und einem langgestreckten Ventilverschlussbalken (4), der eine mit der ersten Dichtfläche (3) korrespondierende und mit ihr in gasdichten Kontakt bringbare, in einer zweiten Dichtebene (42) liegende zweite Dichtfläche (9) aufweist. Auf der Rückseite (7) des Ventilverschlussbalkens (4) ist eine Abstützung (40) angeordnet, an welcher der Ventilverschlussbalken (4) über eine schwenkbare Verbindung (43) um Kippachse (44) um einen begrenzten Schwenkwinkel schwenkbar angeordnet ist. Mittels einer Schwenklagerung (60) ist die Abstützung (40) mit dem Ventilverschlussbalken (4) um eine Schwenkachse (10) zwischen einer Geschlossenstellung (C) und einer Offenstellung (O) schwenkbar. Die Schwenkachse (10) liegt in der ersten Dichtebene (41) und die Kippachse (44) in der zweiten Dichtebene (42).
摘要翻译：阀具有枢转轴承（60）和阀闭合梁（4），其沿着在闭合位置（C）和打开位置之间平行于纵向轴线（5）的枢转轴线（10）枢转。阀闭合梁的闭合表面（8）在闭合位置覆盖并闭合开口（1）。阀门关闭梁在打开位置中从开口枢转离开以释放开口。枢转轴线位于密封平面（41）上，倾斜轴线（44）位于另一个密封平面（42）上。

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