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1. 发明公开

EP1232996A3 Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung 审中-公开
标题翻译：微机械部件和其制备方法
公开(公告)号：EP1232996A3
公开(公告)日：2005-01-19
申请号：EP01127972.6
申请日：2001-11-24
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： Fischer, Frank , Frey, Wilhelm, Dr.
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0008 , B81B3/0086 , B81B2201/0235 , B81C2201/112
摘要： Bei der Herstellung eines mikromechanischen Bauelements mit gegeneinander beweglichen Komponenten (7, 8) aus einem Substrat wird eine leitfähige Beschichtung (10) wenigstens auf einander zugewandten Oberflächen (9) der gegeneinander beweglichen Komponenten (7, 8) aufgebracht.

2. 发明公开

EP1228998A2 Mikromechanisches Bauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements 有权
标题翻译：微机械部件以及用于制造微机械部件的过程
公开(公告)号：EP1228998A2
公开(公告)日：2002-08-07
申请号：EP01125720.1
申请日：2001-10-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： Fischer, Frank , Hein, Peter, Dr. , Graf, Eckhard
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81C1/00333 , B81B7/0006 , B81B7/007 , B81B2201/0235 , B81C2203/0118 , B81C2203/019
摘要： Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Bauelement mit einem Substrat, mindestens einer strukturierten Schicht (5), wobei in der strukturierten Schicht (5) mindestens eine Funktionsstruktur (7) gebildet ist, und einer Kappe (1), die die Funktionsstruktur (7) überdeckt, wobei zwischen der Kappe (1) und der Funktionsstruktur (7) mindestens ein Hohlraum (7a) gebildet ist, und eine Verbindungsschicht (2) die Kappe (1) mit der strukturierten Schicht (5) verbindet, sowie von einem Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements nach der Gattung des betreffenden unabhängigen Patentanspruchs.
Um ein kompaktes und solides Bauelement zu erhalten, ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß die Verbindungsschicht (2) durch ein anodisch bondbares Glas, d.h. ein Bondglas, gebildet ist, das insbesondere eine Dicke im Bereich von 300 nm bis 100 µm, vorzugsweise im Bereich von 300 nm bis 50 µm, aufweist.
摘要翻译：本发明涉及微型机械装置具有一个基板，至少一个结构化的层（5），其中在所述结构化层（5）形成的至少一个功能结构（7）和盖（1），所述功能结构（7）覆盖，其中，所述盖（1）和所述功能结构（7）之间形成至少一个空腔（7A），和一个粘结层（2），所述盖（1）与结构化层连接（5），以及一种用于制备根据有关独立权利要求的前序部分的微机械部件。为了获得一个紧凑的和固体组分，本发明提供了，通过一个阳极粘接玻璃连接层（2），即粘接玻璃形成，特别是其具有的厚度在300纳米至100微米的范围内，优选在300纳米至50微米的范围内。

3. 发明授权

EP1671924B1 Mikromechanisches Bauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements 有权
标题翻译：微机械部件以及用于制造微机械部件的过程
公开(公告)号：EP1671924B1
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：EP06110978.1
申请日：2001-10-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： Fischer, Frank , Hein, Peter , Graf, Eckhard
IPC分类号： B81C5/00
CPC分类号： B81C1/00333 , B81B7/0006 , B81B7/007 , B81B2201/0235 , B81C2203/0118 , B81C2203/019

4. 发明授权

EP1671923B1 Mikromechanisches Bauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements 有权
标题翻译：微机械部件以及用于制造微机械部件的过程
公开(公告)号：EP1671923B1
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：EP06110976.5
申请日：2001-10-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： Fischer, Frank , Hein, Peter , Graf, Eckhard
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81C1/00333 , B81B7/0006 , B81B7/007 , B81B2201/0235 , B81C2203/0118 , B81C2203/019

5. 发明公开

EP1671924A3 Mikromechanisches Bauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements 有权
标题翻译：微机械部件和生产微机械部件的方法
公开(公告)号：EP1671924A3
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：EP06110978.1
申请日：2001-10-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： Fischer, Frank , Hein, Peter , Graf, Eckhard
IPC分类号： B81C5/00
CPC分类号： B81C1/00333 , B81B7/0006 , B81B7/007 , B81B2201/0235 , B81C2203/0118 , B81C2203/019
摘要： Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Bauelement mit einem Substrat, mindestens einer strukturierten Schicht (5), wobei in der strukturierten Schicht (5) mindestens eine Funktionsstruktur (7) gebildet ist, und einer Kappe (1), die die Funktionsstruktur (7) überdeckt, wobei zwischen der Kappe (1) und der Funktionsstruktur (7) mindestens ein Hohlraum (7a) gebildet ist, und eine Verbindungsschicht (2) die Kappe (1) mit der strukturierten Schicht (5) verbindet, sowie von einem Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements nach der Gattung des betreffenden unabhängigen Patentanspruchs.
Um ein kompaktes und solides Bauelement zu erhalten, ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß die Verbindungsschicht (2) durch ein anodisch bondbares Glas, d.h. ein Bondglas, gebildet ist, das insbesondere eine Dicke im Bereich von 300 nm bis 100 µm, vorzugsweise im Bereich von 300 nm bis 50 µm, aufweist.
摘要翻译：本发明基于具有基板，至少一个结构化层（5）的微机械部件以及覆盖功能结构（7）的盖（1），其中至少一个功能结构（7）形成在结构化层（5）中。（1）与功能结构（7）之间形成至少一个空腔（7a），并且盖（1）与结构化层（5）连接的连接层（2），以及制造方法根据相关独立权利要求的前序部分的微机械装置。为了获得紧凑和坚固的部件，根据本发明提供的是，连接层（2）由阳极可结合的玻璃形成，形成结合玻璃，其特别具有在300nm至100微米范围内的厚度，优选在300nm至50微米范围内的厚度。

6. 发明公开

EP1491922A1 Infrarot-Filter-Bauelement, insbesondere für einen Gasdetektor 审中-公开
标题翻译： Infrarot-Filter-Bauelement，insbesonderefüreinen Gasdetektor
公开(公告)号：EP1491922A1
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：EP04001641.2
申请日：2004-01-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： Hoechst, Arnim , Metzger, Lars , Baer, Hans-Peter , Fischer, Frank
IPC分类号： G02B5/28
CPC分类号： G02B5/281
摘要： Die Erfindung betrifft ein IR-Filter-Bauelement und ein Verfahren zu seiner Herstellung.
Erfindungsgemäß wird ein IR-Filterelement mit geringem Aufwand und dennoch hoher Integration hergestellt, mit einem Substrat (2), mindestens einer auf dem Substrat (direkt oder indirekt) ausgebildeten Filtereinrichtung (3, 4), die in lateraler Richtung alternierende erste und zweite, infrarot-transparente, vertikal zur Substratoberfläche (9) verlaufende Bereiche (5, 6; 7, 8) aufweist, die jeweils eine optische Dicke mit einem Vielfachen eines Viertels der Wellenlänge der Infrarot-Strahlung aufweisen.
摘要翻译：在基板（2）上，过滤器单元（3,4）具有横向连续的交替区域（5-8）。每个都包括红外线透明材料，并且其连续垂直延伸到基底表面。在侧面，光学厚度是四分之一波长，称为中值红外波长。包括制造方法的独立权利要求。

7. 发明公开

EP1227061A3 Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauelement 审中-公开
标题翻译：用于微机械部件的制造方法
公开(公告)号：EP1227061A3
公开(公告)日：2004-03-03
申请号：EP01127971.8
申请日：2001-11-24
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： Fischer, Frank , Bischof, Udo , Metzger, Lars
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00896 , B81C2201/053
摘要： Die Erfindung schafft ein Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Bauelements mit den Schritten: Bereitstellen eines Substrats (1; 2; 4) mit einer Vorderseite und einer Rückseite; Strukturieren der Vorderseite des Substrats (1; 2; 4); zumindest teilweises Abdecken der strukturierten Vorderseite des Substrats (1; 2; 4) mit einer Germanium-enthaltenden Schutzschicht (7; 7'; 7"); Strukturieren der Rückseite des Substrats (1; 2; 4); und zumindest teilweises Entfernen der Germanium-enthaltenden Schutzschicht (7; 7'; 7") von der strukturierten Vorderseite des Substrats (1; 2; 4).

8. 发明授权

EP2398144B1 Motorsteuerung 有权
公开(公告)号：EP2398144B1
公开(公告)日：2018-09-05
申请号：EP11167248.1
申请日：2011-05-24
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： Lurk, Volker , Haberl, Nikolas , Fischer, Frank , Poddey, Christian , Stiefel, Tobias , Koerner, Michael
IPC分类号： H02P29/032 , H02P7/28 , H02P29/02
CPC分类号： H02P7/28 , H02P29/032

9. 发明公开

EP2812806A1 VERFAHREN ZUM AUSLESEN EINER LICHTSENSORSTEUEREINRICHTUNG SOWIE VORRICHTUNG ZUM AUSLESEN EINER LICHTSENSORSTEUEREINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：方法用于读取的光传感器，控制装置和设备的用于读取光传感器控制设备
公开(公告)号：EP2812806A1
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：EP13703373.4
申请日：2013-02-04
申请人： Robert Bosch GmbH
发明人： Slogsnat, David , Fischer, Frank
IPC分类号： G06F13/38 , H04N5/907
CPC分类号： G06F3/0421 , G06F3/005 , G06F3/017 , G06F3/0304 , G06F13/385
摘要： The invention relates to a method for reading a light sensor control device, with the method steps: a) reading (S1) a light signal of the light sensor by means of the light sensor control device (2) and generating a data signal (DPi) corresponding to the light signal; b) storing (S2) the generated data signal (DPi) in a buffer storage unit (12) of the light sensor control device (2) and if a stopping condition is not satisfied: continuing the method with the method step a); if the stopping condition is satisfied: continuing the method with: c) reading (S3), by means of a processor device (1), the data signals (DP1-DPn) stored in a data block (ROA1) of the buffer storage unit of the light sensor control device (2).
摘要翻译：一种用于读出的光传感器控制单元，其具有的方法步骤的方法：（a）中读出由光传感器控制单元的光传感器的光信号并产生对应于所述光信号的数据信号，b）存储所生成的数据在光传感器控制单元的缓冲存储器单元信号，并且如果终止条件没有被满足：继续与方法步骤a的方法）中，如果终止条件被满足：继续采用c读出数据信号中的方法）存储由处理器装置在一个数据块中的光传感器控制单元的缓冲存储器单元。

10. 发明公开

EP1671924A2 Mikromechanisches Bauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements 有权
标题翻译：微机械部件以及用于制造微机械部件的过程
公开(公告)号：EP1671924A2
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：EP06110978.1
申请日：2001-10-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： Fischer, Frank , Hein, Peter , Graf, Eckhard
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81C1/00333 , B81B7/0006 , B81B7/007 , B81B2201/0235 , B81C2203/0118 , B81C2203/019
摘要： Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Bauelement mit einem Substrat, mindestens einer strukturierten Schicht (5), wobei in der strukturierten Schicht (5) mindestens eine Funktionsstruktur (7) gebildet ist, und einer Kappe (1), die die Funktionsstruktur (7) überdeckt, wobei zwischen der Kappe (1) und der Funktionsstruktur (7) mindestens ein Hohlraum (7a) gebildet ist, und eine Verbindungsschicht (2) die Kappe (1) mit der strukturierten Schicht (5) verbindet, sowie von einem Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements nach der Gattung des betreffenden unabhängigen Patentanspruchs.
Um ein kompaktes und solides Bauelement zu erhalten, ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß die Verbindungsschicht (2) durch ein anodisch bondbares Glas, d.h. ein Bondglas, gebildet ist, das insbesondere eine Dicke im Bereich von 300 nm bis 100 µm, vorzugsweise im Bereich von 300 nm bis 50 µm, aufweist.
摘要翻译：该组件具有一个已知的结构，其包括包含一个功能结构（7）的基板（3）和结构化的层（5）。帽（1）覆盖所述功能结构（7），在它们之间留有空腔（7A）。的连接层（2）结合所述帽与结构化层。在新颖的设计中，连接层（2）通过在阳极接合玻璃形成。其厚度优选为300纳米至50微米。粘接玻璃是碱性硅酸盐和/或硼硅酸盐玻璃，具有限定的离子浓度。一个独立的claimsoft包括用于制造的方法。

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