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1. 发明授权

EP1228998B1 Mikromechanisches Bauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements 有权
标题翻译：微机械部件和生产微机械部件的方法
公开(公告)号：EP1228998B1
公开(公告)日：2006-06-14
申请号：EP01125720.1
申请日：2001-10-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： Fischer, Frank , Hein, Peter, Dr. , Graf, Eckhard
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00 , B81B7/00
CPC分类号： B81C1/00333 , B81B7/0006 , B81B7/007 , B81B2201/0235 , B81C2203/0118 , B81C2203/019

2. 发明公开

EP1228998A2 Mikromechanisches Bauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements 有权
标题翻译：微机械部件以及用于制造微机械部件的过程
公开(公告)号：EP1228998A2
公开(公告)日：2002-08-07
申请号：EP01125720.1
申请日：2001-10-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： Fischer, Frank , Hein, Peter, Dr. , Graf, Eckhard
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81C1/00333 , B81B7/0006 , B81B7/007 , B81B2201/0235 , B81C2203/0118 , B81C2203/019
摘要： Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Bauelement mit einem Substrat, mindestens einer strukturierten Schicht (5), wobei in der strukturierten Schicht (5) mindestens eine Funktionsstruktur (7) gebildet ist, und einer Kappe (1), die die Funktionsstruktur (7) überdeckt, wobei zwischen der Kappe (1) und der Funktionsstruktur (7) mindestens ein Hohlraum (7a) gebildet ist, und eine Verbindungsschicht (2) die Kappe (1) mit der strukturierten Schicht (5) verbindet, sowie von einem Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements nach der Gattung des betreffenden unabhängigen Patentanspruchs.
Um ein kompaktes und solides Bauelement zu erhalten, ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß die Verbindungsschicht (2) durch ein anodisch bondbares Glas, d.h. ein Bondglas, gebildet ist, das insbesondere eine Dicke im Bereich von 300 nm bis 100 µm, vorzugsweise im Bereich von 300 nm bis 50 µm, aufweist.
摘要翻译：本发明涉及微型机械装置具有一个基板，至少一个结构化的层（5），其中在所述结构化层（5）形成的至少一个功能结构（7）和盖（1），所述功能结构（7）覆盖，其中，所述盖（1）和所述功能结构（7）之间形成至少一个空腔（7A），和一个粘结层（2），所述盖（1）与结构化层连接（5），以及一种用于制备根据有关独立权利要求的前序部分的微机械部件。为了获得一个紧凑的和固体组分，本发明提供了，通过一个阳极粘接玻璃连接层（2），即粘接玻璃形成，特别是其具有的厚度在300纳米至100微米的范围内，优选在300纳米至50微米的范围内。

3. 发明公开

EP1228998A3 Mikromechanisches Bauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements 有权
标题翻译：微机械部件以及用于制造微机械部件的过程
公开(公告)号：EP1228998A3
公开(公告)日：2004-06-16
申请号：EP01125720.1
申请日：2001-10-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： Fischer, Frank , Hein, Peter, Dr. , Graf, Eckhard
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00 , B81B7/00
CPC分类号： B81C1/00333 , B81B7/0006 , B81B7/007 , B81B2201/0235 , B81C2203/0118 , B81C2203/019
摘要： Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Bauelement mit einem Substrat, mindestens einer strukturierten Schicht (5), wobei in der strukturierten Schicht (5) mindestens eine Funktionsstruktur (7) gebildet ist, und einer Kappe (1), die die Funktionsstruktur (7) überdeckt, wobei zwischen der Kappe (1) und der Funktionsstruktur (7) mindestens ein Hohlraum (7a) gebildet ist, und eine Verbindungsschicht (2) die Kappe (1) mit der strukturierten Schicht (5) verbindet, sowie von einem Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements nach der Gattung des betreffenden unabhängigen Patentanspruchs. Um ein kompaktes und solides Bauelement zu erhalten, ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß die Verbindungsschicht (2) durch ein anodisch bondbares Glas, d.h. ein Bondglas, gebildet ist, das insbesondere eine Dicke im Bereich von 300 nm bis 100 µm, vorzugsweise im Bereich von 300 nm bis 50 µm, aufweist.

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