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    • 4. 发明公开
    • MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS
    • VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS的机会
    • EP2274627A1
    • 2011-01-19
    • EP09737961.4
    • 2009-04-01
    • Robert Bosch GmbH
    • CLASSEN, JohannesTEBJE, Lars
    • G01P15/125G01P15/18
    • G01P15/18G01P15/125G01P2015/0817G01P2015/0831
    • The invention relates to a micromechanical component having a substrate, a seismic mass, and first and second detecting means, wherein the substrate comprises a main extension plane and wherein the first detecting means are provided for detecting a substantially translative first deflection of the seismic mass along a first direction substantially parallel to the main extension plane and wherein further the second detecting means are provided for detecting a substantially rotative second deflection of the seismic mass about a first axis of rotation parallel to a second direction substantially perpendicular to the main extension plane. The seismic mass can be designed as an asymmetric rocker, whereby accelerations can be detected as rotations. The detecting can be done by means of capacitative sensors.
    • 一种微机械部件,包括基底,抗震块以及第一和第二检测装置,所述基底具有主延伸平面,并且所述第一检测装置被设置用于检测所述地震块沿着基本平行的第一方向的基本上平移的第一偏转 并且第二检测装置还被设置用于检测地震块围绕平行于基本上垂直于主延伸平面的第二方向的第一旋转轴线的基本上旋转的第二偏转。 地震质量可以被体现为不对称的摇杆,结果可以将加速度感知为旋转。 可以通过电容式传感器实现检测。