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    • 3. 发明公开
    • NON-PLANAR I/O AND LOGIC SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING DIFFERENT WORKFUNCTION ON COMMON SUBSTRATE
    • 具有不同功函数的非平面的I / O和逻辑半导体器件上的共用基板
    • EP3050103A1
    • 2016-08-03
    • EP13894123.2
    • 2013-09-27
    • Intel Corporation
    • OLAC-VAW, Roman W.HAFEZ, Walid M.JAN, Chia-HongLIU, Pei-Chi
    • H01L27/00
    • Non-planar I/O and logic semiconductor devices having different workfunctions on common substrates and methods of fabricating non-planar I/O and logic semiconductor devices having different workfunctions on common substrates are described. For example, a semiconductor structure includes a first semiconductor device disposed above a substrate. The first semiconductor device has a conductivity type and includes a gate electrode having a first workfunction. The semiconductor structure also includes a second semiconductor device disposed above the substrate. The second semiconductor device has the conductivity type and includes a gate electrode having a second, different, workfunction.
    • 非平面I /描述了具有公共衬底上不同的功函数和制造非平面的I / O,并具有共同的基板上的不同的功函数的逻辑半导体器件的方法O和逻辑半导体器件。 对于实施例,半导体结构包括一个以上的基板设置在第一半导体器件。 所述第一半导体器件具有导电类型,并且包括具有第一功函数的栅极电极。 因此,该半导体结构包括在基板上方设置的第二半导体器件。 该第二半导体器件具有导电类型,并且包括具有第二的,不同的功函数的栅极电极。