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1. 发明授权

EP1327612B1 Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung desselben 有权
标题翻译：用于光学元件相同的石英玻璃坯料，以及制造和使用的方法的
公开(公告)号：EP1327612B1
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：EP02027124.3
申请日：2002-12-04
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Kühn, Bodo , Uebbing, Bruno, Dr. , Trommer, Martin, Dr. , Ochs, Stefan, Dr. , Fischer, Gero , Holst, Ulla, Dr.
IPC分类号： C03C3/06 , C03C4/00 , C03B19/14
CPC分类号： C03B19/1469 , C03B19/1415 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C3/06 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , Y02P40/57

2. 发明公开

EP1516864A3 Verfahren für die Herstellung eines Gussteils aus einem Kompositwerkstoff sowie Gussteil aus keramischen oder glasigem Kompositwerkstoff 审中-公开
标题翻译：一种用于由复合材料制造铸件和由陶瓷或玻璃复合铸造方法
公开(公告)号：EP1516864A3
公开(公告)日：2005-05-04
申请号：EP04021504.8
申请日：2004-09-10
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Werdecker, Waltraud , Fischer, Gero , Kirst, Ulrich , Trommer, Martin
IPC分类号： C04B35/622 , C03B19/06
CPC分类号： C03C14/004 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03C3/06 , C03C2203/20 , C03C2203/34 , C03C2204/06
摘要： Es ist ein Verfahren für die Herstellung eines Gussteils aus einem Kompositwerkstoff durch Schlickergießen bekannt, umfassend das Bereitstellen eines Kompositschlickers, der Werkstoffteilchen im Größenbereich unterhalb von 10 µm sowie Werkstoffkörnung im Größenbereich oberhalb von 10 µm enthält, Homogenisieren des Kompositschlickers, Gießen des Kompositschlickers in eine Form unter Bildung eines Blaukörpers, Trocknen des Blaukörpers unter Bildung eines porösen Grünkörpers, und thermische Verfestigung des Grünkörpers. Um hiervon ausgehend die mit der Trockenschwindung einhergehenden Nachteile zu verringern, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass der Kompositschlicker mit einem Feststoffgehalt von mindestens 80 Gew.-% in eine Form gegossen wird, welche eine für die Flüssigkeit undurchlässige Formwandung aufweist, wobei der Kompositschlicker nach dem Gießen unter Bildung eines gefrorenen Blaukörpers auf eine Kühltemperatur unterhalb des Gefrierpunktes der Flüssigkeit abgekühlt wird, und wobei das Trocknen ein Erwärmen des gefrorenen Blaukörpers auf eine Heiztemperatur unterhalb der Siedetemperatur der Flüssigkeit umfasst. Ein nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Gussteil zeichnet sich durch eine homogene Poren- und Dichteverteilung sowie eine hohe Festigkeit aus.
摘要翻译：具有特定粒径的二氧化硅粒子是由晶粒细化非结晶二氧化硅颗粒在液体中得到。的至少1.85的具有密度复合滑移克/厘米3>通过与制备均匀基滑移混合石英玻璃颗粒得到。复合滑动被引入成形和多孔基材的形成进行，以获得不透明石英玻璃复合材料。具有粒径15微摩尔或更小和D 90of 50微摩尔或更小的二氧化硅颗粒（D 50）是通过在液体中执行非结晶二氧化硅颗粒的晶粒细化得到。具有至少75％的固体含量的均匀的基滑移是由均质化通过还原的pH滑移制造。一种复合滑移至少1.85克/厘米3>的具有密度由石英玻璃颗粒与所述均质的碱滑移混合而得到。复合滑动被引入成形，则多孔基材通过干燥和烧结的基体构成，以获得不透明石英玻璃复合材料。滑移包含尺寸小于尺寸大于100微摩尔更大的100个微摩尔和石英玻璃颗粒的二氧化硅颗粒。独立权利要求中包括了; （1）一种复合材料; 和（2）将上述复合材料作为起始永久成形-太阳能硅熔化的制造材料的使用。

3. 发明公开

EP1516864A2 Verfahren für die Herstellung eines Gussteils aus einem Kompositwerkstoff sowie Gussteil aus keramischen oder glasigem Kompositwerkstoff 审中-公开
标题翻译：一种用于由复合材料制造铸件和由陶瓷或玻璃复合铸造方法
公开(公告)号：EP1516864A2
公开(公告)日：2005-03-23
申请号：EP04021504.8
申请日：2004-09-10
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Werdecker, Waltraud , Fischer, Gero , Kirst, Ulrich , Trommer, Martin
IPC分类号： C04B35/622 , C03B19/06
CPC分类号： C03C14/004 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03C3/06 , C03C2203/20 , C03C2203/34 , C03C2204/06
摘要： Es ist ein Verfahren für die Herstellung eines Gussteils aus einem Kompositwerkstoff durch Schlickergießen bekannt, umfassend das Bereitstellen eines Kompositschlickers, der Werkstoffteilchen im Größenbereich unterhalb von 10 µm sowie Werkstoffkörnung im Größenbereich oberhalb von 10 µm enthält, Homogenisieren des Kompositschlickers, Gießen des Kompositschlickers in eine Form unter Bildung eines Blaukörpers, Trocknen des Blaukörpers unter Bildung eines porösen Grünkörpers, und thermische Verfestigung des Grünkörpers. Um hiervon ausgehend die mit der Trockenschwindung einhergehenden Nachteile zu verringern, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass der Kompositschlicker mit einem Feststoffgehalt von mindestens 80 Gew.-% in eine Form gegossen wird, welche eine für die Flüssigkeit undurchlässige Formwandung aufweist, wobei der Kompositschlicker nach dem Gießen unter Bildung eines gefrorenen Blaukörpers auf eine Kühltemperatur unterhalb des Gefrierpunktes der Flüssigkeit abgekühlt wird, und wobei das Trocknen ein Erwärmen des gefrorenen Blaukörpers auf eine Heiztemperatur unterhalb der Siedetemperatur der Flüssigkeit umfasst. Ein nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Gussteil zeichnet sich durch eine homogene Poren- und Dichteverteilung sowie eine hohe Festigkeit aus.
摘要翻译：它是用于通过滑动从复合制造铸件铸造已知的方法，包括包括提供Kompositschlickers，在尺寸范围小于10微米的材料的颗粒，和材料晶粒尺寸的尺寸范围高于10微米，均质该Kompositschlickers，铸造Kompositschlickers的形式以形成蓝色体，干燥该蓝体形成多孔生坯，和生坯体的热固结。向该基础，以减少与干燥收缩缺点相关的问题，本发明提出的是，Kompositschlicker倾用在具有不渗透的液体的模具壁的形状的至少80重量％的固体含量，其中，所述Kompositschlicker铸造后被冷却以形成冷冻体蓝到液体的凝固点以下的冷却温度，并且其中所述干燥包括冷冻蓝色体加热至该液体的沸点以下的加热温度。通过新方法生产的铸件是由均一孔径和密度分布和高的强度区分开。

4. 发明公开

EP1327612A1 Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung desselben 有权
标题翻译：用于光学元件相同的石英玻璃坯料，以及制造和使用的方法的
公开(公告)号：EP1327612A1
公开(公告)日：2003-07-16
申请号：EP02027124.3
申请日：2002-12-04
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Kühn, Bodo , Uebbing, Bruno, Dr. , Trommer, Martin, Dr. , Ochs, Stefan, Dr. , Fischer, Gero , Holst, Ulla, Dr.
IPC分类号： C03C3/06 , C03C4/00 , C03B19/14
CPC分类号： C03B19/1469 , C03B19/1415 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C3/06 , C03C4/0071 , C03C4/0085 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , C03C2203/54 , Y02P40/57
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil zur Übertragung ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm und kürzer sowie dessen Verwendung für den Einsatz in der Mikrolithographie in Verbindung mit ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm und kürzer. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung des Quarzglasrohlings.
Ein derartiger Quarzglasrohling soll eine geringe induzierte Absorption aufweisen und gleichzeitig hinsichtlich Kompaktierung und Dekompaktierung optimiert sein. Der erfindungsgemäße Quarzglasrohling weist folgende Eigenschaften auf:

eine Glasstruktur im wesentlichen ohne Sauerstoffdefektstellen,
einen H 2 -Gehalt im Bereich von 0,1 x 10 16 Molekülen/cm 3 bis 4 , 0 x 10 16 Molekülen/cm 3 , einen OH-Gehalt im Bereich von 125 Gew-ppm bis 450 Gew-ppm,
einen Gehalt an SiH-Gruppen von weniger als 5 x 10 16 Moleküle/cm 3 ,
eine Inhomogenität im Brechungsindex Δn von weniger als 2 ppm und
eine Spannungsdoppelbrechung von weniger als 2 nm/cm.

Für die erfindungsgemäße Verwendung genügt der Quarzglasrohling hinsichtlich des OH-Gehalts C OH sowie des minimalen und maximalen Wasserstoffgehalts C H2min bzw. C H2max , den Bemessungsregeln (2), (3) und (4), wobei P für die Pulszahl und ε für die Energiedichte steht: C OH [Gew-ppm] = 1700 · ε [mJ/cm 2 ] 0,4 ± 50 C H2min [Moleküle/cm 3 ] = 1 x 10 6 ε 2 P C H2max [Moleküle/cm 3 ] = 2 x 10 18 ε
Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass ein Mischquarzglas aus einem ersten und einem zweiten Quarzglas durch miteinander Vermischen der beiden Quarzgläser hergestellt wird.
摘要翻译：用于与为250nm或更短波长的紫外线辐射的透射光学部件的石英玻璃坯件具有玻璃结构，它是自由的氧缺陷位点，0.1×10功率16-4x10功率16个分子/ cm 3，羟基的125基团的含量的氢含量 -450重量ppm，氢化硅小于5×10 16分子功率/立方厘米，折射率不均匀性，-Delta N，小于2ppm的，和小于2纳米/厘米应力双折射的基团的含量。因此独立claimsoft包括用于为石英玻璃坯料的制造，其包括通过混合第一和第二石英玻璃，其是通过火焰水解制产生具有从125至450重量ppm的平均OH含量的混合的石英玻璃的过程含硅化合物的，所述第一和第二石英玻璃不同在其OH-内容。

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