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1. 发明授权

EP2070886B1 Verfahren zum Verbinden von Bauteilen aus hochkieselsäurehaltigen Werkstoffen 有权
标题翻译：由高硅质材料用于接合组件的方法
公开(公告)号：EP2070886B1
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：EP08020935.6
申请日：2008-12-03
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Werdecker, Waltraud , Weber, Jürgen , Traeger, Norbert , Kara, Maximilian , Horn, Roland, Dr.
IPC分类号： C03C27/06 , C03C8/24 , C03C27/10
CPC分类号： C03C27/06

2. 发明公开

EP2263981A3 Verfahren zur Herstellung eines Quarzglasbauteils 有权
标题翻译：一种用于制造石英玻璃元件的方法
公开(公告)号：EP2263981A3
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：EP10182969.5
申请日：2005-08-23
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Kirst, Ulrich , Stang, Wolfgang , Weber, Juergen , Werdecker, Waltraud , Trommer, Martin , Becker, Joerg
IPC分类号： C03C17/02 , C03C17/25 , C03B19/02 , C03B19/06 , C03B20/00
CPC分类号： C03C17/25 , C03B19/066 , C03C17/02 , C03C2217/213 , Y10T428/26
摘要： Es sind Verfahren zur Herstellung eines Bauteils aus Quarzglas bekannt, bei denen ein Schlicker aus SiO 2 -Teilchen und einer Flüssigkeit erzeugt, daraus durch Formgießen und Trocknen ein poröser Grünkörper gebildet und dieser durch Sintern vollständig oder teilweise verdichtet wird. Um hiervon ausgehend ein Verfahren anzugeben, für die Herstellung eines Quarzglas-Bauteils anzugeben, das eine transparente SiO 2 -Schicht mit besonders großer Dicke aufweist, die im Extremfall die gesamte Wandstärke des Quarzglas-Bauteils umfasst, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die SiO 2 -Teilchen amorph sind, durch Nassmahlen von SiO 2 -Ausgangskörnung in der Flüssigkeit hergestellt werden, und beim Formgießen Teilchengrößen im Bereich bis maximal 500 µm aufweisen, wobei SiO 2 -Teilchen mit Teilchengrößen im Bereich zwischen 1 µm und 50 µm den größten Volumenanteil ausmachen, und dass der Grünkörper durch Erhitzen in einer Wasserstoff enthaltenden Atmosphäre verdichtet wird.

3. 发明公开

EP1148035A3 Verfahren zur Herstellung eines Bauteils aus opakem, synthetischen Quarzglas sowie nach dem Verfahren hergestelltes Quarzglasrohr 审中-公开
标题翻译：由不透明的合成石英玻璃和石英玻璃管的用于制造部件的方法，根据该方法制造的
公开(公告)号：EP1148035A3
公开(公告)日：2003-12-10
申请号：EP01108924.0
申请日：2001-04-10
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Gertig, Udo , Werdecker, Waltraud , Leist, Johann , Leber, Helmut
IPC分类号： C03B19/09 , C03B23/047 , C03C3/06 , C03C11/00
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/09 , C03B19/095 , C03B23/047 , C03B23/0496 , C03C11/00 , C03C2201/32 , C03C2201/50 , C03C2201/80 , C03C2204/06 , Y10T428/131 , Y10T428/1317 , Y10T428/139 , Y10T428/1393
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Bauteils aus opakem, synthetischen Quarzglas und ein nach dem Verfahren hergestelltes Quarzglasrohr. Um die kostengünstige Herstellung von Bauteilen, insbesondere von dünnwandigen Rohren oder Rohrteilen aus opakem Quarzglas hoher chemischer Reinheit und hoher Maßhaltigkeit zu ermöglichen wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, ein Ausgangsmaterials bereitzustellen in Form eines Granulats aus synthetischem, hochreinem SiO 2 , das aus mindestens teilweise porösen Agglomeraten von SiO 2 -Primärteilchen gebildet ist und das eine Stampfdichte von mindestens 0,8 g/cm 3 aufweist, das Granulats in eine Form einzubringen und zu einer Vorform aus opakem Quarzglas zu erschmelzen und die Vorform in einem Heißumformprozess unter Bildung des Bauteils aus opakem Quarzglas umzuformen. Ein nach dem Verfahren hergestelltes Quarzglasrohr, das insbesondere zur Verwendung bei der Halbleiterfabrikation geeignet ist, zeichnet sich dadurch aus, dass es aus Quarzglas besteht, das aus einem Granulat aus synthetischem SiO 2 mit einem Lithium-Gehalt von maximal 100 Gew.-ppb hergestellt ist, und dass es eine Wandstärke im Bereich von 0,5 bis 15 mm aufweist.

4. 发明授权

EP1110917B1 Verfahren für die Herstellung von opakem Quarzglas und nach dem Verfahren hergestelltes opakes Bauteil 有权
标题翻译：一种用于生产不透明石英玻璃的过程以及通过该方法不透明组件制造
公开(公告)号：EP1110917B1
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：EP00127401.8
申请日：2000-12-14
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Werdecker, Waltraud , Leist, Johann , Fabian, Heinz , Uebbing, Bruno, Dr. , Rosin, Erich , Göbel, Rolf
IPC分类号： C03B19/09 , C30B31/10 , C03C3/06 , C03C11/00 , C30B25/08
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/09 , C03B19/095 , C30B31/10 , C30B35/002

5. 发明公开

EP1245703A1 Verfahren für die Herstellung eines Komposit-Werkstoffs mit einem SIO2-Gehalt von mindestens 99 Gew.-%, nach dem Verfahren erhaltener Komposit-Werkstoff und Verwendung desselben 审中-公开
标题翻译：一种用于具有至少99重量％的SiO 2含量的复合材料的制备方法.-％
公开(公告)号：EP1245703A1
公开(公告)日：2002-10-02
申请号：EP02006082.8
申请日：2002-03-18
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Werdecker, Waltraud , Gertig, Udo , Leist, Johann , Köppler, Rainer
IPC分类号： C30B35/00 , C04B35/14 , C03C3/06 , C03B19/06
CPC分类号： C04B35/653 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B19/12 , C03B20/00 , C03C3/06 , C03C14/004 , C03C2201/02 , C04B35/14 , Y10S977/775 , Y10S977/776 , Y10S977/90
摘要： Es ist ein Verfahren für die Herstellung eines Komposit-Werkstoffs mit einer SiO 2 haltigen Matrix in der eine Quarzglaskörnung eingebettet ist, bekannt, bei welchem eine Suspension aus einer Teilchenmischung aus feinteiligem, mindestens zwei unterschiedliche Teilchenfraktionen aufweisenden SiO 2 -Pulver und der Quarzglaskörnung hergestellt wird, daraus ein Grünkörper geformt und dieser gesintert wird. Um hiervon eine kostengünstige Herstellung eines Komposit-Werkstoffs mit hoher Temperaturwechselbeständigkeit bei gleichzeitig hoher Dichte zu ermöglichen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die Matrix einen SiO 2 -Gehalt von mindestens 99 Gew.-% aufweist und aus mindestens einer ersten (33) und einer zweiten (35) Teilchenfraktion, die jeweils als Granulate nanoskaliger, amorpher, synthetisch erzeugter SiO 2 -Primärteilchen (2) mit einer mittleren Primärteilchengröße von weniger als 100 nm vorliegen, gebildet wird. Der nach dem Verfahren hergestellte Komposit-Werkstoff, zeichnet sich durch eine SiO 2 -haltige Matrix aus, die einen SiO 2 -Gehalt von mindestens 99 Gew.-% aufweist. Er ist für Anwendungen, bei denen es auf Temperaturfestigkeit, Dichtheit und hohe Reinheit ankommt besonders geeignet, wie zum Beispiel als Ausgangsmaterial für die Herstellung einer Kokille zum Schmelzen von Solarsilizium.
摘要翻译：生产具有在其中的石英玻璃结晶化被嵌入在二氧化硅基质中的高二氧化硅含量的复合材料包括产生的悬浮液具有两个不同颗粒部分和石英玻璃结晶细颗粒的二氧化硅粉末的混合物，模制所述的悬浮液，以形成坯体和烧结生坯。基质具有以至少99重量％的二氧化硅含量以及从形成至少一个第一和一个第二颗粒组分存在的纳米级的颗粒，无定形的，合成产生的具有小于100nm的平均初级粒径的二氧化硅的一次粒子因此..独立权利要求中包括了以下内容：（A）通过上述方法生产出的复合材料具有至少99重量％的二氧化硅含量的矩阵; 和（b）使用的复合材料的作为生产用于熔化硅太阳能模具的起始材料。优选的特点：该二氧化硅一次颗粒通过含硅起始化合物的火焰水解制备。

6. 发明授权

EP2263981B1 Verfahren zur Herstellung eines Quarzglasbauteils 有权
标题翻译：一种用于制造石英玻璃元件的方法
公开(公告)号：EP2263981B1
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：EP10182969.5
申请日：2005-08-23
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Kirst, Ulrich , Stang, Wolfgang , Weber, Juergen , Werdecker, Waltraud , Trommer, Martin , Becker, Joerg
IPC分类号： C03C17/02 , C03C17/25 , C03B19/02 , C03B19/06 , C03B20/00
CPC分类号： C03C17/25 , C03B19/066 , C03C17/02 , C03C2217/213 , Y10T428/26

7. 发明公开

EP2263981A2 Verfahren zur Herstellung eines Quarzglasbauteils 有权
标题翻译：韦尔法罕zur Herstellung eines Quarzglasbauteils
公开(公告)号：EP2263981A2
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：EP10182969.5
申请日：2005-08-23
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Kirst, Ulrich , Stang, Wolfgang , Weber, Juergen , Werdecker, Waltraud , Trommer, Martin , Becker, Joerg
IPC分类号： C03C17/02 , C03C17/25 , C03C17/00
CPC分类号： C03C17/25 , C03B19/066 , C03C17/02 , C03C2217/213 , Y10T428/26
摘要： Es sind Verfahren zur Herstellung eines Bauteils aus Quarzglas bekannt, bei denen ein Schlicker aus SiO 2 -Teilchen und einer Flüssigkeit erzeugt, daraus durch Formgießen und Trocknen ein poröser Grünkörper gebildet und dieser durch Sintern vollständig oder teilweise verdichtet wird. Um hiervon ausgehend ein Verfahren anzugeben, für die Herstellung eines Quarzglas-Bauteils anzugeben, das eine transparente SiO 2 -Schicht mit besonders großer Dicke aufweist, die im Extremfall die gesamte Wandstärke des Quarzglas-Bauteils umfasst, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die SiO 2 -Teilchen amorph sind, durch Nassmahlen von SiO 2 -Ausgangskörnung in der Flüssigkeit hergestellt werden, und beim Formgießen Teilchengrößen im Bereich bis maximal 500 µm aufweisen, wobei SiO 2 -Teilchen mit Teilchengrößen im Bereich zwischen 1 µm und 50 µm den größten Volumenanteil ausmachen, und dass der Grünkörper durch Erhitzen in einer Wasserstoff enthaltenden Atmosphäre verdichtet wird.
摘要翻译：在制造用于半导体制造的石英玻璃组分的方法中，石英玻璃基板涂有含有非晶SiO 2颗粒的滑移物，并且在施加具有与基板的性质不同的SiO 2玻璃物料之前上光。 SiO 2颗粒在500μm的范围内，大多数颗粒在1μm至50μm之间，并通过研磨作用产生。在氢气下在1100℃至1400℃的温度范围内通过激光加热将浆料釉上，然后进行火焰干燥。

8. 发明公开

EP2070886A1 Verfahren zum Verbinden von Bauteilen aus hochkieselsäurehaltigen Werkstoffen 有权
标题翻译：维尔法赫森zum Verbinden von Bauteilen aushochkieselsäurehaltigenWerkstoffen
公开(公告)号：EP2070886A1
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：EP08020935.6
申请日：2008-12-03
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Werdecker, Waltraud , Weber, Jürgen , Traeger, Norbert , Kara, Maximilian , Horn, Roland, Dr.
IPC分类号： C03C27/06 , C03C8/24 , C03C27/10
CPC分类号： C03C27/06
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verbinden von Bauteilen aus hochkieselsäurehaltigem Werkstoff durch stoffschlüssiges Fügen, indem zwischen den Verbindungsflächen der Bauteile eine hochkieselsäurehaltige Verbindungsmasse ausgebildet wird. Es wird ein Verfahren angegeben, das eine kostengünstige Herstellung eines mechanisch und thermisch stabilen Verbundes von Bauteilen aus hochkieselsäurehaltigem Werkstoff ermöglicht, insbesondere für großflächige Fügeverbindungen, für die ein Anpressdruck beim Fixieren der Verbindungsflächen von > 5 N/cm 2 aufgebracht wird und/oder die Weglänge für eventuelle Ausgasprodukte aus der Fügeverbindung > 150 mm beträgt. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die SiO 2 -Verbindungsmasse entweder von Anfang an in trockener Form eingesetzt wird oder zumindest die SiO 2 -Verbindungsmasse auf den Verbindungsflächen vor dem Zusammenfügen getrocknet wird und daran anschließend die zu verbindenden Flächen in Kontakt gebracht werden und durch Erhitzen unter Bildung einer SiO 2 -haltigen Verbindungsmasse ein fester Verbund entsteht.
摘要翻译：通过整体接合来连接具有高含量硅酸的石英玻璃组分的方法包括在组分的连接表面之间形成含有高含量硅酸的连接物质（24,25），将干燥形式或干燥的连接物质引入在连接前的连接面上的连接质量，连接要连接的表面，并在形成包含二氧化硅（99.9重量％）的连接质量的情况下通过加热形成固体化合物。连接质量使用二氧化硅水溶液。通过整体接合来连接具有高含量硅酸的石英玻璃组分的方法包括在组分的连接表面之间形成含有高含量硅酸的连接物质（24,25），将干燥形式或干燥的连接物质引入在连接前的连接面上的连接质量，连接要连接的表面，并在形成包含二氧化硅（99.9重量％）的连接质量的情况下通过加热形成固体化合物。连接质量使用二氧化硅水溶液。无定形二氧化硅颗粒的平均粒径为1μm。滑动剂的固含量为83重量％。干石英玻璃颗粒和/或石英玻璃颗粒用作连接质量，平均粒径为10-40μm。连接质量包括附加的中间层，其通过洒石英玻璃颗粒和/或石英玻璃颗粒施加在连接表面上存在的连接质量上。烧结过程包括在形成部分不透明的，凝固的连接质量的情况下，在800-1450℃干燥连接质量的温度处理。

9. 发明授权

EP1076043B1 Verfahren für die Herstellung dichter Quarzglas-Körnung 有权
标题翻译：一种用于生产致密石英颗粒的过程
公开(公告)号：EP1076043B1
公开(公告)日：2004-07-14
申请号：EP00116514.1
申请日：2000-07-31
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Gerhardt, Rolf , Köppler, Rainer, Dr. , Ponto, Werner , Werdecker, Waltraud
IPC分类号： C03B19/10
CPC分类号： C03B19/102

10. 发明公开

EP1076043A3 Verfahren für die Herstellung dichter Quarzglas-Körnung 有权
标题翻译： Herstellung dichter Quarzglas-Körnung的Verfahrenfür死亡
公开(公告)号：EP1076043A3
公开(公告)日：2001-10-24
申请号：EP00116514.1
申请日：2000-07-31
申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人： Gerhardt, Rolf , Köppler, Rainer, Dr. , Ponto, Werner , Werdecker, Waltraud
IPC分类号： C03B19/10
CPC分类号： C03B19/102
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren für die Herstellung von dichter, amorpher Quarzglas-Körnung, durch Erzeugen eines porösen Granulats aus amorphem SiO 2 -Pulver und Verglasen des Granulats, wobei erfindungsgemäß ein poröses SiO 2 -Granulat einer Brenngasflamme ausgesetzt, darin fein verteilt, erhitzt und verglast wird. Die Brenngasflamme ist hinsichtlich der Temperatureinstellung flexibler als die bei den bekannten Verfahren. Insbesondere sind mit der Brenngasflamme höhere Temperaturen einstellbar. Dabei kann das Granulat sehr hohen Sintertemperaturen in der Brenngasflamme ausgesetzt werden, ohne daß es zu Agglomeraten zusammensintert. Gleichzeitig werden Probleme hinsichtlich der Hitzebeständigkeit von eingesetzten Sinterbehältern, wie Öfen oder Tiegeln, umgangen. Darüberhinaus ist eine Verunreinigung des SiO 2 -Granulats durch Kontakt mit Wandungen eines Sinter- oder Verglasungsbehälters ausgeschlossen. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren kann auf kostengünstige Weise eine hochreine, dichte Quarzglas-Körnung hergestellt werden.
摘要翻译：厚无定形石英玻璃颗粒的生产包括制造由无定形SiO 2粉末制成的多孔颗粒，并且在分散在燃料气体火焰中之后使颗粒玻璃化。优选特征：将颗粒滴入燃料气体火焰中，或通过气流引入。将火焰调节至1600-2500℃，优选2000-2500℃。

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