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    • 6. 发明公开
    • Spektralanalytische Einheit mit einem Beugungsgitter
    • Einheit mit einem Beugungsgitter的Spektralanalytische
    • EP1845349A1
    • 2007-10-17
    • EP07007384.6
    • 2007-04-11
    • Carl Zeiss MicroImaging GmbH
    • Dobschal, Hans-JürgenWolleschensky, RalfBathe, WolfgangSteinert, Jörg
    • G01J3/18G01J3/24G02B21/00
    • G02B21/0064G01J3/02G01J3/0208G01J3/021G01J3/0259G01J3/1804G02B21/16
    • Die Erfindung betrifft eine spektralanalytische Einheit mit einem Beugungsgitter, bei der ein paralleles Lichtbündel (10), welches einen Wellenlängenbereich aufweist, auf ein Beugungsgitter (1) einfällt, welches die unterschiedlichen Wellenlängen durch Beugung in erste Richtungen spektral aufspaltet, wobei diese Lichtbündel als Lichtbündel 1.-Beugungsordnung ohne Umlauf (11) bezeichnet werden, und das Beugungsgitter (1) Lichtbündel in eine zweite Richtung lenkt, wobei dieses Lichtbündel als Lichtbündel 0.-Beugungsordnung ohne Umlauf (12) bezeichnet wird, weiterhin Wellenlängenteilbereiche des spektral aufgespalteten Lichtbündels 1.-Beugungsordnung ohne Umlauf (11) durch eine Optik (2) auf eine Detektorzeile (3) fokussierbar sind und eine Auswerteelektronik (9) an die Detektorzeile (8) angeschlossen ist, welche das erzeugte Spektrum als Information gewinnt und darstellt.
      Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß das Lichtbündel 0.-Beugungsordnung ohne Umlauf (12) auf eine Umlenkeinrichtung (Umlenkspiegel 4, 5, 6) trifft, die so ausgerichtet und positioniert ist, daß dieses Lichtbündel auf das Beugungsgitter (1) einfällt und ein Lichtbündel 1.-Beugungsordnung aus einem ersten Umlauf (13) und ein Lichtbündel 0.-Beugungsordnung aus den ersten Umlauf (14) erzeugbar sind, wobei das Lichtbündel 1.-Beugungsordnung ohne Umlauf (11) und das Lichtbündel 1.-Beugungsordnung aus dem ersten Umlauf (13) jeweils eines Wellenlängenteilbereiches durch die Optik (2) auf jeweils ein Einzelelement (7) der Detektorzeile (8) abbildbar sind.
    • 该单元具有衍射光栅(1)和没有循环(12)的光束0衍射级,其在偏转装置上撞击,其中该装置以使得光束落在光栅上的方式对准和定位,并且光 产生来自循环(13)的束1衍射级和来自循环(14)的光束0衍射级。 通过透镜(2)在检测器线的各个单独的单元上形成没有循环(11)的光束1-折射顺序和来自循环的光束1 - 衍射顺序。
    • 9. 发明公开
    • Verfahren und Anordnung zur optischen Erfassung einer beleuchteten Probe
    • 用于照射的样品的深度分辨的光学检测方法和装置
    • EP2042906A1
    • 2009-04-01
    • EP08016423.9
    • 2008-09-18
    • Carl Zeiss MicroImaging GmbH
    • Wolleschensky, RalfKempe, Michael
    • G02B21/06G02B21/00
    • G02B21/0048G02B21/0044G02B21/0068G02B21/008
    • Anordnung zur optischen Erfassung einer Probe (29),
      wobei die Probe oder mindestens ein Probenteil mittels linienförmiger Beleuchtung durch Scanmittel (9,11) gescannt wird,
      Mittel zur linienförmigen Strahlformung (7) des Beleuchtungslichtes vorgesehen sind
      und das Beleuchtungslicht eine vorzugsweise periodische Struktur in mindestes einer Raumrichtung aufweist, indem im Beleuchtungsstrahlengang Mittel (13) zur Erzeugung der Struktur vorgesehen sind,
      von der Probe kommendes Licht detektiert und daraus Bilder der Probe erzeugt werden,
      aus den Bildern mindestens ein optisches Schnittbild durch die Probe und/ oder ein Bild mit erhöhter Auflösung berechnet wird
      und in Richtung der Beleuchtung die Mittel (13) zur Erzeugung der Struktur den Scanmitteln (9,11) nachgeordnet sind.
    • 该装置具有扫描仪(9)扫描样品(29)或样品的一部分。 的线形成光学器件(7)被设置用于照明光的线状光束形成。 灯在空间的方向上表现出的周期性结构,用于制造结构的掩模(13)在照明光束路径提供英寸光出来从被检测样品,并且样品的图像被产生的。 通过样品和/或具有增加的分辨率的图像的光学截面图像从图像估计。 掩模是从属于扫描器在给照明方向。 因此独立claimsoft包括用于光学检测的样品的方法。
    • 10. 发明公开
    • Auflösungsgesteigerte Lumineszenz-Mikroskopie
    • 激光扫描-Mikroskop
    • EP1944600A2
    • 2008-07-16
    • EP08007103.8
    • 2006-07-21
    • Carl Zeiss MicroImaging GmbHCarl-Zeiss Jena GmbH
    • Wolleschensky, RalfKempe, Michael
    • G01N21/64G02B21/00
    • G02B21/0076G01N21/6458
    • Es wird ein Lumineszenz-Mikroskopieverfahren beschrieben, bei dem eine Probe (24) durch Anregungsstrahlung (A) zu Emission von bestimmter Lumineszenzstrahlung (F) angeregt wird, wobei die lumineszierende Probe (24) aus einem ersten Lumineszenz-Zustand (5), in dem die Anregbarkeit mit steigender Anregungsstrahlungsleistung bis zu einem Maximalwert (18), welcher einem Anregungsstrahlungsteistungs-Schweilwerl (19) zugeordnet ist, steigt, in einen zweiten Lumineszenz-Zustand (6) überführbar ist, in dem die Probe (24) gegenüber dem ersten Zustand (5) verminderte Anregbarkeit aufweist, wobei die Probe (24) durch Einstrahlung von Anregungsstrahlungsleistung oberhalb des Schweilwertes (19) in den zweiten Zustand (6) bringbar ist, die Probe (24) in Teil-Bereichen in den ersten Zustand (5) und in angrenzenden Teil-Bereichen in den zweiten Zustand (6) versetzt wird, indem die Einstrahlung von Anregungsstrahlung (A) mit einer Anregungsstrahlungsverteitung erfolgt, die zumindest ein örtliches Leistungsmaximum über dem Schwellwert (19) aufweist, das Bild der lumineszierenden Probe (24) Proben-Bereiche im ersten Zustand (5) und Proben-Bereiche im zweiten Zustand (6) umfaßt, wodurch das Bild eine gegenüber der Anregungsstrahlungsverteilung gesteigerte Ortsauflösung hat. Es wird weiter bereitgestellt ein Laser-Scanning-Mikroskop mit einem Strahlteiler (113), über den von einer Beleuchtungsstrahlquelle (105) abgegebene Beleuchtungsstrahlung in einem Beleuchtungsstrahlengang (B) auf eine Probe (103) gerichtet ist, wobei der Strahlteiler (113) an der Probe (103) spiegelnd reflektierte Beleuchtungsstrahlung nicht zu einer Detektoreinrichtung (104) passieren läßt und dazu in einer Pupille des Beleuchtungsstrahlenganges (B) angeordnet sowie teilverspiegelt ist, indem er eine Strahlteilerfläche (122) aufweist, die zumindest an drei Punkten (123a-d) für die Beleuchtungsstrahlung verspiegelt ist, welche auf der Strahlteilerfläche (122) auf einem Kreis um den Durchstoßpunkt (125) der optischen Achse (OA) liegen, wodurch in der Probe (103) ein Interferenzmuster (128) in Form periodisch über die Probe (113) verteilter Beleuchtungsflecke (126) entsteht.
    • 该方法包括分别以两种状态移位样品的两个部分区域,同时用激发辐射分布发生激发辐射(A)的照射。 发光样品的图像分别具有两个状态的样品区域。 样本区域中的一个以样本的图像为准,使得图像具有相对于分布增强的局部分辨率。 对于样品的分辨率增强发光显微镜,还包括显微镜的独立权利要求。