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1. 发明授权

EP3255173B1 FLUIDTEMPERIERTER GASVERTEILER IN SCHICHTBAUWEISE 有权转让
公开(公告)号：EP3255173B1
公开(公告)日：2018-11-21
申请号：EP16173075.9
申请日：2016-06-06
申请人： Meyer Burger (Germany) AG
发明人： Pietzsch, Rocco , Ansorge, Erik, Dr. , Scheit, Uwe, Dr. , Frendel, Christian
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/45572 , C23C16/45574

2. 发明公开

EP3236492A1 VERFAHREN UND SYSTEM ZUR STEUERUNG EINER VORRICHTUNG ZUM GREIFEN ODER POSITIONIEREN VON AUF EINEM SUBSTRATTRÄGER ANGEORDNETEN SUBSTRATEN 审中-公开
标题翻译：用于控制设备以在基板载体上设置的抓取或定位基板的方法和系统
公开(公告)号：EP3236492A1
公开(公告)日：2017-10-25
申请号：EP16165811.7
申请日：2016-04-18
申请人： Meyer Burger (Germany) AG
发明人： Ansorge, Erik , Böhm, Christian , Raschke, Sebastian
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67248 , H01L21/681
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Steuerung einer Vorrichtung zum Greifen oder Positionieren von mindestens einem Substrat auf einem Substratträger. Der Substratträger besteht aus einem Material mit mindestens einem bekannten Ausdehnungskoeffizienten. Bei dem Verfahren wird zunächst bei einer bekannten ersten Temperatur des Substratträgers ein erstes Parameterset des Substratträgers bestehend Länge, Breite und/oder Höhe des Substratträgers sowie die relative Position eines Substratbezugspunktes auf dem Substratträger bezüglich eines Bezugspunktes des Substratträgers ermittelt. Nachfolgend wird ein zweites Parameterset aus Länge, Breite und/oder Höhe des Substratträgers bei einer unbekannten zweiten Temperatur des Substratträgers mit Hilfe von mindestens zwei Lasersensoren ermittelt, wobei zwei der Lasersensoren auf gegenüberliegenden Seiten des Substratträgers und auf einer Laserlinie angeordnet sind. Mit Hilfe des ermittelten zweiten Parametersets und des mindestens einen Ausdehnungskoeffizienten kann die genaue Position des Substratbezugspunktes auf dem an einer ersten Position positionierten Substratträger bei der unbekannten zweiten Temperatur ermittelt und die Vorrichtung zum Greifen oder Positionieren entsprechend gesteuert werden. Das erfindungsgemäße System zur Steuerung einer Vorrichtung zum Greifen oder Positionieren weist den Verfahrensschritten entsprechende Mittel auf.
摘要翻译：本发明涉及一种用于控制用于将至少一个衬底夹持或定位在衬底载体上的装置的方法。基材载体由具有至少一种已知膨胀系数的材料组成。在该方法中，第一组由长度，宽度和/或衬底载体的高度与基板支撑件的基板载体的一个参考点的在基板的基准点的相对位置的基片载体的参数相对于确定为首先在衬底支撑件的一个已知的第一温度。接着，第二组的长度，宽度和/或衬底支撑件的高度的参数在衬底支撑件与至少两个激光传感器的帮助下的未知的第二温度，其中，两个激光传感器定位在衬底载体的相对侧上并在激光线被确定。与所确定的第二参数集的助剂和至少一个膨胀系数，基板参考点的精确位置可以在在未知温度下的位于第一位置的衬底载具来确定，并且所述第二设备是用于夹持或定位相应地控制。根据本发明的用于控制用于抓取或定位的装置的系统包括对应于方法步骤的装置。

3. 发明公开

EP3223318A1 HETERO JUNCTION PHOTOVOLTAIC CELL AND METHOD OF MANUFACTURING SAME 审中-公开
标题翻译： HETERO JUNCTION光伏电池及其制造方法
公开(公告)号：EP3223318A1
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：EP16161877.2
申请日：2016-03-23
申请人： Meyer Burger (Germany) AG
发明人： Lachenal, Damien , Strahm, Benjamin , Legradic, Boris , Frammelsberger, Walter
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/0747
CPC分类号： H01L31/0747 , H01L31/022441 , Y02E10/50
摘要： The present invention relates to a hetero junction photovoltaic cell and to a method of manufacturing same, the photovoltaic cell comprising a crystalline semiconductor substrate of an n-type or a p-type, an amorphous intrinsic semiconductor layer formed on the full back side of the semiconductor substrate, an first type doped semiconductor layer structure formed locally on the amorphous intrinsic semiconductor layer, a second type doped semiconductor layer structure formed on the amorphous intrinsic semiconductor layer covering the first type doped semiconductor layer structure, and interdigitated nand p-type contacts for contacting the first and the second junction, respectively, on the back side of the photovoltaic cell. In the photovoltaic cell, the second type doped semiconductor layer structure covers the first type doped semiconductor layer structure in the region of the first junction, wherein a recombination layer structure is formed between the first type doped semiconductor layer structure and the second type doped layer structure and the contact for contacting the first junction is formed on the layer stack comprising the first type doped semiconductor layer structure, the recombination layer structure and the second type doped semiconductor layer structure.
摘要翻译：异质结光伏电池及其制造方法技术领域本发明涉及一种异质结光伏电池及其制造方法，该光伏电池包括n型或p型晶体半导体衬底，非晶本征半导体层形成在半导体衬底，在非晶本征半导体层上局部形成的第一类型掺杂半导体层结构，在覆盖第一类型掺杂半导体层结构的非晶本征半导体层上形成的第二类型掺杂半导体层结构以及用于分别在光伏电池的背面上接触第一接合部和第二接合部。在光伏电池中，第二型掺杂半导体层结构覆盖第一结区域中的第一型掺杂半导体层结构，其中在第一型掺杂半导体层结构与第二型掺杂层结构之间形成复合层结构并且用于接触第一结的触点形成在包括第一类型掺杂半导体层结构，复合层结构和第二类型掺杂半导体层结构的叠层上。

4. 发明公开

EP3043370A1 Vorrichtung zur Extraktion von elektrischen Ladungsträgern aus einem Ladungsträgererzeugungsraum sowie ein Verfahren zum Betreiben einer solchen Vorrichtung 审中-公开
标题翻译：装置，用于从载流子产生的空间，以及用于操作这种装置的方法电荷载流子的提取
公开(公告)号：EP3043370A1
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：EP15150613.6
申请日：2015-01-09
申请人： Meyer Burger (Germany) AG
发明人： Mai, Joachim , Luca, Alfonz, Dr. , Sarstedt, Margit, Dr.
IPC分类号： H01J27/02 , H01J37/08
CPC分类号： H01J27/024 , H01J37/08 , H01J2237/0656 , H01J2237/083
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Extraktion von elektrischen Ladungsträgern aus einem Ladungsträgererzeugungsraum mit mindestens einer Elektrodenanordnung 1a zur Extraktion von Ladungsträgern, wobei die mindestens eine Elektrodenanordnung mindestens eine erste Gitterelektrode und eine zweite Gitterelektrode mit korrespondierenden Öffnungen aufweist. Die erste und die zweite Gitterelektrode enthalten jeweils mindestens einen ersten elektrisch leitfähigen Gitterelektrodenbereich 110,210, wobei der mindestens eine erste Gitterelektrodenbereich 110a,b der ersten Gitterelektrode in einer ersten Lage 100 und der mindestens eine erste Gitterelektrodenbereich 210a,b der zweiten Gitterelektrode in einer zweiten Lage 200 ausgebildet sind. Die erste Lage und die zweite Lage sind innerhalb der Elektrodenanordnung in Teilchenaustrittsrichtung nacheinander angeordnet und voneinander durch einen ersten Abstand 300 entlang der Teilchenaustrittsrichtung beabstandet, wobei der mindestens eine erste Gitterelektrodenbereich 110a, b der ersten Gitterelektrode in der ersten Lage einen ersten elektrisch leitfähigen Lagenanteil 101 bildet. Darüber hinaus ist in der ersten Lage ein zweiter elektrisch leitfähiger Lagenanteil 102 ausgebildet, der elektrisch vom ersten Lagenanteil 101 isoliert ist. Der zweite Lagenanteil 102 wird durch mindestens einen zweiten elektrisch leitfähigen Gitterelektrodenbereich der ersten Gitterelektrode oder der zweiten Gitterelektrode gebildet und der zweite Lagenanteil 102 ist elektrisch leitend 301 mit dem mindestens einen ersten Gitterelektrodenbereich 210a,b der zweiten Gitterelektrode verbunden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Extraktion von Ladungsträgern stellt somit eine elektrisch schaltbare Extraktionsgitterelektrodenanordnung dar, mit deren Hilfe die Strahlcharakteristik eines Teilchenstrahls aus extrahierten Ladungsträgern verändert werden kann.
摘要翻译：本发明涉及一种用于从载流子产生空间电荷载流子的提取装置，包括至少一个电极组件，用于载流子的提取，其具有至少一个第一格栅电极和所述至少一个电极组件的第二栅极电极与对应孔口。第一和第二格栅电极各自包括至少一个第一导电栅电极区，worin第一栅极电极的所述至少一个第一栅极区在第一层上形成与所述第二的至少一个第一格栅电极区域栅格电极中的第二层被形成。所述第一层和第二层被布置成一个在另一个在电极组件内的颗粒出口方向后，并通过沿着所述颗粒出口方向上的第一距离，所述第一的所述至少一个第一栅极区隔开彼此栅电极形成在所述第一层的第一导电层部分。更上方，第二导电层部分在第一层中，所有这一切都被电气上与第一层部分绝缘形成。所述第二层部分由第一格栅电极或第二栅极电极和第二层部分的至少一个第二导电栅格电极区域地形成在导电的方式连接到所述第二的至少一个第一格栅电极区域栅格电极。用于gemäß发明载流子的提取用器件因此提供上电转换的引出栅电极组件，通过该提取的粒子束的粒子束特性载流子可以被修改。

5. 发明公开

EP3409812A1 GASVERSORGUNGSSYSTEM UND GASVERSORGUNGSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：EP3409812A1
公开(公告)日：2018-12-05
申请号：EP17173668.9
申请日：2017-05-31
申请人： Meyer Burger (Germany) AG
发明人： Löwel, Oliver , Fröhner, Marco , Böddicker, Alexander
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , B01B1/00
CPC分类号： C23C16/4485 , B01B1/005 , B01D1/0082 , B01D1/14 , C23C16/45512 , C23C16/45561
摘要： Die Erfindung betrifft ein Gasversorgungssystem mit einem Massenflusscontroller für Flüssigkeiten, Flüssigkeitsleitungen, einem Verdampfer zur Überführung eines Fluides von dem flüssigen in den gasförmigen Aggregatzustand insbesondere bei subatmosphärischen Druck, Gasleitungen, sowie einer Mischvorrichtung zur Mischung des Fluides mit einem Trägergas sowie ein entsprechendes Gasversorgungsverfahren. Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Gasversorgungssystem vorzuschlagen, das lange Betriebszeiten zwischen Wartungsarbeiten sowie niedrige Wartungskosten ermöglicht. Die Aufgabe wird durch ein Gasversorgungssystem gelöst, bei welchem das Gasversorgungssystem in der Fluidflussrichtung zunächst den Massenflusscontroller, dann eine erste beheizbare Gasleitung, anschließend einen Verdampfer und die Mischvorrichtung aufweist.

6. 发明公开

EP3321973A1 KRISTALLINE SOLARZELLE MIT EINER TRANSPARENTEN, LEITFÄHIGEN SCHICHT ZWISCHEN DEN VORDERSEITENKONTAKTEN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SOLCHEN SOLARZELLE 有权转让
标题翻译：具有产生这样的太阳能电池的头版CONTACTS AND METHOD之间的透明导电层的晶体太阳能电池
公开(公告)号：EP3321973A1
公开(公告)日：2018-05-16
申请号：EP16197972.9
申请日：2016-11-09
申请人： Meyer Burger (Germany) AG
发明人： Sperlich, Hans-Peter , Erfurt, Gunter , Grosse, Thomas , Marcel, König
IPC分类号： H01L31/0216 , H01L31/068
CPC分类号： H01L31/02167 , H01L31/02168 , H01L31/068 , Y02E10/547
摘要： Die Erfindung betrifft eine mono- oder bifaziale kristalline Solarzelle, auf deren Vorderseite ganzflächig eine erste Oberflächenpassivierungsschicht direkt an der Halbleitergrenzfläche sowie darüber in ersten lateralen Bereichen ein erstes optisch intransparentes, elektrisch leitfähiges Material als Vorderseitenkontakt und ausschließlich in zweiten lateralen Bereichen ein erstes optisch transparentes, elektrisch leitfähiges Material angeordnet sind. Das erste optisch transparente, elektrisch leitfähige Material ist dabei elektrisch leitend mit dem Vorderseitenkontakt und mit einem ersten Bereich des Halbleitermaterials der Solarzelle verbunden. Das erfindungsgemäße Verfahren sieht das Aufbringen des ersten optisch transparenten, elektrisch leitfähigen Materials erst nach dem Aufbringen des ersten optisch intransparenten, elektrisch leitfähigen Materials vor, sodass ein Durchfeuern des Vorderseitenkontakts vermieden wird. Besonders vorteilhaft wird das erste optisch transparente, elektrisch leitfähige Material als dotiertes Metalloxid mittels PECVD und in der gleichen Anlage und ohne Unterbrechung des Vakuums unmittelbar vor dem Abscheiden einer ersten Antireflektionsschicht auf der Vorderseite der Solarzelle aufgebracht.
摘要翻译：本发明涉及一种在正面侧在整个区域直接的第一表面钝化膜的半导体界面上，并且也在第一横向区域，一第一光学非透明的导电材料作为前侧接触，并仅在第二侧部，第一光学透明的，电的单或双面的晶体太阳能电池导电材料被布置。第一光学透明导电材料与太阳能电池的正面接触部和半导体材料的第一区域导电连接。本发明的方法提供了一种用于在第一光学透明，导电材料仅在第一光学非透明的导电材料的涂布后的应用程序，以便通过一个烧制前接触得以避免。特别有利的是，第一光学透明的，导电的材料被应用作为通过PECVD掺杂的金属氧化物，并在相同的安装和不立即在太阳能电池的前侧上的沉积第一减反射层之前破坏真空。

7. 发明公开

EP3319112A1 VORRICHTUNG ZUR EXTRAKTION VON ELEKTRISCHEN LADUNGSTRÄGERN AUS EINEM LADUNGSTRÄGERERZEUGUNGSRAUM 审中-公开
标题翻译：从电荷载体发生室中提取电荷载体的装置
公开(公告)号：EP3319112A1
公开(公告)日：2018-05-09
申请号：EP16197531.3
申请日：2016-11-07
申请人： Meyer Burger (Germany) AG
发明人： Allenstein, Frank , Luca, Alfonz , Stober, Rico
IPC分类号： H01J37/305 , H01J37/04 , H01J37/08
CPC分类号： H01J37/305 , H01J37/04 , H01J37/08 , H01J2237/0206 , H01J2237/0213 , H01J2237/022 , H01J2237/083 , H01J2237/3151
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Extraktion von elektrischen Ladungsträgern aus einem Ladungsträgererzeugungsraum (2) mit einer ersten Elektrode (11), die mindestens eine Öffnung (111) zum Durchtritt der elektrischen Ladungsträger enthält, wobei die Öffnung in einer ersten Oberfläche (112) der ersten Elektrode einen ersten Flächeninhalt (A1) hat, der kleiner ist als ein zweiter Flächeninhalt (A2) der Öffnung in einer zweiten Oberfläche (113) der ersten Elektrode. Die erste Oberfläche ist dabei die dem Ladungsträgererzeugungsraum abgewandte Oberfläche der ersten Elektrode und die zweite Oberfläche ist die dem Ladungsträgererzeugungsraum zugewandte Oberfläche der ersten Elektrode. Die erste Elektrode ist mindestens in lateralen Bereichen angrenzend an die mindestens eine Öffnung elektrisch leitfähig und von allen Elektroden der Vorrichtung, die während des Betriebes der Vorrichtung der Beschleunigung von elektrischen Ladungsträgern aus dem Ladungsträgererzeugungsraum in Teilchenaustrittsrichtung dienen, diejenige Elektrode, die den geringsten Abstand zum Ladungsträgererzeugungsraum in Teilchenaustrittsrichtung aufweist.
摘要翻译：本发明涉及一种装置（1），用于将电荷载流子从载流子产生室，其具有第一电极（11）含有用于将电荷载流子的通道的至少一个开口（111）提取（2），其中在第一表面中的开口（112 ）具有小于第一电极的第二表面（113）中的开口的第二面积（A2）的第一面积（A1）。第一表面是第一电极的背离电荷载流子生成空间的表面，并且第二表面是第一电极的面对电荷载流子生成空间的表面。所述第一电极至少在邻近所述至少一个开口导电的，并且所述装置，其从电荷载流子产生空间电荷载流子的加速度的装置的操作期间服务于Teilchenaustrittsrichtung的所有电极的横向区域，即电极的最靠近的电荷载流子产生区具有粒子出口方向。

8. 发明公开

EP3309815A1 PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG MIT ZWEI, MITEINANDER GEKOPPELTEN MIKROWELLENPLASMAQUELLEN SOWIE VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER SOLCHEN PLASMABEHANDLUNGSVORRICHTUNG 有权转让
标题翻译：带两个，一个用于操作这种等离子体处理设备的另一个耦合等离子体微波源和方法等离子体处理装置
公开(公告)号：EP3309815A1
公开(公告)日：2018-04-18
申请号：EP16193511.9
申请日：2016-10-12
申请人： Meyer Burger (Germany) AG
发明人： Mai, Joachim
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/46
CPC分类号： H01J37/32192 , H01J37/32229 , H05H2001/4607
摘要： Die Erfindung betrifft eine Plasmabehandlungsvorrichtung mit einer Behandlungskammer, mindestens einem Paar von Mikrowellenplasmaquellen und mindestens einer Spannungsquelle. Jedes Paar von Mikrowellenplasmaquellen besteht aus einer ersten Mikrowellenplasmaquelle und einer zweiten Mikrowellenplasmaquelle, wobei die erste und die zweite Mikrowellenplasmaquelle jeweils eine Plasmaquellenwandung und innerhalb dieser eine Mikrowelleneinkoppelvorrichtung und eine Plasmaelektrode aufweisen. Die erste und die zweite Mikrowellenplasmaquelle sind innerhalb der Behandlungskammer auf derselben Seite eines oder mehrerer zu bearbeitenden Substrate und benachbart zueinander angeordnet. Die Plasmaelektroden der ersten Mikrowellenplasmaquelle und der zweiten Mikrowellenplasmaquelle sind elektrisch voneinander isoliert und elektrisch leitend mit der mindestens einen Spannungsquelle verbunden. Dabei ist die mindestens eine Spannungsquelle geeignet, die Plasmaelektroden der ersten und der zweiten Mikrowellenplasmaquelle mit unterschiedlichen Potentialen zu beaufschlagen. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Betreiben einer solchen Plasmabehandlungsvorrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种等离子体处理设备，其具有处理室，至少一对微波等离子体源和至少一个电压源。每对微波等离子体源包括第一微波等离子体源和第二微波等离子体源，其中，所述第一和第二微波等离子体源每个都具有Plasmaquellenwandung和内这些具有Mikrowelleneinkoppelvorrichtung和等离子体电极。第一微波等离子体源和第二微波等离子体源设置在处理室内，位于一个或多个待处理基板的同一侧并且彼此相邻。第一微波等离子体源的等离子体电极和第二微波等离子体源彼此电隔离并电连接到至少一个电压源。在这种情况下，至少一个电压源适合于将不同的电位施加到第一和第二微波等离子体源的等离子体电极。本发明还涉及用于操作这种等离子体处理装置的方法。

9. 发明公开

EP3255173A1 FLUIDTEMPERIERTER GASVERTEILER IN SCHICHTBAUWEISE 有权转让
标题翻译：流化床气体分布器在层设计中
公开(公告)号：EP3255173A1
公开(公告)日：2017-12-13
申请号：EP16173075.9
申请日：2016-06-06
申请人： Meyer Burger (Germany) AG
发明人： Pietzsch, Rocco , Ansorge, Erik, Dr. , Scheit, Uwe, Dr. , Frendel, Christian
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/45572 , C23C16/45574
摘要： Die Erfindung betrifft einen Gasverteiler zum Einlassen und Verteilen von mindestens einem Gas in einen Bearbeitungsraum sowie ein Verfahren zur Herstellung dieses Gasverteilers. Der Gasverteiler weist eine Bodenplatte, eine Temperierplatte und eine Deckplatte auf, die gasdicht miteinander durch ein Fügeverfahren verbunden sind. Die Temperierplatte weist Temperierkanälen auf, die als voneinander durch Stege getrennte Durchbrüche ausgebildet sind und sich von einer ersten Seite der Temperierplatte bis zu einer zweiten Seite der Temperierplatte erstrecken. In den Stegen der Temperierplatte sind durchgehende Steglöcher ausgebildet, die mit Gasauslassöffnungen in der Bodenplatte und Gaseinlassöffnungen in der Deckplatte korrespondieren und Gaskanäle bilden. In der Deckplatte sind ein Temperierfluidverteiler und ein Temperierfluidsammler als Durchbrüche durch die Deckplatte ausgeführt. Ein Temperierfluid kann somit von einem auf der Deckplatte angeordneten Temperaturfluidzufuhranschluss durch den Temperierfluidverteiler in die Temperierkanäle und durch den Temperierfluidsammler in einen auf der Deckplatte angeordneten Temperaturfluidauslassanschluss strömen. Gemäß dem Verfahren werden zunächst die Temperierkanäle in der Temperierplatte und der Temperierfluidverteiler und Temperierfluidsammler in der Deckplatte ausgebildet und die Bodenplatte, die Temperierplatte und die Deckplatte gasdicht miteinander verbunden. Anschließend werden die Gaskanäle in einem gemeinsamen Verfahrensschritt erzeugt.
摘要翻译：本发明涉及用于将至少一种气体引入和分配到处理空间中的气体分配器以及用于生产这种气体分配器的方法。气体分配器具有通过接合方法彼此气密连接的底板，调温板和盖板。回火包括回火，单独的孔形成为彼此由纤维网和延伸至从所述回火的第一侧延伸的回火板的第二侧上。在温度控制连续卷材孔的纤维网形成的对应于在盖板和形成气体流路的基板和进气开口的气体排放口。在盖板上，Temperierfluidverteiler和Temperierfluidsammler被设计成通过盖板的开口。热处理因而可以从一个在设置在盖板Temperaturfluidauslassanschluss在冷却通道，并通过Temperierfluidsammler设置盖板温度的流体供给口通过所述Temperierfluidverteiler流动。根据该方法，首先形成在顶板和底板，所述温度控制和连接在一个以气密方式将盖板在回火和Temperierfluidverteiler和Temperierfluidsammler回火。随后，气体通道在通用工艺步骤中生成。

10. 发明授权

EP2849204B1 Plasmaerzeugungsvorrichtung 有权转让
公开(公告)号：EP2849204B1
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：EP13184184.3
申请日：2013-09-12
申请人： Meyer Burger (Germany) AG
发明人： Mai, Joachim
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32091 , H01J37/321 , H01J37/32669 , H01J37/32697

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