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1. 发明公开

EP2506282A1 RF MEMS crosspoint switch and crosspoint switch matrix comprising RF MEMS crosspoint switches 有权
标题翻译： RF-MEMS-Kreuzpunktschalter和Kreuzpunktschaltermatrix mit RF-MEMS-Kreuzpunktschaltern
公开(公告)号：EP2506282A1
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：EP11160016.9
申请日：2011-03-28
申请人： Delfmems
发明人： Pavageau, Christophe
IPC分类号： H01H59/00 , H01P1/12
CPC分类号： H01P1/15 , B81B5/00 , B81B2201/018 , H01H1/0036 , H01H1/20 , H01H59/0009 , H01H2001/0063 , H01H2001/0084 , H01H2059/0072 , H01P1/127 , H01P3/003
摘要： The RF MEMS crosspoint switch (1) comprising a first transmission (10) line and a second transmission line (11) that crosses the first transmission line ; the first transmission line (10) comprises two spaced-apart transmission line portions (100, 101), and a switch element (12) that permanently electrically connects the said two spaced-apart transmission line portions (100, 101) ; the second transmission line (11) crosses the first transmission line (10) between the two spaced-apart transmission line portions (100, 101); the RF MEMS crosspoint switch (1) further comprises actuation means (121) for actuating the switch element (12) at least between a first position, in which the switch element (12) is electrically connecting the said two spaced-apart transmission line portions (100, 101) of the first transmission line (10) and the first (10) and second (11) transmission lines are electrically disconnected, and a second position, in which the switch element (12) is electrically connecting the said two spaced-apart transmission line portions (100, 101) of the first transmission line (10) and is also electrically connecting the two transmission lines (10, 11) together.
摘要翻译： RF MEMS交叉点开关（1）包括穿过第一传输线的第一传输（10）线和第二传输线（11）; 第一传输线（10）包括两个间隔开的传输线部分（100,101）和永久地电连接所述两个间隔开的传输线部分（100,101）的开关元件（12）。所述第二传输线（11）穿过所述两个间隔开的传输线部分（100,101）之间的所述第一传输线（10）。 RF MEMS交叉点开关（1）还包括用于至少在第一位置之间致动开关元件（12）的致动装置（121），其中开关元件（12）将所述两个间隔开的传输线部分第一传输线路（10）和第一（10）和第二（11）传输线路的第一位置（100,101）被电断开;以及第二位置，其中开关元件（12）将所述两个间隔 - 所述第一传输线（10）的传输线路部分（100,101），并且还将所述两条传输线（10,11）电连接在一起。

2. 发明授权

EP2506282B1 RF MEMS crosspoint switch and crosspoint switch matrix comprising RF MEMS crosspoint switches 有权
标题翻译： RF MEMS交叉点开关和交叉点开关矩阵与RF MEMS交叉点开关
公开(公告)号：EP2506282B1
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：EP11160016.9
申请日：2011-03-28
申请人： Delfmems
发明人： Pavageau, Christophe
IPC分类号： H01H59/00 , H01P1/12
CPC分类号： H01P1/15 , B81B5/00 , B81B2201/018 , H01H1/0036 , H01H1/20 , H01H59/0009 , H01H2001/0063 , H01H2001/0084 , H01H2059/0072 , H01P1/127 , H01P3/003

3. 发明公开

EP3038125A1 Mems structure with multilayer membrane 审中-公开
标题翻译： MEMS-Struktur mit mehrschichtiger Membran
公开(公告)号：EP3038125A1
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：EP14307127.2
申请日：2014-12-22
申请人： DelfMEMS SAS
发明人： Robin, Renaud , Lorphelin, Nicolas , Segueni, Karim
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , B81B3/0086 , B81B2201/018 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C2201/0188 , H01H49/00 , H01H2059/0027 , H01H2059/0036 , H01H2227/004
摘要： The present invention relates to a method of manufacturing an MEMS device, in particular, an MEMS switch, comprising the steps of forming posts and a conduction (transmission) line over a substrate and forming a membrane over the posts and the conduction line comprising forming a first membrane layer and a second membrane layer over the first membrane layer in a region over one of the posts and/or a region over the conduction line such that the first membrane layer has a region where the second membrane layer is not formed adjacent to the region where the second membrane layer is formed. Moreover, it is provided an MEMS device, in particular, an MEMS switch, comprising posts and a conduction (transmission) line formed over a substrate and a membrane over the posts and the conduction line. The membrane comprises a first membrane layer and a second membrane layer formed over the first membrane layer in a region over one of the posts and/or a region over the conduction line such that the first membrane layer has a region where the second membrane layer is not formed adjacent to the region where the second membrane layer is formed.
摘要翻译：本发明涉及一种制造MEMS器件，特别是MEMS开关的方法，包括以下步骤：在衬底上形成柱和导电（透射）线，并在柱上形成膜，导线包括形成第一膜层和第二膜层之上的第一膜层和第二膜层上的第一膜层和第二膜层之间的区域，使得第一膜层具有不与第二膜层相邻的区域形成第二膜层的区域。此外，它提供了一种MEMS器件，特别是MEMS开关，其包括柱和形成在衬底上的导电（透射）线和在柱和导电线上的膜。所述膜包括第一膜层和第二膜层，所述第一膜层和所述第二膜层形成在所述第一膜上方的区域中，并且在所述导电线上方的区域和/或所述导电线上的区域中形成在所述第一膜层上，使得所述第一膜层具有第二膜层不与形成有第二膜层的区域相邻地形成。

4. 发明授权

EP2230679B1 Mems structure with a flexible membrane and improved electric actuation means 有权
标题翻译：具有柔性膜和改进的电触发装置MEMS结构
公开(公告)号：EP2230679B1
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：EP09370007.8
申请日：2009-03-20
申请人： DELFMEMS
发明人： Segueni, Karim , Lorphelin, Nicolas
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , B81B5/00 , B81B2201/018

5. 发明授权

EP1705676B1 RF MEMS switch with a flexible and free switch membrane 有权
标题翻译： RF MEMS开关具有柔性和自由开关膜
公开(公告)号：EP1705676B1
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：EP05370005.0
申请日：2005-03-21
申请人： DELFMEMS
发明人： Millet, Olivier
IPC分类号： H01H1/00 , H01H59/00
CPC分类号： H01H1/0036 , B81B5/00 , B81B2201/018 , H01H59/0009 , H01H2001/0063

6. 发明公开

EP3038126A1 MEMS structure with thick movable membrane 审中-公开
标题翻译： MEMS-Struktur mit dicker bewegbarer Membran
公开(公告)号：EP3038126A1
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：EP14307128.0
申请日：2014-12-22
申请人： DelfMEMS SAS
发明人： Rollier, Anne-Sophie , Bonnabel, Antoine , Segueni, Karim
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , B81B3/0051 , B81B2201/018 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C2201/013 , H01H49/00 , H01H2059/0027 , H01H2059/0036 , H01H2227/004
摘要： The present invention relates to a method of manufacturing an MEMS device that comprises the steps of forming a first membrane layer over a sacrificial base layer, forming a second membrane layer over the first membrane layer, wherein the second membrane layer comprises lateral recesses exposing lateral portions of the first membrane layer and forming stoppers to restrict movement of the first membrane layer. Moreover, it is provided MEMS device comprising a movable membrane comprising a first membrane layer and a second membrane layer formed over the first membrane layer, wherein the second membrane layer comprises lateral recesses exposing lateral portions of the first membrane layer.
摘要翻译：本发明涉及一种制造MEMS器件的方法，该方法包括以下步骤：在牺牲基底层上形成第一膜层，在第一膜层上形成第二膜层，其中第二膜层包括侧向凹槽，的第一膜层并形成止挡件以限制第一膜层的运动。此外，提供了包括可移动膜的MEMS装置，该可移动膜包括形成在第一膜层上的第一膜层和第二膜层，其中第二膜层包括暴露第一膜层的侧向部分的侧向凹部。

7. 发明公开

EP2725595A1 MEMS fixed capacitor comprising a gas-containing gap and process for manufacturing said capacitor 审中-公开
标题翻译：与气体含GAP及其制造方法，所述电容器MEMS固态电容
公开(公告)号：EP2725595A1
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：EP12306326.5
申请日：2012-10-25
申请人： Delfmems
发明人： Pavageau, Christophe
IPC分类号： H01G5/16 , H01G5/18
CPC分类号： H01L28/65 , H01G5/16 , H01G2005/02 , H01L23/5223 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： The MEMS fixed capacitor (1) comprises a bottom metal electrode (3) formed onto a substrate (S), a top metal electrode (2) supported by metal pillars (5) above the bottom metal electrode, and a gas-containing gap (4) forming a non-solid dielectric layer between said top (2) and bottom (3) metal electrodes ; the distance (D) between the top (2) and bottom (3) metal electrodes is not more than 1µm and the thickness (E) of the top metal electrode (2) is not less than 1µm.
摘要翻译：该MEMS固定电容器（1）包括一个底部金属电极（3）上形成一个底物（S），（2）由金属柱（5）的底部金属电极的上方支撑的顶部金属电极，和一个含气体的间隙（ 4）形成所述顶部（2）和底部之间的非固体介电层（3）的电极的金属; 顶部（2）和底部（3）金属电极之间的距离（D）为不大于1微米和顶部金属电极的厚度（E）（2）为不小于1微米。

8. 发明公开

EP2230679A1 Mems structure with a flexible membrane and improved electric actuation means 有权
标题翻译： MEMS-Struktur mit flexibler Membran und verbesserte elektrischeAuslösungsmittel
公开(公告)号：EP2230679A1
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：EP09370007.8
申请日：2009-03-20
申请人： DELFMEMS
发明人： Segueni, Karim , Lorphelin, Nicolas
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , B81B5/00 , B81B2201/018
摘要： The MEMS structure comprises:
- a flexible membrane (6), which has a main longitudinal axis (6a) defining a longitudinal direction (X),
- at least one pillar (3, 3') under the flexible membrane (6),
- electric lowering actuation means (7) that are adapted to bend down the flexible membrane (6) into a down forced state
- electric raising actuation means (8) that are adapted to bend up the flexible membrane (6) into an up forced state.
The electric lowering actuation means (7) or the electric raising actuation means (8) comprise an actuation area (7c or 8c), that extends under a part of the membrane (6) and that is adapted to exert pulling forces on the membrane (6) on both sides of the said at least one pillar (3) in the longitudinal direction (X).
摘要翻译： MEMS结构包括：柔性膜（6），其具有限定纵向方向（X）的主纵向轴线（6a）， - 在柔性膜（6）下面的至少一个柱体（3,3'），适于将柔性膜（6）向下弯曲成向下压制状态的电动下降致动装置（7） - 适于将柔性膜（6）弯曲成向上强制状态的电动致动装置（8）。电降下致动装置（7）或电动致动装置（8）包括在膜（6）的一部分下方延伸并且适于在膜上施加拉力的致动区域（7c或8c） 6）在所述至少一个支柱（3）的纵向方向（X）的两侧。

9. 发明授权

EP1705676B9 RF MEMS switch with a flexible and free switch membrane 有权
标题翻译： RF MEMS开关具有柔性和自由开关膜
公开(公告)号：EP1705676B9
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：EP05370005.0
申请日：2005-03-21
申请人： DELFMEMS
发明人： Millet, Olivier
IPC分类号： H01H1/00 , H01H59/00
CPC分类号： H01H1/0036 , B81B5/00 , B81B2201/018 , H01H59/0009 , H01H2001/0063

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