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热词
    • 3. 发明授权
    • DICHTSYSTEM FÜR EINE SCHLIESSKLAPPE AN EINER DURCHLASSÖFFNUNG
    • 密封系统所涉及的闭锁瓣通道开口
    • EP0910541B1
    • 2003-04-02
    • EP97912058.1
    • 1997-10-16
    • Glatt Systemtechnik GmbH
    • BRETSCHNEIDER, FrankKÜHNEMUND, Willibald
    • B65G69/18
    • B65G69/183
    • The invention relates to a sealing system for a closing flap on a through-opening of a device, which along with other similar closing flaps lying parallel to each other in a sealing plane when other devices are in a coupled position so interacts with the other flaps that the insides of both devices can be joined and the individual closing flap when closed provides a seal in relation to a pertaining through-opening along its perimeter. At least one of the two interacting closing flaps (22, 23) has a slit along its perimeter (24) which is bounded on both sides by annular shaped legs (26, 28). The slit (24) is bounded on the inside of each device (20, 21) by the leg (26) when in closed position. The leg (26) extends close to the sealing surface (27) of the through opening and the other leg (28) is radially reduced in comparison with the first one. An elastic bead (29) is located on the seal in an area which is radially outside the shortened leg (28). Said bead axially overlaps the shortened leg and rises at least partially above the sealing plane (34) between the closing flaps when the devices (20, 21) are in an uncoupled position. A pressure medium can be applied to the seal from the inside.
    • 7. 发明公开
    • Verfahren zum Betreiben eines Vakuumlichtbogenverdampfers und Stromversorgungseinrichtung dafür
    • Verfahren zum Betreiben eines Vakuumlichtbogenverdampfers und Stromversorgungseinrichtungdafür。
    • EP0666335A1
    • 1995-08-09
    • EP95100987.7
    • 1995-01-25
    • VTD-VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH
    • Grimm, WernerEllrodt, Mario
    • C23C14/00C23C14/32H01J37/32
    • H01J37/32055H01J37/32064H05H1/48
    • Das Verfahren dient zum Betreiben eines als solchen bekannten Vakuumlichtbogenverdampfers zur Herstellung dünner und harter homogener Schichten, Mehrfachschichten oder Mischschichten aus leitfähigem Material. Aufgabe der Erfindung ist es, die Targetausnutzung zu erhöhen, den Regelbereich der Verdampfung zu verbreitern und die Dropletbildung zu verringern. Das wird erreicht durch Überlagerung eines Grundstromes, der im wesentlichen dem Betriebsstrom einer DC-Vakuumlichtbogenentladung entspricht, mit einem pulsierenden Strom. Die Frequenz des pulsierenden Stromes liegt im Bereich zwischen 100 Hz und 50 kHz, die Amplitude des pulsierenden Stromes liegt im Bereich zwischen 10 und 5000 A und die Pulslänge beträgt zwischen 10 ms bis 20 µs.
      Die zugehörige Stromversorgungseinrichtung besteht aus einer Gleichspannungsquelle und einer parallel geschalteten Pulsstromquelle.
    • 该方法用于操作真空电弧沉积。 其具有阴极靶(7),阳极,点火机构和直流电流源(10)。 当有足够的电位差和电流供应时,通过点火机构在目标(7)和阳极之间触发真空电弧。 电弧在沉积材料的等离子体中继续燃烧。 脉冲电流叠加在阻尼器稳定运行所需的基极上。 脉冲电流的频率至少为1Hz,振幅至少为10A。为了提供电流,脉冲电流源(11)并联连接到直流电流(10)。 频率和/或脉冲长度和/或幅度是可以自由控制的。