专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

EP0666335A1 Verfahren zum Betreiben eines Vakuumlichtbogenverdampfers und Stromversorgungseinrichtung dafür 失效
标题翻译： Verfahren zum Betreiben eines Vakuumlichtbogenverdampfers und Stromversorgungseinrichtungdafür。
公开(公告)号：EP0666335A1
公开(公告)日：1995-08-09
申请号：EP95100987.7
申请日：1995-01-25
申请人： VTD-VAKUUMTECHNIK DRESDEN GMBH
发明人： Grimm, Werner , Ellrodt, Mario
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/32 , H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32055 , H01J37/32064 , H05H1/48
摘要： Das Verfahren dient zum Betreiben eines als solchen bekannten Vakuumlichtbogenverdampfers zur Herstellung dünner und harter homogener Schichten, Mehrfachschichten oder Mischschichten aus leitfähigem Material. Aufgabe der Erfindung ist es, die Targetausnutzung zu erhöhen, den Regelbereich der Verdampfung zu verbreitern und die Dropletbildung zu verringern. Das wird erreicht durch Überlagerung eines Grundstromes, der im wesentlichen dem Betriebsstrom einer DC-Vakuumlichtbogenentladung entspricht, mit einem pulsierenden Strom. Die Frequenz des pulsierenden Stromes liegt im Bereich zwischen 100 Hz und 50 kHz, die Amplitude des pulsierenden Stromes liegt im Bereich zwischen 10 und 5000 A und die Pulslänge beträgt zwischen 10 ms bis 20 µs.
Die zugehörige Stromversorgungseinrichtung besteht aus einer Gleichspannungsquelle und einer parallel geschalteten Pulsstromquelle.
摘要翻译：该方法用于操作真空电弧沉积。其具有阴极靶（7），阳极，点火机构和直流电流源（10）。当有足够的电位差和电流供应时，通过点火机构在目标（7）和阳极之间触发真空电弧。电弧在沉积材料的等离子体中继续燃烧。脉冲电流叠加在阻尼器稳定运行所需的基极上。脉冲电流的频率至少为1Hz，振幅至少为10A。为了提供电流，脉冲电流源（11）并联连接到直流电流（10）。频率和/或脉冲长度和/或幅度是可以自由控制的。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式