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1. 发明专利

JP2014200900A 加工装置有权
标题翻译：加工设备
公开(公告)号：JP2014200900A
公开(公告)日：2014-10-27
申请号：JP2013081100
申请日：2013-04-09
申请人：尚一島田 , Shoichi Shimada , 尚一島田 , 宇田豊 , Yutaka Uda , 豊宇田 , 清野慧 , Satoshi Kiyono , 慧清野 , 株式会社ナガセインテグレックス , Nagase Integrex Co Ltd
发明人： SHIMADA SHOICHI , UDA YUTAKA , KIYONO SATOSHI , GO YASUYUKI
IPC分类号： B24B37/27 , B24B37/02
摘要：【課題】簡素な加工装置を用いて、円筒状のワークに対して高精度にラッピング加工を行える加工装置を提供する。【解決手段】モータ2を回転させることで、チャック3とともにワークWが回転し、静止している研磨パッド8がワークWの外周面を研磨する。このとき、フレーム4は、ワイヤ5により吊り下げ保持されているので、ワークWの軸線直交方向に移動可能である。従って、チャック3に回転振れが生じた場合には、コイルバネ7を介してフレーム4が力を受けて、ワークWの軸線直交方向に移動し、フレーム4の中心は、常にワークWの軸線直交断面形状の基礎円中心に来るので、回転振れによって研磨量が局所的に増減することを抑制できる。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种简单构造的处理装置，其可以高精度地进行圆柱形工件的研磨处理。解决方案：通过马达2的旋转，工件W与卡盘3一起旋转，研磨垫8静止磨损工件W的外周面。此时，由于框架4被电线5悬挂和保持，工件W能够在与工件W的轴线正交的方向上移动。因此，当卡盘3发生旋转振动时，框架4通过螺旋弹簧7接收力并且沿与工件W的轴线正交的方向移动，并且框架4的中心总是位于基圆与工件W的轴线正交的截面形状，从而防止由于旋转振动引起的磨损量的局部增加或减少。

2. 发明专利

JP2014200901A 加工装置有权
标题翻译：加工设备
公开(公告)号：JP2014200901A
公开(公告)日：2014-10-27
申请号：JP2013081101
申请日：2013-04-09
申请人：尚一島田 , Shoichi Shimada , 尚一島田 , 宇田豊 , Yutaka Uda , 豊宇田 , 清野慧 , Satoshi Kiyono , 慧清野 , 株式会社ナガセインテグレックス , Nagase Integrex Co Ltd
发明人： SHIMADA SHOICHI , UDA YUTAKA , KIYONO SATOSHI , GO YASUYUKI
IPC分类号： B24B37/00
摘要：【課題】駆動系のブレの影響を抑えつつ、ワークの表面を高精度にラッピング加工できる加工装置を提供する。【解決手段】ワークWの移動時に、ラッピングヘッド4は、ワークWの被加工面WPに倣って保持部3に対して揺動し、このとき被加工面WPの相対的に高い部位には研磨パッド4a、4b、4cのいずれかが強く当たり研磨圧が高まり、相対的に低い部位には研磨パッド4a、4b、4cのいずれかが弱く当たり研磨圧が低くなる。このように被加工面WPの研磨量を局所的に調整することができるから、被加工面WPに対して繰り返し加工することで、駆動系のブレ等にかかわらず、高精度な平面形状にラッピング加工できる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够以高精度研磨工件表面的处理装置，同时减少驱动系统的模糊的影响。解决方案：当工件W移动时，研磨头4相对于保持件滑动此时，抛光垫4a，4b和4c中的任一个强烈地撞击处理过的表面WP的较高部分以增加抛光压力，并且任何抛光垫4a， 4b和4c对处理表面的相对低的部分较弱地击打以降低抛光压力。由此，能够对处理后的表面WP的研磨量进行局部调整，而不管驱动系统的模糊等等，处理后的表面WP能够被重复处理成高精度的扁平形状。

3. 发明专利

JP2010197350A Sensor holder and sensor support device 有权
标题翻译：传感器支架和传感器支持装置
公开(公告)号：JP2010197350A
公开(公告)日：2010-09-09
申请号：JP2009045788
申请日：2009-02-27
申请人： Satoshi Kiyono , Nagase Integrex Co Ltd , Shoichi Shimada , Yutaka Uda , 豊宇田 , 尚一島田 , 株式会社ナガセインテグレックス , 慧清野
发明人： YAMAGUCHI MASAO , GO YASUYUKI , SHIMADA SHOICHI , UDA YUTAKA , KIYONO SATOSHI
IPC分类号： G01B21/00 , G01B21/30
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress displacement of a vertical direction in three sensors attached to a rod-like sensor holder. SOLUTION: Since a deflection quantity of the sensor holder SH is calculated by considering a concentrated mass and a distribution mass of a beam of two-point support when the sensors SS1-SS3 are fixed in previously determined holes HL1-HL3 to direct a direction of a detection axis to a vertical direction, the displacement of the vertical direction of the sensors SS1-SS3 is zero only by arranging the sensors SS1-SS3 in the holes HL1-HL3 since a position where deflections due to gravity of fixed positions of the three sensors SS1-SS3 are equal is determined. Thereby accurate measurement is enabled. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：抑制安装在棒状传感器保持器上的三个传感器中的垂直方向的位移。解决方案：由于当传感器SS1-SS3固定在预先确定的孔HL1-HL3中时，通过考虑两点支撑梁的集中质量和分布质量来计算传感器支架SH的偏转量，以引导检测轴向垂直方向的方向，传感器SS1-SS3的垂直方向的位移仅通过将传感器SS1-SS3布置在孔HL1-HL3中，因为由于固定位置的重力引起的偏移的位置确定三个传感器SS1-SS3相等。从而能够进行准确的测量。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2010286430A Calibration device and straight shape measuring device 有权
标题翻译：校准装置和直线形状测量装置
公开(公告)号：JP2010286430A
公开(公告)日：2010-12-24
申请号：JP2009142045
申请日：2009-06-15
申请人： Satoshi Kiyono , Nagase Integrex Co Ltd , Shoichi Shimada , Yutaka Uda , 豊宇田 , 尚一島田 , 株式会社ナガセインテグレックス , 慧清野
发明人： YAMAGUCHI MASAO , GO YASUYUKI , ITATSU TAKESHI , SHIMADA SHOICHI , UDA YUTAKA , KIYONO SATOSHI
IPC分类号： G01B21/30
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a calibration device capable of calibrating a zero point of a three-point method probe quickly, accurately and easily, while keeping robustness to an environment of the three-point method, and to provide a straight shape measuring device.
SOLUTION: Three displacement sensors SS1-SS3 which are calibration objects are relatively fixed to disks CP1-CP3, and each circumference of the three disks CP1-CP3 is measured at a rotation angle θ=0° by using each displacement sensor SS1-SS3, to thereby determine a first measured value, and each circumference of the three disks CP1-CP3 is measured at the rotation angle θ=180° by using each displacement sensor SS1-SS3, to thereby determine a second measured value, and each displacement sensor can be calibrated based on the first measured value and the second measured value.
COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够快速，准确和容易地校准三点法测头的零点的校准装置，同时保持对三点法的环境的鲁棒性，并提供直线形状测量装置。
解决方案：作为校准对象的三个位移传感器SS1-SS3相对固定到盘CP1-CP3，并且通过使用每个位移传感器SS1以旋转角θ= 0°测量三个盘CP1-CP3的每个周长 -SS3，从而确定第一测量值，并且通过使用每个位移传感器SS1-SS3以旋转角θ= 180°测量三个盘CP1-CP3的每个周长，从而确定第二测量值，并且每个位移传感器可以基于第一测量值和第二测量值进行校准。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP2014006121A Distance sensor 审中-公开
标题翻译：距离传感器
公开(公告)号：JP2014006121A
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：JP2012141209
申请日：2012-06-22
申请人： Nagase Integrex Co Ltd , 株式会社ナガセインテグレックス
发明人： ITATSU TAKESHI , GO YASUYUKI
IPC分类号： G01B7/14
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a distance sensor capable of correctly detecting a distance from a measured object with the use of distance detection units even when humidity in the circumference of a measured object is changed.SOLUTION: A distance sensor includes: distance detection units 15 for sensing an electrostatic capacitance with a measured object 14 in order to detect a distance from a measured object 14; and humidity detection units 16 that are arranged at the adjacent positions of the distance detection units 15 to sense an electrostatic capacitance in the circumference of a measured object 14 in order to detect humidity in the circumference of the measured object 14.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种距离传感器，即使在测量对象的周围的湿度发生变化的情况下，也能够利用距离检测单元正确检测被测物体的距离。解决方案：距离传感器包括：距离检测单元 15，用于感测与测量对象14的静电电容，以便检测距测量对象14的距离; 和湿度检测单元16，其布置在距离检测单元15的相邻位置处，以检测测量对象14的周围的静电电容，以便检测测量对象14的周围的湿度。

6. 发明专利

JP2010181195A Shape measuring device 有权
标题翻译：形状测量装置
公开(公告)号：JP2010181195A
公开(公告)日：2010-08-19
申请号：JP2009022932
申请日：2009-02-03
申请人： Nagase Integrex Co Ltd , 株式会社ナガセインテグレックス
发明人： GO YASUYUKI , HATTORI YOSUKE
IPC分类号： G01B21/30
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a shape measuring device for easily adjusting a zero-point of a sequential three-point method in the measurement of a linear shape of a long, large area and a planar shape on a machine tool or a measurement system similar to the machine tool and measuring without changing the position of a surface to be measured of a long object to be measured differently from an inversion method.
SOLUTION: The shape measuring device includes an attitude variation mechanism for rotatably supporting a holder 38 so that the holder 38 can take a second attitude position D2 and a third attitude position D3 where detection sensitivity axis directions K of displacement sensors 41-43 are included in a horizontal surface and are in mutually opposite directions, and a first attitude position D1 directed toward a perpendicular direction orthogonal to the horizontal surface. The shape measuring device calculates zero-point adjustment errors of the displacement sensors 41-43 by comparing a width straight shape obtained by performing scanning measurement of a reference width straightedge ruler in scanning directions with the arrangement directions of the displacement sensors 41-43 as the scanning directions, measures the sectional shape of the object to be measured by the sequential three-point method for calibration based on the zero-point adjustment errors.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种形状测量装置，用于在机床上测量长，大面积和平面形状的直线形状时容易地调整连续三点法的零点，或与机床类似的测量系统，并且在不改变要测量的待测物体的待测量表面的位置的情况下进行测量，与反转方法不同。形状测量装置包括：姿态改变机构，用于可旋转地支撑保持器38，使得保持器38能够取第二姿势位置D2;以及位移传感器41-43的检测灵敏度轴方向K的第三姿势位置D3 被包括在水平表面中并且处于相互相反的方向，以及指向垂直于水平表面的垂直方向的第一姿态位置D1。形状测量装置通过将扫描方向上的基准宽度直尺尺的扫描测量获得的宽度直线形状与位移传感器41-43的排列方向相比较来计算位移传感器41-43的零点调整误差，作为扫描方向，通过基于零点调整误差的连续三点校准方法测量待测物体的截面形状。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

7. 发明专利

JP2005241454A Measurement standard apparatus 有权
标题翻译：测量标准装置
公开(公告)号：JP2005241454A
公开(公告)日：2005-09-08
申请号：JP2004051961
申请日：2004-02-26
申请人： Nagase Integrex Co Ltd , 株式会社ナガセインテグレックス
发明人： GO YASUYUKI
IPC分类号： G01B21/00 , G01B21/30
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a measurement standard apparatus having a simple structure, capable of easily and accurately adjusting the levelness values or tilt angles of a flat surface to be measured of a measurement object, in two directions relative to a process measurement surface, and capable of precisely measuring the straightness value of the process measurement surface.
SOLUTION: The apparatus is equipped with first and second support legs 13, 14 disposed on the process measurement surface 12; and the measurement object 15, having the flat surface to be measured 15a in its upper surface and being supported in a cross-linking form between both the support leges 13, 14. The measurement object 15 is configured to be tiltable, and adjustments of the levelness values or the tilt angles of the flat surface to be measured 15a in the two directions which are the longitudinal and cross directions relative to the process measurement surface 12, are shared on sides of the first support leg 13 and the second support leg 14. Each of support legs 13, 14 has a support stand 16, a tilt base 18 and a tilt-adjusting body 24. The first support leg 13 is set on the process measurement surface 12 with two points, and the second support leg 14 is set on the process measurement surface 12 with a single point.
COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：提供一种具有简单结构的测量标准装置，其能够容易且准确地调整测量对象的待测量平面的水平度或倾斜角，相对于处理的两个方向测量表面，并且能够精确地测量工艺测量表面的平直度值。解决方案：该装置配备有设置在过程测量表面12上的第一和第二支撑腿13,14; 测量对象15，其测量对象15的上表面具有被测量的平坦表面15a，并且在两个支撑腿13,14之间以交叉形式被支撑。测量对象15构造成可倾斜，并且调节在相对于处理测量表面12的纵向和横向的两个方向上的待测量的平坦表面15a的倾斜角度在第一支撑腿13和第二支撑腿14的侧面共享。每个支撑腿13,14具有支撑台16，倾斜基座18和倾斜调节主体24.第一支撑腿13被设置在过程测量表面12上，具有两点，并且第二支撑腿14被设定在具有单个点的过程测量表面12上。版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

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