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1. 发明申请

WO1991017429A1 INSTALLATION FOR THE STUDY OR TRANSFORMATION OF SAMPLE SURFACES IN A VACUUM OR CONTROLLED ATMOSPHERE 审中-公开
标题翻译：安装在真空或控制的大气中的样品表面的研究或转换
公开(公告)号：WO1991017429A1
公开(公告)日：1991-11-14
申请号：PCT/FR1991000378
申请日：1991-05-07
申请人： SPIRAL RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT (SARL) , GOUDONNET, Jean-Pierre , LACROUTE, Yvon
发明人： SPIRAL RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT (SARL)
IPC分类号： G01N27/00
CPC分类号： G01Q30/16 , G02B21/24 , H01J37/20 , Y10S977/86 , Y10S977/861 , Y10S977/869 , Y10S977/871 , Y10S977/881 , Y10S977/888
摘要： An installation for the study of the surface of samples in a vacuum or controlled atmosphere, of the type comprising a main chamber in which is placed a microscopy stage support for at least one device, known as SXM, for microscopy, spectroscopy or engraving a sample surface, according to a process for carrying out the scanning of said surface using an electrically or light conducting microprobe, said installation being characterized in that the stage support can be disconnected from the main chamber and rotated around a central axis in order for an assembly of SXM devices arranged on the periphery of said stage to be used. The invention is applicable, in particular, to electron scanning tunnelling microscopy and/or spectroscopy, especially in ultrahigh vacuums, optic scanning tunnelling microscopy and/or spectroscopy, or to the engraving of nanometric structures using microlithographic optic and/or electronic processes.
摘要翻译： PCT No.PCT / FR91 / 00378 Sec。 371日期：1993年1月5日 102（e）日期1993年1月5日PCT提交1991年5月7日PCT公布。公开号WO91 / 17429 日期为1991年11月14日。用于分析或转化放置在真空或受控气氛中的样品表面的装置，包括主壳体，其中定位有至少一个称为SXM的装置的支撑板，其中，例如光或电导电尖端定位为接近待检测样品的表面，无论是在空气中还是在真空中。该器件旨在通过微探针扫描表面进行显微镜，光谱或样品表面的蚀刻。支撑板配备有用于将其与主壳体断开的元件以及用于使支撑板围绕中心轴线旋转的元件，允许使用装配在支撑板的周边中的一系列SXM装置。主外壳由用于样品表面的洗涤外壳和样品的引入和储存外壳完成，样品可以通过传送杆端部的安装进行处理，该输送杆可纵向移动并沿轴向旋转外壳的对齐轴。

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