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1. 发明公开

CN1057363A 一种用于研究或改变在真空或保护气体中的样品表面的装置无效
公开(公告)号：CN1057363A
公开(公告)日：1991-12-25
申请号：CN91103772.1
申请日：1991-05-10
申请人：斯皮拉尔研究发展公司
发明人：古道内·让-彼埃尔 , 拉克鲁特·伊冯
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/26 , G01J3/00 , G01B9/04
CPC分类号： G01Q30/16 , G02B21/24 , H01J37/20 , Y10S977/86 , Y10S977/861 , Y10S977/869 , Y10S977/871 , Y10S977/881 , Y10S977/888
摘要：本发明涉及一种用于研究放置在真空或在保护气体中的样品表面的装置。其结构包括一个主工作室，在该室中置有一个用于安装至少一个称为SXM部件的支承平板，该部件是借助于电或光导探针，利用对样品表面扫描来进行样品表面的显微检查，光谱分析或蚀刻。所述装置特征在于，支承平板能够从工作室中卸下，并且围绕中轴自行旋转，使得允许使用装在所述平板周边上的一套SXM部件。它应用于扫描隧道显微检查和/或光谱分析或利用光和/或电子微刻处理。

2. 发明申请

WO2004074766A1 INVESTIGATION AND/OR MANIPULATION DEVICE 审中-公开
标题翻译：调查和/或处理装置
公开(公告)号：WO2004074766A1
公开(公告)日：2004-09-02
申请号：PCT/IB1997/000895
申请日：1997-07-17
申请人： BINNIG, Gerd, Karl , BRUGGER, Jürgen , HAEBERLE, Walter , VETTIGER, Peter
发明人： BINNIG, Gerd, Karl , BRUGGER, Jürgen , HAEBERLE, Walter , VETTIGER, Peter
IPC分类号： G01B7/34
CPC分类号： G01N25/72 , G01Q20/04 , G01Q80/00 , G11B9/14 , G11B9/1409 , G11B11/007 , G11B2005/0021 , Y10S977/867 , Y10S977/871
摘要： The present invention discloses an investigation and/or manipulation device for a sample, the sample consisting of a material which is locally deformed when subjected to a local heat treatment; the device comprises an investigation and/or manipulation tool movably supported by a support means, and positioning means for positioning the support means and thereby the tool relatively to the sample. The core features of the invention are power supply means for supplying electric power to the tool, said tool and the support means having such a structure and/or being respectively made of such materials that the supplied power is heating substantially only the tool, sensing means adapted to supply a low amount of power to the tool, the low amount of power being insufficient to locally deform the sample, the sensing means detecting a variation in temperature of the tool as being indicative of the surface structure of the sample, and/or manipulation means adapted to supply a high amount of power to the tool, said high amount of power heating the tool to a temperature which is sufficient to deform the sample surface region being presently effected by the tool. Further aspects of the present invention are a novel data storage system and a novel displacement sensor, both of which make use of the basic pronciples of the invention.
摘要翻译：本发明公开了一种用于样品的研究和/或操作装置，所述样品由经受局部热处理时局部变形的材料组成; 该装置包括由支撑装置可移动地支撑的调查和/或操纵工具，以及用于相对于样本定位支撑装置并因此定位工具的定位装置。本发明的核心特征是用于向工具，所述工具和支撑装置提供电力的电源装置，具有这种结构和/或分别由这样的材料制成，所供电的功率基本上仅加热工具，感测装置适于向工具提供少量的动力，少量的功率不足以使样本局部变形，感测装置检测工具的温度变化，以指示样品的表面结构，和/或操作装置，其适于向工具提供大量的动力，所述大量的功率将工具加热到足以使由工具目前影响的样品表面区域变形的温度。本发明的另外的方面是新颖的数据存储系统和新的位移传感器，它们都利用了本发明的基本语义。

3. 发明授权

EP0573421B1 INSTALLATION POUR L'ETUDE OU LA TRANSFORMATION DE LA SURFACE D'ECHANTILLONS PLACES DANS LE VIDE OU DANS UNE ATMOSPHERE CONTROLEE 失效
标题翻译：设备技术ÜBERSUCHUNG或样品在真空腔室或控制的气氛中表面的变化。
公开(公告)号：EP0573421B1
公开(公告)日：1994-09-14
申请号：EP91910332.5
申请日：1991-05-07
申请人： SIM (SOCIETE D'INVESTISSEMENT DANS LA MICROSCOPIE) SA
发明人： GOUDONNET, Jean-Pierre , LACROUTE, Yvon
IPC分类号： G01N27/00 , G01B7/34 , G01N21/01
CPC分类号： G01Q30/16 , G02B21/24 , H01J37/20 , Y10S977/86 , Y10S977/861 , Y10S977/869 , Y10S977/871 , Y10S977/881 , Y10S977/888
摘要： An installation for the study of the surface of samples in a vacuum or controlled atmosphere, of the type comprising a main chamber in which is placed a microscopy stage support for at least one device, known as SXM, for microscopy, spectroscopy or engraving a sample surface, according to a process for carrying out the scanning of said surface using an electrically or light conducting microprobe, said installation being characterized in that the stage support can be disconnected from the main chamber and rotated around a central axis in order for an assembly of SXM devices arranged on the periphery of said stage to be used. The invention is applicable, in particular, to electron scanning tunnelling microscopy and/or spectroscopy, especially in ultrahigh vacuums, optic scanning tunnelling microscopy and/or spectroscopy, or to the engraving of nanometric structures using microlithographic optic and/or electronic processes.
摘要翻译： PCT号 PCT / FR91 / 00378秒。 371日期1993年1月5日秒。 102（e）中的日期1993年1月5日提交的PCT 1991年5月7日的PCT公布。号 WO91 / 17429的PCT公布。十一月日期14 1991.Installation用于分析或在真空中放置的样品的表面的变换或控制的气氛，包括在所有的主外壳被定位的支撑板对至少一个设备，称为SXM，其中微探针：诸如光或电传导尖端定位成靠近所述样品的表面待检查，不管是在空气中或在真空中。该装置旨在用于显微镜中，样品表面的由表面的扫描由微探针光谱法或蚀刻。支撑板配备有用于从所述主外壳断开连接，并具有用于围绕中心轴线允许使用一系列配合到支承板的周缘SXM装置的旋转支承板元件的元件。主外壳由擦洗外壳为样品的表面和由引入和存储箱的样品，其可以通过安装通过输送杆的端部进行处理并可以纵向移动，并沿在轴向旋转完成机箱的取向轴。

4. 发明授权

EP0400541B1 Atomic probe type microscope apparatus 失效
标题翻译：用原子传感器显微镜装置。
公开(公告)号：EP0400541B1
公开(公告)日：1994-08-10
申请号：EP90110088.3
申请日：1990-05-28
申请人： OLYMPUS OPTICAL CO., LTD.
发明人： Toda, Akitoshi
IPC分类号： G12B7/00 , H01J37/252
CPC分类号： G01Q60/16 , G01Q60/58 , Y10S977/871

5. 发明专利

JP2006071534A Probe microscope system suited for long body specimen observation 有权
标题翻译：用于长身体样本观察的探针显微镜系统
公开(公告)号：JP2006071534A
公开(公告)日：2006-03-16
申请号：JP2004256853
申请日：2004-09-03
申请人： Sii Nanotechnology Inc , Tokyo Institute Of Technology , エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 , 国立大学法人東京工業大学
发明人： FUJIHIRA MASAMICHI , YASUTAKE MASATOSHI , ATAKA TATSUAKI
IPC分类号： G01N21/64 , G01Q10/02 , G01Q10/06 , G01Q30/02 , G01Q30/04 , G01Q30/08 , G01Q30/14 , G01Q30/20 , G01Q60/18 , G01Q80/00
CPC分类号： G01Q30/14 , G01Q10/06 , Y10S977/853 , Y10S977/86 , Y10S977/862 , Y10S977/869 , Y10S977/871
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multifunctional analyzer for detecting a shape and physical property information with high resolution and determining a position where a known RNA hybridizes, including the serial read of overall base sequence with respect to a length of DNA specimen extended in one direction on a substrate. SOLUTION: This microscope system is equipped with a fluorescence microscope as a detection system, a scanning near-field microscope, and a scanning probe microscope. These microscopes are fixed to a switching mechanism. A switching operation of the mechanism allows each of the microscopes to be moved to a position where the same point of a specimen can be observed. This microscope system is equipped with the function of directly detecting the shape and physical property information on a length of DNA by the probe microscope using multifunctional scanning. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于以高分辨率检测形状和物理性质信息并确定已知RNA杂交的位置的多功能分析仪，包括对DNA样本的长度的整个碱基序列的连续读取在基板上沿一个方向延伸。
解决方案：本显微镜系统配备荧光显微镜作为检测系统，扫描近场显微镜和扫描探针显微镜。这些显微镜固定在切换机构上。该机构的切换操作允许每个显微镜移动到可以观察到样本的相同点的位置。该显微镜系统具有通过探针显微镜使用多功能扫描直接检测DNA长度的形状和物理性质的功能。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

7. 发明专利

JP3901867B2 Near-field optical recording and reproducing apparatus 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP3901867B2
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：JP3024199
申请日：1999-02-08
申请人：富士フイルム株式会社
发明人：昌之納谷
IPC分类号： G11B7/00 , G11B7/004 , G01N37/00 , G01Q60/18 , G01Q80/00 , G11B7/0045 , G11B7/12 , G11B7/135
CPC分类号： G11B7/0045 , B82Y10/00 , G11B7/1384 , G11B2005/0021 , Y10S977/862 , Y10S977/871

8. 发明公开

EP1237161A2 Method and apparatus for performing atomic force microscopy measurements 有权
标题翻译： Verfahren und Vorrichtung zurDurchführungvon Rasterkraftmikroskop-Messungen
公开(公告)号：EP1237161A2
公开(公告)日：2002-09-04
申请号：EP02447029.6
申请日：2002-02-27
申请人： INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW
发明人： Vandervorst, Wilfried , Eyben, Pierre
IPC分类号： G12B21/08 , G12B21/20
CPC分类号： G01Q10/06 , Y10S977/85 , Y10S977/871
摘要： The present invention is related to a method and apparatus for performing Atomic Force Microscopy. In the method of the invention, a force profile is defined, and a sample is scanned by the AFM probe in such a way that the force between the sample and the probe is changed according to said predefined profile. The invention is equally related to an apparatus with which to perform said method.
摘要翻译：本发明涉及用于执行原子力显微镜的方法和装置。在本发明的方法中，定义力和速度轮廓，其是作为时间的函数的力速度变化，并且样品被AFM探针扫描，使得样品和探针之间的力被改变根据所述预定义的轮廓。本发明与用于执行所述方法的装置相同。

9. 发明授权

EP0736746B1 Method of using scanning probe microscope permitting cleaning of probe microscope or of probe tip in ambient atmosphere 失效
标题翻译：使用原子力显微镜的方法，它允许显微镜的环境空气中的清洁或触笔
公开(公告)号：EP0736746B1
公开(公告)日：2000-03-22
申请号：EP96101362.0
申请日：1996-01-31
申请人： Ryoden Semiconductor System Engineering Corporation , MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
发明人： Nishioka, Tadashi, c/o Ryoden Semiconductor System , Yasue, Takao, c/o Mitsubishi Denki K.K.
IPC分类号： G01B7/34 , G01N27/00
CPC分类号： G01Q70/00 , G01Q10/06 , Y10S977/85 , Y10S977/852 , Y10S977/86 , Y10S977/871 , Y10S977/881

10. 发明公开

EP0027517A1 Gerät zur rasterartigen Oberflächenuntersuchung unter Ausnutzung des Vakuum-Tunneleffekts bei kryogenischen Temperaturen 失效
标题翻译：装置，用于通过利用在低温下真空隧道效应光栅状表面检查。
公开(公告)号：EP0027517A1
公开(公告)日：1981-04-29
申请号：EP80104966.9
申请日：1980-08-21
申请人： International Business Machines Corporation
发明人： Binnig, Gerd , Rohrer, Heinrich
IPC分类号： H01J37/285 , G01B7/34 , H01L41/08
CPC分类号： G01Q30/16 , G01Q60/16 , H01J37/28 , Y10S505/848 , Y10S977/852 , Y10S977/861 , Y10S977/871
摘要： Vakuum-Tunneleffekt. In einem Ultra-Hochvakuum von mindestens 10 -10 Torr bei kryogenischen Temperaturen wird eine feine Spitze als Abtastelektrode (5) im Abstand von einigen Angströmeinheiten rasterartig in parallelen Abtastlinien über die Oberfläche einer leitenden Probe (4) geführt. Dabei wird die Höhen-Koordinate nach einem dem Tunnelwiderstand proportionalen Parameter, z.B. dem Tunnelstrom als Sollwert geregelt. In den drei Koordinatenrichtungen (x,y,z) wirken piezoelektrische Verstellvorrichtungen (6,7,8). Die Verstellströme oder Piezospannungen sind Aequivalente der Koordinatenwerte der Spitze oberhalb der Probe. Zur Auswertung wird die Kurvenschar der Vz-Werte in Abhängigkeit von den Vx-Werten und bei als Parameter festgehaltenem (Vy) mit einem Schreiber (12) oder auf einem Bildschirm (13) aufgezeichnet. Um örtliche Aenderungen der Austrittsarbeit des Probenmaterials zu erfassen, erteilt man der Abtastspitze an jedem Messpunkt eine zusätzliche Abstandsmodulation j bestimmter Amplitude und Frequenz um den Regelwert herum. Das Quadrat der Ableitung des Tunnelstroms nach der Höhenkoordinate ist der Austrittsarbeit proportional. Mit-I tels eines phasen-und frequenzselektiven Verstärkers wird das der Austrittsarbeit entsprechende Signal herausgesiebt und gesondert ausgewertet. Bei den piezoelektrischen Verstellvorrichtung erlaubt die Höhen-Verstellvorrichtung einerseits eine Grobeinstellung im Bereich von Millimetern, um die Apparatur mit einer Probe beschicken zu können, andererseits aber eine sehr genaue Feineinstellung für die Messwerte. Schwingungsfreie Lagerung mit Verwendung des Schwebeeffektes von Magneten über einem Supraleiter eliminieren störende Schallquanten.
摘要翻译：扫描隧道显微镜的工作原理在真空隧道效应。在至少10的超高真空< - >³°托在低温下，细点与在几埃格子状的平行扫描线的导电样品（4）的表面上的距离的扫描电极（5）被引导。在这种情况下，高度按照成比例的值的隧道电阻的参数坐标，例如调节隧道电流设定值。在三个坐标方向（x，Y，Z）的压电调节装置（6,7,8）的行为。所述Verstellströme或压电电压是在样品上方的尖端的坐标值的等同物。为了评价，将1/2的曲线值取决于值Vx和牢固地保持作为参数（VY）与记录器（12）或一个屏幕（13）上被记录。为了检测样品材料的功函数的局部的变化，它被授予一个额外的距离调制一定的振幅和频率，以在每个测量点围绕扫描尖端控制值。根据高度坐标的隧道电流的导数的平方成正比的功函数。通过相位和频率选择性放大器的装置被筛选出相应的功函数的信号，并分别进行评价。在该压电调节高度调节装置允许一方面，在毫米范围内的粗调中，为了能够与样品喂装置，但在另一方面非常精确的细调的测量值。有超过一个超导量子使用磁铁的浮体效应的弹性轴承消除讨厌的声音。

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