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    • 6. 发明专利
    • Halbleiterspeichervorrichtungen mit Stapelstruktur und Datenspeicherelement
    • DE102018120840B4
    • 2022-08-11
    • DE102018120840
    • 2018-08-27
    • SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
    • LEE KISEOKKIM JUNSOOKIM HUI-JUNGKIM BONG-SOOYAMADA SATORULEE KYUPILHAN SUNGHEEHONG HYEONGSUNHWANG YOOSANG
    • H01L27/11514H01L27/108H01L27/22H01L27/24
    • Halbleiterspeichervorrichtung, die Folgendes aufweist:eine Stapelstruktur (SS), welche eine Mehrzahl von Schichten (L1 - L4) aufweist, welche vertikal auf einem Substrat (100) gestapelt sind, wobei jede der Mehrzahl von Schichten (L1 - L4) Folgendes aufweist:eine erste dielektrische Schicht (ILD1), eine Halbleiterschicht (SL) und eine zweite dielektrische Schicht (ILD2), welche aufeinanderfolgend gestapelt sind, undeine erste leitfähige Leitung (CL1) in der zweiten dielektrischen Schicht (ILD2) und sich horizontal in einer ersten Richtung (D1) erstreckend, welche parallel zu einer oberen Oberfläche des Substrats (100) verläuft;eine zweite leitfähige Leitung (CL2), welche sich vertikal in eine dritte Richtung und durch die Stapelstruktur (SS) erstreckt, wobei die dritte Richtung rechtwinklig zur oberen Oberfläche des Substrats (100) verläuft; undeinen Kondensator in der Stapelstruktur (SS) und beabstandet von der zweiten leitfähigen Leitung (CL2), wobei der Kondensator eine erste Elektrode (EL1) aufweist, die sich horizontal in eine zweite Richtung (D2) erstreckt, welche die erste Richtung (D1) schneidet,wobei die Halbleiterschicht (SL) Halbleiterstrukturen (SP) aufweist, welche sich horizontal von der ersten leitfähigen Leitung (CL1) in der zweiten Richtung (D2) erstrecken,wobei die zweite leitfähige Leitung (CL2) zwischen einem Paar von Halbleiterstrukturen (SP) ist, die benachbart zueinander in der ersten Richtung (D1) sind, wobei ein Ende wenigstens einer der Halbleiterstrukturen (SP) elektrisch mit der ersten Elektrode (EL1) verbunden ist,wobei sich jede der Halbleiterstrukturen (SP) länger in die zweite Richtung (D2) erstreckt als sowohl in die erste (D1) als auch in die dritte Richtung,wobei sich die erste leitfähige Leitung (CL1) länger in die erste Richtung (D1) erstreckt als sowohl in die zweite (D2) und als auch in die dritte Richtung,wobei sich die zweite leitfähige Leitung (CL2) länger in die dritte Richtung erstreckt als sowohl in die erste (D1) als auch in die zweite (D2) Richtung.