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    • 1. 发明授权
    • Turbomolecular pump
    • 涡轮分子泵
    • US07090469B2
    • 2006-08-15
    • US10473237
    • 2002-03-15
    • Roland BlumenthalHeinz-Dieter OdendahlDieter Bohry
    • Roland BlumenthalHeinz-Dieter OdendahlDieter Bohry
    • F04B49/10
    • F04D19/046F04D19/042F04D27/00
    • A turbomolecular pump (10) comprises a stator (12, 18), a pump rotor (20) a motor (28) for driving the pump rotor and a control device (42). The control device (42) controls the motor output power such that the motor output power does not exceed a permissible maximum motor output power. On the stator side of the turbomolecular pump (10), temperature sensors (32–38) for measuring the stator temperature are arranged. The control device (42) comprises a maximum output power detecting device (50) that determines the permissible maximum motor output power in dependence on the measured stator temperature. Thus, the permissible maximum motor output power is not set to a constant value but always fixed in dependence on the current, measured stator temperature. Thereby, the capacity of the motor can be fully utilized as long as the measured stator temperature lies below a maximum value.
    • 涡轮分子泵(10)包括定子(12,18),泵转子(20),用于驱动泵转子的马达(28)和控制装置(42)。 控制装置(42)控制电动机输出功率,使得电动机输出功率不超过容许的最大电动机输出功率。 在涡轮分子泵(10)的定子侧,布置有用于测量定子温度的温度传感器(32-38)。 控制装置(42)包括最大输出功率检测装置(50),该最大输出功率检测装置根据测得的定子温度确定容许的最大电动机输出功率。 因此,允许的最大电动机输出功率未设定为恒定值,但总是依赖于当前的测量定子温度而固定。 因此,只要测得的定子温度低于最大值即可充分利用电动机的容量。