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1. 发明申请

WO2010020445A1 TRAP 审中-公开
标题翻译：陷阱
公开(公告)号：WO2010020445A1
公开(公告)日：2010-02-25
申请号：PCT/EP2009/057390
申请日：2009-06-15
申请人： OERLIKON SOLAR IP AG, TRÜBBACH , FISCHER, Tobias , SCHNEIDER, Stefan , GÖTTLICH, Hagen , BHANGU, Kavreet , VOGLER, Benjamin , WIDMEIER, Christoph , ZINDEL, Arno
发明人： FISCHER, Tobias , SCHNEIDER, Stefan , GÖTTLICH, Hagen , BHANGU, Kavreet , VOGLER, Benjamin , WIDMEIER, Christoph , ZINDEL, Arno
IPC分类号： C23C16/44
CPC分类号： C23C16/4412
摘要： The present invention provides a hot-trap device (1) comprising an enclosure (2) with at least one inlet (3), at least one outlet (5) at least one heating means (7) and at least one collector means (10) for the conversion of reaction by-products into products, wherein the collector means is arranged within the enclosure between the inlet and the outlet has a diameter that substantially matches the diameter of the enclosure and has at least one opening (18).
摘要翻译：本发明提供一种热阱装置（1），其包括具有至少一个入口（3），至少一个出口（5）至少一个加热装置（7）和至少一个收集器装置（10）的外壳（2）），用于将反应副产物转化成产物，其中收集器装置布置在入口和出口之间的外壳内，其直径基本上与外壳的直径相匹配并具有至少一个开口（18）。

2. 发明申请

WO2010020446A1 TRAP 审中-公开
标题翻译：陷阱
公开(公告)号：WO2010020446A1
公开(公告)日：2010-02-25
申请号：PCT/EP2009/057395
申请日：2009-06-15
申请人： OERLIKON SOLAR IP AG, TRÜBBACH , SCHNEIDER, Stefan , BHANGU, Kavreet , FISCHER, Tobias , GÖTTLICH, Hagen , VOGLER, Benjamin , WIDMEIER, Christoph , ZINDEL, Arno
发明人： SCHNEIDER, Stefan , BHANGU, Kavreet , FISCHER, Tobias , GÖTTLICH, Hagen , VOGLER, Benjamin , WIDMEIER, Christoph , ZINDEL, Arno
IPC分类号： C23C16/44
CPC分类号： C23C16/4412
摘要： The present invention provides a hot-trap device for the efficient removal of reaction by- products from exhausted process gases in vacuum processing systems, wherein collector means for the conversion of such reaction by-products are provided as pellets. Furthermore, a vacuum treatment system comprising such a hot-trap device and methods for the removal of reaction by-products utilizing the hot-trap device or the vacuum treatment system are provided.
摘要翻译：本发明提供了一种用于在真空处理系统中有效地除去排出的工艺气体的反应副产物的热阱装置，其中用于转化这种反应副产物的收集装置被提供为颗粒。此外，提供了包括这种热阱装置的真空处理系统和利用热阱装置或真空处理系统去除反应副产物的方法。

3. 发明申请

WO2010022530A1 METHOD FOR MANUFACTURING TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE (TCO) FILMS; PROPERTIES AND APPLICATIONS OF SUCH FILMS 审中-公开
标题翻译：制造透明导电氧化物（TCO）膜的方法; 这种膜的性质和应用
公开(公告)号：WO2010022530A1
公开(公告)日：2010-03-04
申请号：PCT/CH2009/000291
申请日：2009-08-28
申请人： OERLIKON SOLAR IP AG, TRÜBBACH , DIMITRY, Zimin , ZINDEL, Arno , TEREN, Andrew , WATKINS, Owan Charles , DESPONT, Laurent , WIDER, Joachim , RAMOINO, Luca , GOSSLA, Mario , VOGLER, Benjamin , KERSCHBAUMER, Joerg , SCHNEIDER, Stefan , MARK, Andreas , POPPELLER, Markus , KUHN, Hansjoerg , BORRELLO, Daniel , BENAGLI, Stefano , MEIER, Johannes , KROLL, Ulrich , VALLAT-SAUVAIN, Evelyne
发明人： DIMITRY, Zimin , ZINDEL, Arno , TEREN, Andrew , WATKINS, Owan Charles , DESPONT, Laurent , WIDER, Joachim , RAMOINO, Luca , GOSSLA, Mario , VOGLER, Benjamin , KERSCHBAUMER, Joerg , SCHNEIDER, Stefan , MARK, Andreas , POPPELLER, Markus , KUHN, Hansjoerg , BORRELLO, Daniel , BENAGLI, Stefano , MEIER, Johannes , KROLL, Ulrich , VALLAT-SAUVAIN, Evelyne
IPC分类号： C23C16/40 , C23C16/44 , H01L31/0224 , H01L31/0392 , H01L31/18 , H01L21/365
CPC分类号： C23C16/407 , C23C16/44 , H01L21/02422 , H01L21/02554 , H01L21/02573 , H01L21/0262 , H01L31/022483 , H01L31/075 , H01L31/1884 , Y02E10/548
摘要： A method for manufacturing a boron doped, transparent, conductive zinc oxide layer from on a substrate is disclosed. The layer is being deposited from at least diethylzinc, water and diborane by low pressure chemical vapour deposition (LPCVD) in a process chamber of a deposition system comprising wherein the gas flow ratio of diethylzinc and water is kept between 0.87 and 1.3 and the gas flow ratio of diborane and diethylzinc is being kept between 0.05 and 0.4. The haze of such manufactured layer, measured as ratio of diffuse transmittance to total transmittance at 600nm, is between 10 and 25%.
摘要翻译：公开了一种从衬底上制造硼掺杂的透明导电氧化锌层的方法。该层在沉积系统的处理室中通过低压化学气相沉积（LPCVD）从至少二乙基锌，水和乙硼烷沉积，其中二乙基锌和水的气体流量比保持在0.87和1.3之间，气流乙硼烷和二乙基锌的比例保持在0.05和0.4之间。以600nm处的扩散透射率与总透射率的比率测量的这种制造层的雾度在10％和25％之间。

4. 发明申请

WO2010049186A1 PRECURSOR DISPOSAL 审中-公开
标题翻译：前期处置
公开(公告)号：WO2010049186A1
公开(公告)日：2010-05-06
申请号：PCT/EP2009/059227
申请日：2009-07-17
申请人： Oerlikon Solar IP AG, Trübbach , HOTZ, Philipp , SCHNEIDER, Stefan , VOGLER, Benjamin , PROBST, Peter
发明人： HOTZ, Philipp , SCHNEIDER, Stefan , VOGLER, Benjamin , PROBST, Peter
IPC分类号： C23C16/44
CPC分类号： C23C16/4412 , B01D2257/706 , B01D2258/0216 , F23G7/00 , F23G2209/142
摘要： The present invention provides a system for the disposal of waste of substrate treatment systems which comprises at least one process module connected to at least one reservoir and at least one abatement system, wherein the reservoir collects the waste produced by the process module and wherein the waste collected in the reservoir is transferred to the abatement system and wherein the waste comprises a substance selected from the group consisting of pyrophoric metalorganic chemicals, phosphine, diborane, silane, dimethylzinc and/or diethylzinc. Thus, the production of waste by the substrate treatment system is decoupled from the disposal of the waste by the abatement system. This has the advantage that the abatement system can be designed to be capable of handling an average waste load from the substrate treatment system, whereby no unused overcapacities of the abatement system need to be accepted.
摘要翻译：本发明提供了一种用于处置废物处理系统的系统，该系统包括连接至少一个贮存器和至少一个消除系统的至少一个处理模块，其中储存器收集由处理模块产生的废物，其中废物收集在储存器中的废物被转移到减排系统中，其中废物包括选自自燃金属有机化合物，磷化氢，乙硼烷，硅烷，二甲基锌和/或二乙基锌的物质。因此，衬底处理系统的废物生产与减排系统的废弃物处理脱钩。这具有的优点是，减排系统可以被设计为能够处理来自基板处理系统的平均废物负载，由此不需要接受减排系统的未使用的过剩能力。

5. 发明申请

WO2011072932A1 HOT-TRAP ASSEMBLY 审中-公开
标题翻译：热带组装
公开(公告)号：WO2011072932A1
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：PCT/EP2010/066202
申请日：2010-10-27
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , BHANGU, Kavreet , SCHNEIDER, Stefan
发明人： BHANGU, Kavreet , SCHNEIDER, Stefan
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/48
CPC分类号： C23C16/4412 , C23C16/455 , C23C16/45557 , C23C16/481
摘要： The present invention relates to the field of hot-traps, devices used together with vacuum pump systems to clean the gases exhausted from the treatment area. Particularly, the present invention discloses modifications of hot-trap devices. Furthermore, vacuum pump systems comprising such inline hot-trap devices are disclosed.
摘要翻译：本发明涉及热阱的领域，与真空泵系统一起使用以清洁从处理区域排出的气体的装置。特别地，本发明公开了热阱设备的修改。此外，公开了包括这种在线热阱装置的真空泵系统。

6. 发明申请

WO2011072932A9 HOT-TRAP ASSEMBLY 审中-公开
公开(公告)号：WO2011072932A9
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：PCT/EP2010/066202
申请日：2010-10-27
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , BHANGU, Kavreet , SCHNEIDER, Stefan
发明人： BHANGU, Kavreet , SCHNEIDER, Stefan
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/48
摘要： The present invention relates to the field of hot-traps, devices used together with vacuum pump systems to clean the gases exhausted from the treatment area. Particularly, the present invention discloses modifications of hot-trap devices. Furthermore, vacuum pump systems comprising such inline hot-trap devices are disclosed.

7. 发明申请

WO2010049407A1 VERFAHREN ZUM REINIGEN EINER VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：方法清洁真空泵
公开(公告)号：WO2010049407A1
公开(公告)日：2010-05-06
申请号：PCT/EP2009/064122
申请日：2009-10-27
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , OERLIKON SOLAR AG, TRÜBBACH , KANNEN, Ingo , GÖTTLICH, Hagen , SCHNEIDER, Stefan
发明人： KANNEN, Ingo , GÖTTLICH, Hagen , SCHNEIDER, Stefan
IPC分类号： B08B3/08 , B08B9/00 , F04C29/00
CPC分类号： B08B3/08 , B08B9/00 , F04C18/16 , F04C2220/10 , F04C2280/02
摘要： Ein effektives Verfahren zum Reinigen einer Vakuumpumpe (10), die eine Pumpenkammer (12) mit mindestens einem Pumpenrotor (14) aufweist, ist gekennzeichnet durch die Schritte: a) Einfüllen einer Reinigungsflüssigkeit (28) in die Pumpenkammer (12), b) Verteilen der Reinigungsflüssigkeit (28) in der Pumpenkammer (12), c) Lösen von Verunreinigungen mit der Reinigungsflüssigkeit (28) und d) Ablassen der Reinigungsflüssigkeit (28) aus der Pumpenkammer (12).
摘要翻译：用于清洁具有泵室（12）与真空泵（10）与至少一个泵的转子（14）的有效方法，其特征在于以下步骤：a）将清洗液（28）进入泵室（12），b）中分发的清洗液（28）在泵室（12），c）中的与清洗液（28）和d杂质溶解）排出从泵室（12的清洗液（28））。

8. 发明申请

WO2003042553A1 BEFESTIGUNGSANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：安装装置
公开(公告)号：WO2003042553A1
公开(公告)日：2003-05-22
申请号：PCT/EP2002/012575
申请日：2002-11-11
申请人： NEWFREY LLC , SALTENBERGER, Reimar , LAUTNER, Siegfried , SCHNEIDER, Stefan
发明人： SALTENBERGER, Reimar , LAUTNER, Siegfried , SCHNEIDER, Stefan
IPC分类号： F16B5/04
CPC分类号： F16B5/04 , Y10T24/50
摘要： Es wird vorgeschlagen eine Befestigungsanordnung (10) mit einem an einem Körper (16) festzulegenden Befestigungsteil (12), das aus Kunststoff hergestellt ist und wenigstens zwei Durchgangslöcher (50) aufweist, in die jeweils ein Blindnietelement (14) eingesetzt ist, wobei die Blindnietelemente (14) in Aufnahmelöcher des Körpers (16) einführbar sind, die einen vorbestimmten Abstand (58) voneinander aufweisen. Dabei weisen die Durchgangslöcher (50) jeweils einen Halteabschnitt (60) und einen sich daran anschliessenden, sich aufweitenden Abschnitt (62) auf, die derart ausgebildet sind, dass die Blindnietelemente (14) an dem Befestigungsteil (12) unverlierbar vormontiert sind und zur Anpassung an den Abstand (58) der Aufnahmelöcher des Körpers (16) verschwenkbar gelagert sind.
摘要翻译：本发明提供一种紧固件组件（10），以一到主体（16），以确定被插入在其中的每一个，其由塑料制成并且至少两个通孔（50）的紧固部分（12）一Blindnietelement（14），其中，所述Blindnietelemente （14）可插入容纳体（16）具有彼此以预定距离（58）的通孔。在这种情况下，通孔（50）分别具有从所述扩大部的保持部（60）和随后的一个（62），其形成为使得Blindnietelemente（14）上的紧固部（12）不可拆卸地预组装，并适应所述主体（16）的容纳孔的距离（58）被枢转地安装。

9. 发明申请

WO2007107198A1 KONDENSATABFÜHRUNG MITTELS KONDENSATVERDAMPFUNG BEI EINEM KÜHLGERÄT 审中-公开
标题翻译：排水排出漏极展开法在冰箱
公开(公告)号：WO2007107198A1
公开(公告)日：2007-09-27
申请号：PCT/EP2007/000709
申请日：2007-01-27
申请人： RITTAL GMBH & CO. KG , SCHNEIDER, Stefan , MAUL, Joachim
发明人： SCHNEIDER, Stefan , MAUL, Joachim
IPC分类号： F25D21/14 , H05K7/20
CPC分类号： F25D21/14 , F25D2321/1413 , F25D2321/146 , F28F17/005
摘要： Die Erfindung betrifft einen Kondensatverdunster mit einem elektrisch beheizbaren Aufnahmeraum (10) für das in einem Kühlgerät anfallende, zu verdampfende Kondenswasser (12). Ein möglichst kompakter und einfacher Aufbau wird dadurch erreicht, dass der Aufnahmeraum (10) durch einen Rohrabschnitt (14) gebildet ist, an dessen Außenseite zumindest ein mit dem Rohrabschnitt (14) in thermischem Kontakt stehendes Heizelement (16) angeordnet ist und an dessen einem Ende (18) ein Einlass (20) für das zugeführte Kondenswasser (12) und an dessen anderem Ende (24) ein Auslass (26) für den durch das Heizelement (16) aus dem Kondenswasser erzeugten Wasserdampf angeordnet ist. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Kühlgerät, insbesondere für einen Schaltschrank, mit einem derartigen Kondensatverdunster.
摘要翻译：本发明涉及一种冷凝水蒸发器与用于累加的冷却装置中，待蒸发的冷凝水（12）可电加热的容纳空间（10）。紧凑地和容易的组装是这样实现的，所述接收空间（10）通过配管部（14）形成在至少一个与所述管部分（14）放置在热接触的加热元件（16）的外侧被设置在一个端（18），用于所提供的冷凝物（12）和在其另一端（24）的入口（20），通过所述加热元件（16），用于所述的出口（26）被布置成从产生的水蒸汽的冷凝。此外，本发明涉及一种冷却装置，特别是用于开关柜，与这种冷凝水蒸发。

10. 发明申请

WO2007068133A1 IMPROVED SPUTTER TARGET UTILIZATION 审中-公开
标题翻译：改进的SPUTTER目标使用
公开(公告)号：WO2007068133A1
公开(公告)日：2007-06-21
申请号：PCT/CH2006/000690
申请日：2006-12-12
申请人： OC OERLIKON BALZERS AG , SCHNEIDER, Stefan , MÜLLER, Marcel , VYSKOCIL, Jiri , WAGNER, Israel
发明人： SCHNEIDER, Stefan , MÜLLER, Marcel , VYSKOCIL, Jiri , WAGNER, Israel
IPC分类号： H01J37/34 , C23C14/35
CPC分类号： H01J37/3408 , C23C14/35 , H01J37/3455 , H01J37/3458 , H01J37/347
摘要： An apparatus and method are provided for improved utilization of a sputter target in the longitudinal end regions. The focus of erosion in the end regions is widened, thereby extending the useful life of the target. This provides improved efficiency and reduces waste because a greater proportion of the target material in the more expansive central region can be harvested, because the target is utilized for a longer period of time.
摘要翻译：提供了一种用于改善在纵向端部区域中的溅射靶的利用的装置和方法。最终地区的侵蚀重点扩大，延长了目标的使用寿命。这提高了效率并减少了浪费，因为目标材料在更广泛的中心区域中可以收获更多的目标材料，因为目标被使用了较长的时间。

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