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1. 发明专利

DE112010000705B4 Formbestimmungsvorrichtung 未知
公开(公告)号：DE112010000705B4
公开(公告)日：2014-09-25
申请号：DE112010000705
申请日：2010-01-28
申请人： KOBE STEEL LTD , KOBELCO RES INST INC
发明人： KANNAKA MASATO , TAKAHASHI EIJI , KAJITA MASAKAZU , MATSUOKA HIDEKI , TSUNAKI HIDETOSHI , MORIOKA NORITAKA , TAHARA KAZUHIKO , ATSUMI TAKUYA
IPC分类号： G01B11/06 , G01B9/02 , G01B11/24
摘要： Formbestimmungsvorrichtung, umfassend: – eine Lichtquelle (2); – ein erstes homodynes Interferometer (a20); – ein zweite homodynes Interferometer (b20); und – eine Dickenverteilungsberechnungseinheit (5), – wobei ein von der Lichtquelle (2) emittierter Lichtstrahl (P0) in zwei Lichtstrahlen (Pa, Pb) aufgezweigt wird und ein erster Lichtstrahl (Pa) in das erste homodyne Interferometer (a20) eingegeben wird und zu einer vorderen Fläche eines Objektes (1) geführt wird, und ein zweiter Lichtstrahl (Pb) in das zweite homodyne Interferometer (b20) eingegeben wird und zu einer hinteren Fläche des Objektes (1) geführt wird, – wobei das erste homodyne Interferometer (a20) beinhaltet: -- ein optisches System zum Nichtinterferenzlichtstrahlerhalt, mit einem Polarisierungsstrahlteiler (a21) und zwei 1/4-Wellenlängenplatten (a22, a23), wobei der erste Lichtstrahl (Pa) durch den Polarisierungsstrahlteiler (a21) in zwei Strahlen aufgezweigt wird und der Polarisierungsstrahlteiler (a21) --- einen der zwei Strahlen durch eine der zwei 1/4-Wellenlängenplatten (a23) auf eine Referenzfläche einer Basisplatte (a24) projiziert, und dessen Reflexion von der Referenzfläche als Referenzlichtstrahl bezeichnet wird, und --- den anderen Strahl durch die andere 1/4-Wellenlängenplatte (a22) auf einen Messpunkt (1a) eines Objekts projiziert, und dessen Reflexion vom Messpunkt (1a) als Objektlichtstrahl bezeichnet wird, ...

2. 发明专利

DE112015004409T5 FORMMESSVORRICHTUNG UND FORMMESSVERFAHREN 未知
公开(公告)号：DE112015004409T5
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：DE112015004409
申请日：2015-07-31
申请人： KK KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL LTD ) , KOBELCO RES INST INC
发明人： KANNAKA MASATO , TAHARA KAZUHIKO , MATSUOKA HIDEKI , MORIOKA NORITAKA , TSUNAKI HIDETOSHI
IPC分类号： G01B21/08 , G01B7/02 , G01B7/06 , G01B11/06 , G01B21/20
摘要： Eine Formmessvorrichtung und ein Formmessverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung messen, für eine erste und eine zweite Abstandsmesseinheit, die so angeordnet sind, dass sie einander gegenüberliegen, wobei ein zu messendes Messobjekt zwischen diesen eingefügt ist, und jeweils einen Abstand zu dem Messobjekt messen, eine erste und eine zweite Verlagerung der ersten und der zweiten Abstandsmesseinheit in einer Gegenüberliegungsrichtung, und erhalten, als Form des Messobjekts, eine Dicke des Messobjekts in der Gegenüberliegungsrichtung, wobei die Dicke mit der gemessenen ersten und der zweiten Verlagerung basierend auf einem ersten und einem zweiten Abstandsmessergebnis, die durch die erste und die zweite Abstandsmesseinheit gemessen werden, korrigiert wird.

3. 发明专利

DE112010000705T5 Formbestimmungsvorrichtung 未知
公开(公告)号：DE112010000705T5
公开(公告)日：2012-09-27
申请号：DE112010000705
申请日：2010-01-28
申请人： KOBE STEEL LTD , KOBELCO RES INST INC
发明人： KANNAKA MASATO , TAKAHASHI EIJI , KAJITA MASAKAZU , MATSUOKA HIDEKI , TSUNAKI HIDETOSHI , MORIOKA NORITAKA , TAHARA KAZUHIKO , ATSUMI TAKUYA
IPC分类号： G01B11/06 , G01B9/02 , G01B11/24
摘要： Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Dickenverteilung präzise unter Verwendung eines einfachen Vorrichtungsaufbaus ohne Beeinträchtigung durch Schwingungen eines zu messenden Objektes zu messen. Bei der vorliegenden Erfindung wird für jede von den vorderen und den hinteren Oberflächen eines zu messenden Objektes 1 jeder der Lichtstrahlen aus dem Erhalt durch ein in zwei Strahlen erfolgendes Zerlegen eines emittierten Lichtstrahles aus einer Laserlichtquelle 2 weiter in zwei Strahlen zerlegt. Sodann werden die Lichtstrahlen an Bezugsoberflächen und Messpunkten 1a und 1b wechselseitig in einer vorderen und hinteren Beziehung reflektiert, sodass Nichtinterferenzlichtstrahlen Pax und Pbx aufgenommen werden, von denen jeder den Bezugslichtstrahl und den Objektlichtstrahl als wechselseitig orthogonale Polarisationskomponenten enthält. Sodann wird jeder Lichtstrahl in eine Mehrzahl zerlegt. An einem oder mehreren der zerlegten Lichtstrahlen wird eine Phasenverschiebung vorgenommen, bei der eine Änderung auf die Phasendifferenz zwischen den orthogonalen Polarisationskomponenten unter Verwendung von Wellenlängenplatten a261, a263, a264 und dergleichen vorgenommen werden. Sodann werden in den zerlegten Lichtstrahlen nach der Phasenverschiebung gemeinsame Polarisationskomponenten unter Verwendung der Polarisationsrichtungen des Bezugslichtstrahles und des Objektlichtstrahles als Bezug extrahiert, um so Interferenzlichtstrahlen Qa1 bis Qa4 und Qb1 bis Qb4 aufzunehmen. Aus deren Intensitäten wird die Phasendifferenz zwischen den Polarisationskomponenten des Bezugslichtstrahles und des Objektlichtstrahles in dem Nichtinterferenzlichtstrahl berechnet. Sodann werden die Dickenverteilungen in einem zu messenden Objekt 1 aus der Verteilung der Phasendifferenz berechnet.

4. 发明专利

DE112015004409B4 FORMMESSVORRICHTUNG UND FORMMESSVERFAHREN 未知
公开(公告)号：DE112015004409B4
公开(公告)日：2019-11-14
申请号：DE112015004409
申请日：2015-07-31
申请人： KOBE STEEL LTD , KOBELCO RES INSTITUTE INC
发明人： KANNAKA MASATO , TAHARA KAZUHIKO , MATSUOKA HIDEKI , MORIOKA NORITAKA , TSUNAKI HIDETOSHI
IPC分类号： G01B21/08 , G01B7/02 , G01B7/06 , G01B11/06 , G01B21/20
摘要： Formmessvorrichtung (M) mit:einer ersten und einer zweiten Abstandsmesseinheit (1-1, 1-2), die so angeordnet sind, dass sie einander gegenüberliegen, wobei ein zu messendes Messobjekt zwischen diesen liegt, und die jeweils konfiguriert sind, einen Abstand zu dem Messobjekt zu messen;einer ersten und einer zweiten Verlagerungsmesseinheit (2-1, 2-2), die an der ersten und der zweiten Abstandsmesseinheit (1-1, 1-2) angeordnet sind und durch einen ersten und einen zweiten Beschleunigungssensor zum Messen einer Verlagerung der ersten und der zweiten Abstandsmesseinheit (1-1, 1-2) in einer Gegenüberliegungsrichtung gebildet sind; undeiner Formarithmetikbetriebseinheit (72), die konfiguriert ist, als Form des Messobjekts, eine Dicke des Messobjekts entlang der Gegenüberliegungsrichtung zu erhalten, wobei die Dicke mit einem ersten und einem zweiten Verlagerungsmessergebnis, die durch die erste und die zweite Verlagerungsmesseinheit (2-1, 2-2) gemessen werden, basierend auf einem ersten und einem zweiten Abstandsmessergebnis, die durch die erste und die zweite Abstandsmesseinheit (1-1, 1-2) gemessen werden, korrigiert wird.

5. 发明专利

JP2011013212A Shape measuring device, and method of the same 有权
标题翻译：形状测量装置及其方法
公开(公告)号：JP2011013212A
公开(公告)日：2011-01-20
申请号：JP2010122330
申请日：2010-05-28
申请人： Kobe Steel Ltd , Kobelco Kaken:Kk , 株式会社コベルコ科研 , 株式会社神戸製鋼所
发明人： MATSUOKA HIDEKI , TAWARA KAZUHIKO , ATSUMI TAKUYA , AMANAKA MASAHITO
IPC分类号： G01B11/245
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To easily provide a result of shape measurement that is not affected by an error of phase shift occurring when phase shift in an interferometer is performed optically using a plurality of polarizing plates.SOLUTION: In a process of calibrating a device, the optical path lengths of object light and reference light are fixed, the holding angles of four polarizing plates for extracting interference light is adjusted so that the detecting intensities of four photodetectors are the same when each of the object light and reference light is blocked (S12). Then, the gain of linear correction of light intensity is set so that the amplitudes of time series changes of the intensities of four interference lights become same while the optical path lengths of object light and reference light are varied (S13). Based on Lissajous waveform obtained from the time series change of the intensity of each of four interference lights, the error of the phase shift of three non-reference interference lights is calculated (S14). Based on intensity of interference light obtained about a measuring object and the error of the phase shift, the phase difference of the object light and reference light about the measuring object is calculated (S17).
摘要翻译：要解决的问题：为了容易地提供不影响在使用多个偏振片光学执行干涉仪的相移时发生的相移误差的形状测量的结果。解决方案：在校准装置的过程中，物体光和参考光的光程长度固定，调节用于提取干涉光的四个偏光板的保持角，使得当对象光和参考光被遮挡时，四个光电检测器的检测强度相同（S12 ）。然后，设定光强度的线性校正的增益，使得四个干涉光的强度的时间序列变化的幅度变得相同，同时对象光和参考光的光程长度变化（S13）。根据从四个干涉光中的每一个的强度的时间序列变化获得的Lissajous波形，计算三个非参考干涉光的相移误差（S14）。基于对测量对象获得的干涉光的强度和相移误差，计算出物体光和参考光在测量对象周围的相位差（S17）。

6. 发明专利

JP2010197376A Shape measurement device and shape measurement method 有权
标题翻译：形状测量装置和形状测量方法
公开(公告)号：JP2010197376A
公开(公告)日：2010-09-09
申请号：JP2009284187
申请日：2009-12-15
申请人： Kobe Steel Ltd , Kobelco Kaken:Kk , 株式会社コベルコ科研 , 株式会社神戸製鋼所
发明人： AMANAKA MASAHITO , TAKAHASHI EIJI , KAJITA MASAKAZU , MATSUOKA HIDEKI , TSUNAKI HIDETOSHI , MORIOKA AKITAKA , TAWARA KAZUHIKO
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02 , G01B11/06
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide highly accurate measurement of thickness distribution of a thin plate-like measuring object using a simple device configuration without being influenced by vibration of the measuring object. SOLUTION: For the front and back surfaces of the measuring object 1, the light beam emitted from a laser light source 2 is split into two light beams, each split beam is further split into two light beams, the light beams are reflected on the reference surface and at measurement points 1a and 1b opposite each other on the respective front and back surfaces, non-interference light beams Pax and Pbx having the mutually perpendicular polarized components of which are the reference light beam and the object light beam are acquired, and the acquired non-interference light beams are split into multiple light beams. One or more split light beams among the split light beams are phase shifted by varying the phase differences among the polarized components perpendicular to one another by means of wavelength plates a261, a263, and a264 and so forth, the common polarized components when the polarization directions of the reference light beam and object light beam of the split light beams after the phase shift are used as references are extracted, and thereby interference light beams Qa1 to Qa4, and Qb1 to Qb4 are obtained. The phase difference between the polarized components of the reference light beam and the object light beam of the non-interference light beam is calculated from the intensities thereof, and the distribution of the thickness of the measuring object 1 is calculated from the distribution of the phase differences. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：使用简单的装置构造提供对薄板状测量对象的厚度分布的高精度测量，而不受测量对象的振动的影响。解决方案：对于测量对象1的前表面和后表面，从激光光源2发射的光束被分成两个光束，每个分束被进一步分成两个光束，光束被反射在相应的前表面和背面上的参考表面和彼此相对的测量点1a和1b处获取具有相互垂直的偏振分量的参考光束和物体光束的非干涉光束Pax和Pbx 并且所获取的非干涉光束被分成多个光束。分离光束中的一个或多个分束光束通过改变通过波长板a261，a263和a264等彼此垂直的极化分量之间的相位差而相位偏移，当极化方向将相移后的分束光束的基准光束和物体光束作为基准，作为基准，从而获得干涉光束Qa1〜Qa4，Qb1〜Qb4。从其强度计算参考光束的偏振分量与非干涉光束的物体光束之间的相位差，并且根据相位的分布计算测量对象1的厚度分布差异。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

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