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1. 发明专利

DE112015004409T5 FORMMESSVORRICHTUNG UND FORMMESSVERFAHREN 未知
公开(公告)号：DE112015004409T5
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：DE112015004409
申请日：2015-07-31
申请人： KK KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL LTD ) , KOBELCO RES INST INC
发明人： KANNAKA MASATO , TAHARA KAZUHIKO , MATSUOKA HIDEKI , MORIOKA NORITAKA , TSUNAKI HIDETOSHI
IPC分类号： G01B21/08 , G01B7/02 , G01B7/06 , G01B11/06 , G01B21/20
摘要： Eine Formmessvorrichtung und ein Formmessverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung messen, für eine erste und eine zweite Abstandsmesseinheit, die so angeordnet sind, dass sie einander gegenüberliegen, wobei ein zu messendes Messobjekt zwischen diesen eingefügt ist, und jeweils einen Abstand zu dem Messobjekt messen, eine erste und eine zweite Verlagerung der ersten und der zweiten Abstandsmesseinheit in einer Gegenüberliegungsrichtung, und erhalten, als Form des Messobjekts, eine Dicke des Messobjekts in der Gegenüberliegungsrichtung, wobei die Dicke mit der gemessenen ersten und der zweiten Verlagerung basierend auf einem ersten und einem zweiten Abstandsmessergebnis, die durch die erste und die zweite Abstandsmesseinheit gemessen werden, korrigiert wird.

2. 发明专利

DE112010000705B4 Formbestimmungsvorrichtung 未知
公开(公告)号：DE112010000705B4
公开(公告)日：2014-09-25
申请号：DE112010000705
申请日：2010-01-28
申请人： KOBE STEEL LTD , KOBELCO RES INST INC
发明人： KANNAKA MASATO , TAKAHASHI EIJI , KAJITA MASAKAZU , MATSUOKA HIDEKI , TSUNAKI HIDETOSHI , MORIOKA NORITAKA , TAHARA KAZUHIKO , ATSUMI TAKUYA
IPC分类号： G01B11/06 , G01B9/02 , G01B11/24
摘要： Formbestimmungsvorrichtung, umfassend: – eine Lichtquelle (2); – ein erstes homodynes Interferometer (a20); – ein zweite homodynes Interferometer (b20); und – eine Dickenverteilungsberechnungseinheit (5), – wobei ein von der Lichtquelle (2) emittierter Lichtstrahl (P0) in zwei Lichtstrahlen (Pa, Pb) aufgezweigt wird und ein erster Lichtstrahl (Pa) in das erste homodyne Interferometer (a20) eingegeben wird und zu einer vorderen Fläche eines Objektes (1) geführt wird, und ein zweiter Lichtstrahl (Pb) in das zweite homodyne Interferometer (b20) eingegeben wird und zu einer hinteren Fläche des Objektes (1) geführt wird, – wobei das erste homodyne Interferometer (a20) beinhaltet: -- ein optisches System zum Nichtinterferenzlichtstrahlerhalt, mit einem Polarisierungsstrahlteiler (a21) und zwei 1/4-Wellenlängenplatten (a22, a23), wobei der erste Lichtstrahl (Pa) durch den Polarisierungsstrahlteiler (a21) in zwei Strahlen aufgezweigt wird und der Polarisierungsstrahlteiler (a21) --- einen der zwei Strahlen durch eine der zwei 1/4-Wellenlängenplatten (a23) auf eine Referenzfläche einer Basisplatte (a24) projiziert, und dessen Reflexion von der Referenzfläche als Referenzlichtstrahl bezeichnet wird, und --- den anderen Strahl durch die andere 1/4-Wellenlängenplatte (a22) auf einen Messpunkt (1a) eines Objekts projiziert, und dessen Reflexion vom Messpunkt (1a) als Objektlichtstrahl bezeichnet wird, ...

3. 发明专利

DE112010000705T5 Formbestimmungsvorrichtung 未知
公开(公告)号：DE112010000705T5
公开(公告)日：2012-09-27
申请号：DE112010000705
申请日：2010-01-28
申请人： KOBE STEEL LTD , KOBELCO RES INST INC
发明人： KANNAKA MASATO , TAKAHASHI EIJI , KAJITA MASAKAZU , MATSUOKA HIDEKI , TSUNAKI HIDETOSHI , MORIOKA NORITAKA , TAHARA KAZUHIKO , ATSUMI TAKUYA
IPC分类号： G01B11/06 , G01B9/02 , G01B11/24
摘要： Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Dickenverteilung präzise unter Verwendung eines einfachen Vorrichtungsaufbaus ohne Beeinträchtigung durch Schwingungen eines zu messenden Objektes zu messen. Bei der vorliegenden Erfindung wird für jede von den vorderen und den hinteren Oberflächen eines zu messenden Objektes 1 jeder der Lichtstrahlen aus dem Erhalt durch ein in zwei Strahlen erfolgendes Zerlegen eines emittierten Lichtstrahles aus einer Laserlichtquelle 2 weiter in zwei Strahlen zerlegt. Sodann werden die Lichtstrahlen an Bezugsoberflächen und Messpunkten 1a und 1b wechselseitig in einer vorderen und hinteren Beziehung reflektiert, sodass Nichtinterferenzlichtstrahlen Pax und Pbx aufgenommen werden, von denen jeder den Bezugslichtstrahl und den Objektlichtstrahl als wechselseitig orthogonale Polarisationskomponenten enthält. Sodann wird jeder Lichtstrahl in eine Mehrzahl zerlegt. An einem oder mehreren der zerlegten Lichtstrahlen wird eine Phasenverschiebung vorgenommen, bei der eine Änderung auf die Phasendifferenz zwischen den orthogonalen Polarisationskomponenten unter Verwendung von Wellenlängenplatten a261, a263, a264 und dergleichen vorgenommen werden. Sodann werden in den zerlegten Lichtstrahlen nach der Phasenverschiebung gemeinsame Polarisationskomponenten unter Verwendung der Polarisationsrichtungen des Bezugslichtstrahles und des Objektlichtstrahles als Bezug extrahiert, um so Interferenzlichtstrahlen Qa1 bis Qa4 und Qb1 bis Qb4 aufzunehmen. Aus deren Intensitäten wird die Phasendifferenz zwischen den Polarisationskomponenten des Bezugslichtstrahles und des Objektlichtstrahles in dem Nichtinterferenzlichtstrahl berechnet. Sodann werden die Dickenverteilungen in einem zu messenden Objekt 1 aus der Verteilung der Phasendifferenz berechnet.

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