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    • 3. 发明专利
    • 被膜損傷検知方法及び被膜損傷検知装置
    • 薄膜损伤检测方法和薄膜损伤检测装置
    • JP2016191574A
    • 2016-11-10
    • JP2015070578
    • 2015-03-31
    • JFEスチール株式会社
    • 梅垣 嘉之高城 重宏飯塚 幸理名越 正泰花澤 和浩戸田 広朗曽谷 保博
    • G01N21/62
    • 【課題】熟練度を要することなく被膜の損傷を精度高く検知可能な被膜損傷検知方法及び被膜損傷検知装置を提供すること。 【解決手段】本発明の一実施形態である被膜損傷検知装置は、電子ビームを照射している際に電子ビームが照射されている領域を含む鋼板Sの表面の画像を撮影し、撮影された画像から電子ビームが照射されている領域内の各位置における輝度を算出し、算出された輝度が所定の閾値以上である位置において被膜の損傷が発生していると判定するので、熟練度を要することなく被膜の損傷を精度高く検知できる。 【選択図】図5
    • 要解决的问题:提供一种能够高精度地检测膜的损伤而不考虑操作者的熟练程度的薄膜损伤检测方法和薄膜损伤检测装置。解决方案:作为本发明的一个实施例的薄膜损伤检测装置拍摄 在照射电子束的情况下,包含用电子束照射的区域的钢板S的表面的图像计算从拍摄图像照射电子束的区域中的各位置的亮度,确定膜的损伤发生在 计算出的亮度超过预定阈值的位置,从而可以高精度地检测胶片的损伤,而不管操作者的熟练程度如何。图5
    • 4. 发明专利
    • 電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射方法
    • 电子束辐射装置和电子束辐照方法
    • JP2016046068A
    • 2016-04-04
    • JP2014168999
    • 2014-08-22
    • JFEスチール株式会社
    • 梅垣 嘉之高城 重宏飯塚 幸理名越 正泰臼井 幸夫花澤 和浩戸田 広朗曽谷 保博
    • H01J37/304H01J37/305H01J37/21H01J37/153H01J37/22H01J37/04H01J37/30
    • 【課題】電子ビームの焦点位置のずれを効率良く評価、制御することによって走査領域全体で均一な強度で電子ビームを照射すること。 【解決手段】画像処理装置7が、撮像装置6によって撮影された蛍光画像から電子ビームの各走査位置における蛍光の発光輝度分布を抽出し、抽出された蛍光の発光輝度分布に基づいて電子ビームの焦点位置のずれを評価する。ビーム制御装置5が、電子ビームの焦点位置のずれの評価結果に基づいて電磁レンズ3の制御電流のパターンを修正する。これにより、電子ビームの焦点位置のずれを効率良く評価、制御することによって走査領域全体で均一な強度で電子ビームを照射することができる。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:通过评估和控制电子束的焦点位置的偏差,在整个扫描区域上照射均匀强度的电子束。解决方案:图像处理装置7提取每次扫描时的荧光的亮度分布 基于由成像装置6捕获的荧光图像的电子束的位置,并且基于由此提取的荧光的亮度分布来评估电子束的焦点位置的偏差。 光束控制器5基于电子束的焦点位置的偏差的评估结果来校正电磁透镜3的控制电流的图案。 因此,通过有效地评估和控制电子束的焦点位置的偏差,可以用均匀强度的电子束照射整个扫描区域。图1