专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

2. 发明公开

EP0027517A1 Gerät zur rasterartigen Oberflächenuntersuchung unter Ausnutzung des Vakuum-Tunneleffekts bei kryogenischen Temperaturen 失效
标题翻译：装置，用于通过利用在低温下真空隧道效应光栅状表面检查。
公开(公告)号：EP0027517A1
公开(公告)日：1981-04-29
申请号：EP80104966.9
申请日：1980-08-21
申请人： International Business Machines Corporation
发明人： Binnig, Gerd , Rohrer, Heinrich
IPC分类号： H01J37/285 , G01B7/34 , H01L41/08
CPC分类号： G01Q30/16 , G01Q60/16 , H01J37/28 , Y10S505/848 , Y10S977/852 , Y10S977/861 , Y10S977/871
摘要： Vakuum-Tunneleffekt. In einem Ultra-Hochvakuum von mindestens 10 -10 Torr bei kryogenischen Temperaturen wird eine feine Spitze als Abtastelektrode (5) im Abstand von einigen Angströmeinheiten rasterartig in parallelen Abtastlinien über die Oberfläche einer leitenden Probe (4) geführt. Dabei wird die Höhen-Koordinate nach einem dem Tunnelwiderstand proportionalen Parameter, z.B. dem Tunnelstrom als Sollwert geregelt. In den drei Koordinatenrichtungen (x,y,z) wirken piezoelektrische Verstellvorrichtungen (6,7,8). Die Verstellströme oder Piezospannungen sind Aequivalente der Koordinatenwerte der Spitze oberhalb der Probe. Zur Auswertung wird die Kurvenschar der Vz-Werte in Abhängigkeit von den Vx-Werten und bei als Parameter festgehaltenem (Vy) mit einem Schreiber (12) oder auf einem Bildschirm (13) aufgezeichnet. Um örtliche Aenderungen der Austrittsarbeit des Probenmaterials zu erfassen, erteilt man der Abtastspitze an jedem Messpunkt eine zusätzliche Abstandsmodulation j bestimmter Amplitude und Frequenz um den Regelwert herum. Das Quadrat der Ableitung des Tunnelstroms nach der Höhenkoordinate ist der Austrittsarbeit proportional. Mit-I tels eines phasen-und frequenzselektiven Verstärkers wird das der Austrittsarbeit entsprechende Signal herausgesiebt und gesondert ausgewertet. Bei den piezoelektrischen Verstellvorrichtung erlaubt die Höhen-Verstellvorrichtung einerseits eine Grobeinstellung im Bereich von Millimetern, um die Apparatur mit einer Probe beschicken zu können, andererseits aber eine sehr genaue Feineinstellung für die Messwerte. Schwingungsfreie Lagerung mit Verwendung des Schwebeeffektes von Magneten über einem Supraleiter eliminieren störende Schallquanten.
摘要翻译：扫描隧道显微镜的工作原理在真空隧道效应。在至少10的超高真空< - >³°托在低温下，细点与在几埃格子状的平行扫描线的导电样品（4）的表面上的距离的扫描电极（5）被引导。在这种情况下，高度按照成比例的值的隧道电阻的参数坐标，例如调节隧道电流设定值。在三个坐标方向（x，Y，Z）的压电调节装置（6,7,8）的行为。所述Verstellströme或压电电压是在样品上方的尖端的坐标值的等同物。为了评价，将1/2的曲线值取决于值Vx和牢固地保持作为参数（VY）与记录器（12）或一个屏幕（13）上被记录。为了检测样品材料的功函数的局部的变化，它被授予一个额外的距离调制一定的振幅和频率，以在每个测量点围绕扫描尖端控制值。根据高度坐标的隧道电流的导数的平方成正比的功函数。通过相位和频率选择性放大器的装置被筛选出相应的功函数的信号，并分别进行评价。在该压电调节高度调节装置允许一方面，在毫米范围内的粗调中，为了能够与样品喂装置，但在另一方面非常精确的细调的测量值。有超过一个超导量子使用磁铁的浮体效应的弹性轴承消除讨厌的声音。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式